SU516002A1 - Способ измерени амплитуды колебаний пьезоэлемента - Google Patents
Способ измерени амплитуды колебаний пьезоэлементаInfo
- Publication number
- SU516002A1 SU516002A1 SU1731954A SU1731954A SU516002A1 SU 516002 A1 SU516002 A1 SU 516002A1 SU 1731954 A SU1731954 A SU 1731954A SU 1731954 A SU1731954 A SU 1731954A SU 516002 A1 SU516002 A1 SU 516002A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- amplitude
- measuring
- oscillation
- electron beam
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к радиоэлектронике и может быть использовано нри разработке ньезо.электрическнх устройств.
Известны снособы исследовани картииы колебаний ньезоэлементов с помощью зондировани поверхности пьезоэлемента электронным лучом 1-3. При этом по характеру отражени от колеблющейс поверхности можно косвенно судить об амплитуде колебаний пьезоэлемента. Эти способы не позвол ют непосредственно измер ть амплитуду колебаний.
Известен способ измерени амплитуды колебаний пьезоэлемента, основанный на фотографировании колеблющегос пьезоэлемеита в проход щих лучах света и измерении на фотографии проекции смещений интересуюн их точек ньезоэлемента 4.
Однако этот способ измерени амплитуды колебаний ньезоэлемента обладает недостаточно высокой разрешаюп1,ей способностью - малой точностью измерени амплитуды колебаний .
Цель изобретени - повышение точности измерени амплитуды колебаний пьезоэлемента .
Это достигаетс тем, что по предлагаемому способу до фотографировани пьезоэлемент располагают в вакуумном канале электронного микроскопа в нижней фокальной плоскости объективной электромагнитной линзы и фокусируют электронный луч на интересующий участок пьезоэлемента, затем проектируют на фотопластинку теневое изображение этого участка с увеличением заданной кратности.
Практическа реализаци способа обусловлена возможностью получени теневого электронного рисунка непрозрачного тела, помещенного в вакуумный канал электронного микроскопа. Возбужденный пьезоэлемент, соверша колебани , дает на фотопластинке четкую тень от колеблющихс границ, величина которой соответствует амплитуде колебаний данного участка пьезоэлемента с учетом увеличени заданной кратности.
Фотографирование в электронных лучах электронного микроскопа позвол ет достичь больн1их кратностей увеличени . Точность HJмеренн амплнтуды колебаний таким способом на несколько пор дков превыншет точность измерени в проход н1их лучах света.
Современные электронные микроскопы позвол ют располагать в вакуумном канале пьозоэлемепты сравнительно большнх размеров и осуществл ть токосъем с электродов пьезоэлемента при помощи встроенных в вакуумный канал электрических контактов.
Форм у л а и 3 о б р е т е н н
Способ измерени амплитуды колебаний пьезоэлемента, при котором фотографируют
колеблющийс пьезоэлемент и измер ют на фотографии проекцию смещений интересующих точек пьезоэлемента, отличающийс тем, что, с целью повыщени точности измерени амплитуды колебаний, до фотографировани пьезоэлемент располагают в вакуумном канале электронного микроскопа в нижней фокальпой плоскости объективной электромагнитной линзы и фокусируют электронный луч на интересующий участок пьезоэлемента, затем проектируют на фотопластинку теневое
изображение этого участка с увеличением заданной кратности.
Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе.
1.Авт. св. № 243937, Н 42К 45/01, 1966.
2.Авт. св. № 356753, Н ОЗН 3/02, 1970.
3.Апт. св. № 361510, Н ОЗН 3/04, 1970.
4.А. Г. Смагин, М. И. Ярославский. Пьезоэлектричество кварца и кварцевые резонаторы . М,, «Энергии, 1970, стр. 288.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1731954A SU516002A1 (ru) | 1971-12-31 | 1971-12-31 | Способ измерени амплитуды колебаний пьезоэлемента |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1731954A SU516002A1 (ru) | 1971-12-31 | 1971-12-31 | Способ измерени амплитуды колебаний пьезоэлемента |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU516002A1 true SU516002A1 (ru) | 1976-05-30 |
Family
ID=20498358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1731954A SU516002A1 (ru) | 1971-12-31 | 1971-12-31 | Способ измерени амплитуды колебаний пьезоэлемента |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU516002A1 (ru) |
-
1971
- 1971-12-31 SU SU1731954A patent/SU516002A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3957376A (en) | Measuring method and system using a diffraction pattern | |
| US4659936A (en) | Line width measuring device and method | |
| US4677296A (en) | Apparatus and method for measuring lengths in a scanning particle microscope | |
| JPS639807A (ja) | 膜厚測定方法およびその装置 | |
| SU516002A1 (ru) | Способ измерени амплитуды колебаний пьезоэлемента | |
| US3912372A (en) | Photoelectric detector device | |
| CN106933070A (zh) | 一种调焦调平系统及其调焦调平方法 | |
| JPH067043B2 (ja) | 位置検出方法 | |
| CN101738164B (zh) | 一种实时标定四象限探测器的方法 | |
| JPH07167793A (ja) | 位相差半導体検査装置および半導体装置の製造方法 | |
| JPS59123811A (ja) | 光学機械の最適な焦点調節を選ぶ方法 | |
| JP2005294085A (ja) | 走査電子線干渉装置 | |
| Farrant et al. | An interferometric method for the calibration of electron microscope magnification | |
| JP2518301B2 (ja) | 間隔測定装置 | |
| Ren et al. | Scanning Kelvin Microscope: a new method for surface investigations | |
| JP2001099753A (ja) | 光学素子のレーザー耐久性評価装置、光学素子のレーザー耐久性評価方法及び露光装置 | |
| Colby et al. | X-ray reflections from a quartz piezoelectric oscillator in a Bragg spectrograph | |
| SU494660A1 (ru) | Способ определени плотности ворсового материала | |
| Ellis | The Use of Diaphragms in the Electron Microscope | |
| US3669544A (en) | Apparatus for the elimination and/or detection of scatter signals in atomic fluorescence spectroscopy analysis means | |
| JPH0552517A (ja) | スペツクル変位計 | |
| JP2542466B2 (ja) | 固体ストリ―クカメラ | |
| JPS61210902A (ja) | 試料面高さ測定装置 | |
| JPS61153502A (ja) | 高さ検出装置 | |
| SU843025A1 (ru) | Электронный микроскоп |