SU502213A1 - Способ измерени угловых перемещений плоского обьекта - Google Patents

Description

щени  6. С помощью дополнительных фотодатчиков ка-ртине интерференции, полученной при наложении отраженных от зеркальной поверхности и от полупрозрачного зеркала 3 лучей, регистрируют положение объекта 1 относительно зеркала 3, при котором картина интерференции представл ет собой п тно равномерной освещенности. Это положение принимают за нулевой отсчет и сбрасывают счетчики 6 в ноль.

Предмет изобретени 

Снособ измерени  угловых перемещений плоского объекта с помощью фотоэлектрических интерферометров, заключающийс  в том, что направл ют на поверхность объекта когерентный световой пучок и регистрируют интерференционную картину, полученную в результате наложени  отраженных от наружной и внутренней поверхностей объекта световых пучков, и суд т по ней об измер емой величине, отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности измерени , направл ют дополнительный когерентный световой пучок на зеркальную поверхность, расположенную на наружной поверхности объекта, совмещают отраженный от зеркальной поверхности световой пучок с опорным когерентным нучком, регистрируют совпадение плоских волновых фронтов отраженного и опорного когерентных пучков и принимают это положение за нулевой отсчет измерени .