SU497551A1 - Устройство дл ориентации - Google Patents
Устройство дл ориентацииInfo
- Publication number
- SU497551A1 SU497551A1 SU731936988A SU1936988A SU497551A1 SU 497551 A1 SU497551 A1 SU 497551A1 SU 731936988 A SU731936988 A SU 731936988A SU 1936988 A SU1936988 A SU 1936988A SU 497551 A1 SU497551 A1 SU 497551A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- plates
- coordinate
- orientation
- coordinate table
- piezoceramic
- Prior art date
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0095—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing combined linear and rotary motion, e.g. multi-direction positioners
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
- B23Q1/36—Springs
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/02—Feeding of components
- H05K13/022—Feeding of components with orientation of the elements
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2041—Beam type
- H10N30/2042—Cantilevers, i.e. having one fixed end
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к устройствам дл ориентации, преимущественно элементов интегральных схем в технологических установках микроэлектроники, а также может найти применение в координатных измерительных устройствах, в оптико-механических инструментах и других устройствах.
Известно устройство дл ориентации, преимущественно элементов интегральных схем, содержащее платформу, координатный стол, биморфные пьезокерамические лластины, св занные с приводами по координатам X, У к с Приводом поворота координатного стола.
Недостатками устройства вл ютс недостаточна точность ориентации и сложность Конструкции.
Целью насто щего изобретени вл етс повышение точности ориентации и упрощение конструкции устройства.
Эта цель достигаетс тем, что биморфные пьезокерамические пластины, св занные с приводами по (координатам X и Y, одним концом жестко закреплены на платформе, а другим через плоские 1Пружины св заны с координатным столом, причем плоскость пружин перпендикзл рна плоскости пьезокерамических пластин, а на пьезокерамичеокой пластине привода поворота координатного стола расположен толкатель, взаимодействующий
с винтовым кулачком, св занным с платформой .
На фиг. I показан общий вид устройства дл ориентации, на фиг. 2 показано устройство дл ориентации в разрезе по А-А на фиг. 1.
Устройство дл ориентации содержит координатный стол 1, приводы дл его перемещени по координатам X, Y и привод поворота
стола iB плоскости X, Y. Нривод дл перемещени по координате X содержит две биморфные пьезокерамические пластины 2, 3, жестко закрепленные одними концами в пазах платформы 4. На другие концы этих пьезокерамических пластин с помощью шарниров 5, 6 установлены плоские пружины 7, 8 перпендикул рно плоскости пластин 2, 3 соответственйо . Противоположные концы плоских пружин жестко заделаны -в пазах координатного
стола 1. Привод дл перемещени по коордилате У имеет аналогичную конструкцию, содержащую бнморфные пьезокерамические пластины 9, 10, щарниры 11, 12 и плоские пружины 13, 14. Привод поворота координатного стола содержит биморфную пьезокерамическую пластину 15, жестко закрепленную в основании 16. В центре пластины укреплен толкатель 17 с двум подшипниками 18. Толкатель 17 поджат пружиной 19 к двухзаходному винтовому кулачку 20, скрепленному с платформой 4. Толкатель 17 и винтовой кулачок 20 представл ют собою винтовую пару. К внешним и внутренним электродам пьезокерамических пластин 2, 3, 9, 10 припа ны провода дл подачи управл ющих напр жений (провода на фиг. 1 не показаны).
Устройство работает следующим образом.
При подаче управл ющего напр жени на электроды пьезокерамических пластин 2 и 3 эти пластины согласно обратному пьезоэффекту изгибаютс . При этом максимальна величина .прогиба будет в месте креплени щар-ниров 5 и 6. Перемещение верхних концов пластин 2 и 3 через шарниры 5, 6 и плоские пружины 7, 8, воспринимающие усилие ребром и потому не деформируемые, вызывает перемещение координатного стола 1 по координате X. Плоские пружины 13, 14 свободно изгибаютс вдоль оси X, поскольку усилие, развиваемое пластинами 2, 3, направлено перпендикул рно их плоскости. Величина перемещени координатного стола пропорциональ«а амплитуде приложенного напр жени , а направление перемещени по координате X определ етс пол рностью напр жени .
При подаче управл ющего напр жени на электроды пьезокерамическнх пластин 9, 10 устройство работает аналогично, обеспечива перемещение координатного стола 1 по координате Y.
При подаче управл ющих напр жений одновременно на пары пластин 2, 3 и 9, 10 стол
7J,/
1 перемещаетс одновременно по двум координатам в плоскости X, Y.
При подаче управл ющего напр и ени на электроды бнморфной иьезокерамической пластины 15 она прогибаетс , причем максимальный прогиб в ее центре. Усилие, развиваемое пластиной 15, через толкатель 17 и винтовой кулачок 20 вызывает поворот платформы 4, а вместе с ней и координатного стола 1.
Предмет изобретени
Устройство дл ориентации, преимущественно элементов интегральных схем, содержащее платформу, координатный стол, биморфные пьезокерамичеокие пластины, св занные с приводами по координатам X, У и с приводом поворота координатного стола, отличающеес тем, что, с целью повышени точности ориентации и упрощени конструкции, биморфные пьезокерамические пластины, св занные с приводами по координатам X и У, одним концом жестко закреплены на платформе , а другим через плоские пружины св заны с координатным столом, причем плоо косеть пружин перпендикул рна плоскости пьезокерамических пластин, а на пьезокерамической ла стине привода поворота координатного стола расположен толкатель, взаимодействующий с винтовым кулачком, св занным с платформой.
Priority Applications (11)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU731936988A SU497551A1 (ru) | 1973-06-26 | 1973-06-26 | Устройство дл ориентации |
FR7421301A FR2235416B1 (ru) | 1973-06-26 | 1974-06-19 | |
US481846A US3928778A (en) | 1973-06-26 | 1974-06-21 | Device for the precision displacement of an article within a plane |
DD179412A DD113650A1 (ru) | 1973-06-26 | 1974-06-24 | |
CS4430A CS166137B1 (ru) | 1973-06-26 | 1974-06-24 | |
DE19742430196 DE2430196C3 (de) | 1973-06-26 | 1974-06-24 | Vorrichtung zur zweidimensionalen Präzisionsverschiebung von Werkstücken |
AT522374A AT342663B (de) | 1973-06-26 | 1974-06-24 | Vorrichtung zur flachenhaften prazisionsverschiebung von werkstucken mit piezoelektrischen wandlern |
SE7408374A SE398785B (sv) | 1973-06-26 | 1974-06-25 | Anordning for precisionsforflyttning av formal i ett plan |
CH876474A CH576310A5 (ru) | 1973-06-26 | 1974-06-26 | |
HUMO904A HU167639B (ru) | 1973-06-26 | 1974-06-26 | |
GB2844074A GB1455748A (en) | 1973-06-26 | 1974-06-26 | Device for producing small displacements of articles |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU731936988A SU497551A1 (ru) | 1973-06-26 | 1973-06-26 | Устройство дл ориентации |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU497551A1 true SU497551A1 (ru) | 1975-12-30 |
Family
ID=20557958
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU731936988A SU497551A1 (ru) | 1973-06-26 | 1973-06-26 | Устройство дл ориентации |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3928778A (ru) |
AT (1) | AT342663B (ru) |
CH (1) | CH576310A5 (ru) |
CS (1) | CS166137B1 (ru) |
DD (1) | DD113650A1 (ru) |
FR (1) | FR2235416B1 (ru) |
GB (1) | GB1455748A (ru) |
HU (1) | HU167639B (ru) |
SE (1) | SE398785B (ru) |
SU (1) | SU497551A1 (ru) |
Families Citing this family (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2330030A1 (fr) * | 1975-10-31 | 1977-05-27 | Thomson Csf | Nouvel appareil photorepeteur de masques de haute precision |
CA1192646A (en) * | 1980-02-04 | 1985-08-27 | Herzl Laor | Piezoelectric apparatus for positioning optical fibers |
CH636740A5 (fr) * | 1980-05-19 | 1983-06-15 | Far Fab Assortiments Reunies | Dispositif pour l'alignement d'une piece et d'un substrat. |
GB2111297B (en) * | 1981-10-28 | 1985-06-12 | British Aerospace | Oscillatory drive mechanisms |
DE3332949A1 (de) * | 1983-09-13 | 1985-04-04 | Finnigan MAT GmbH, 2800 Bremen | Vorrichtung zur einstellung von spaltweiten bei spektrometern |
US4520570A (en) * | 1983-12-30 | 1985-06-04 | International Business Machines Corporation | Piezoelectric x-y-positioner |
US4523120A (en) * | 1984-06-04 | 1985-06-11 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Precise bearing support ditherer with piezoelectric drive means |
FR2608837B1 (fr) * | 1986-12-23 | 1994-06-10 | Univ Metz | Appareil de manipulation en translation d'un element, tel qu'un axe |
US4814622A (en) * | 1987-11-06 | 1989-03-21 | Bell Communications Research, Inc. | High speed scanning tunneling microscope |
DE3814616A1 (de) * | 1988-04-29 | 1989-11-09 | Fraunhofer Ges Forschung | Mikromanipulator zur bewegung von objekten |
US5338997A (en) * | 1988-04-29 | 1994-08-16 | Fraunhofer Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. | Micromanipulator for moving objects |
US5245464A (en) * | 1988-08-12 | 1993-09-14 | Laser Scan Vision Aps | Deflecting instrument, controllable reflecting device herefor and use hereof |
US5049775A (en) * | 1988-09-30 | 1991-09-17 | Boston University | Integrated micromechanical piezoelectric motor |
US4973145A (en) * | 1988-12-21 | 1990-11-27 | Lockheed Missiles & Space Company, Inc. | Flexure mechanism |
JP2839543B2 (ja) * | 1989-04-12 | 1998-12-16 | 株式会社東芝 | 変位発生装置 |
US5351412A (en) * | 1991-06-11 | 1994-10-04 | International Business Machines Corporation | Micro positioning device |
US5406405A (en) * | 1991-11-27 | 1995-04-11 | Sullivan; Mark T. | Rotating kinematic optic mount |
US5251056A (en) * | 1992-07-31 | 1993-10-05 | Eastman Kodak Company | High-speed light beam deflector |
US5550669A (en) * | 1993-04-19 | 1996-08-27 | Martin Marietta Corporation | Flexure design for a fast steering scanning mirror |
US6359370B1 (en) * | 1995-02-28 | 2002-03-19 | New Jersey Institute Of Technology | Piezoelectric multiple degree of freedom actuator |
IL113291A0 (en) * | 1995-04-06 | 1995-07-31 | Nanomotion Ltd | A multi-axis rotation device |
US5705878A (en) * | 1995-11-29 | 1998-01-06 | Lewis; Aaron | Flat scanning stage for scanned probe microscopy |
US5747915A (en) * | 1996-08-19 | 1998-05-05 | Sandia Corporation | Bent shaft motor |
US6246052B1 (en) | 1999-09-20 | 2001-06-12 | Veeco Instruments, Inc. | Flexure assembly for a scanner |
US6724130B1 (en) * | 1999-10-22 | 2004-04-20 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Membrane position control |
US6545385B2 (en) * | 2000-04-11 | 2003-04-08 | Sandia Corporation | Microelectromechanical apparatus for elevating and tilting a platform |
EP1306908A4 (en) * | 2000-06-16 | 2006-10-04 | Ngk Insulators Ltd | PIEZOELECTRIC / ELECTROSTRICTIVE COMPONENT AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF |
US6798120B1 (en) * | 2001-10-31 | 2004-09-28 | The Regents Of The University Of California | Apparatus and method for manipulation of an object |
GB2385196B (en) * | 2002-02-11 | 2005-08-17 | 1 Ltd | Amplified actuator |
GB2423788A (en) * | 2005-03-02 | 2006-09-06 | Pbt | Piezo ceramic actuator for a lock bolt |
US7355325B2 (en) * | 2006-06-15 | 2008-04-08 | Piezomotor Uppsala Ab | Wide frequency range electromechanical actuator |
CN102916607B (zh) * | 2012-06-25 | 2015-09-09 | 南京航空航天大学 | 基于直线超声电机的三自由度运动平台及其激励方式 |
US9876444B2 (en) * | 2012-07-05 | 2018-01-23 | Noliac A/S | Wobble motor with a solid state actuator |
DE102017000827A1 (de) | 2017-01-27 | 2018-08-02 | Blickfeld GmbH | Lichtscanner mit Beschleunigungssensor |
CN109546887B (zh) * | 2018-12-05 | 2020-08-14 | 哈尔滨工业大学 | 一种对称结构压电驱动二维指向调整机构的转动平台角度调节方法 |
CN110480535A (zh) * | 2019-07-26 | 2019-11-22 | 北京工业大学 | 一种混合驱动非对称微定位机构 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3138749A (en) * | 1962-03-05 | 1964-06-23 | George R Stibitz | Incremental feed mechanisms |
US3835338A (en) * | 1973-08-23 | 1974-09-10 | A Martin | Electrically controlled ultra-micromanipulator |
-
1973
- 1973-06-26 SU SU731936988A patent/SU497551A1/ru active
-
1974
- 1974-06-19 FR FR7421301A patent/FR2235416B1/fr not_active Expired
- 1974-06-21 US US481846A patent/US3928778A/en not_active Expired - Lifetime
- 1974-06-24 CS CS4430A patent/CS166137B1/cs unknown
- 1974-06-24 DD DD179412A patent/DD113650A1/xx unknown
- 1974-06-24 AT AT522374A patent/AT342663B/de not_active IP Right Cessation
- 1974-06-25 SE SE7408374A patent/SE398785B/xx unknown
- 1974-06-26 CH CH876474A patent/CH576310A5/xx not_active IP Right Cessation
- 1974-06-26 HU HUMO904A patent/HU167639B/hu unknown
- 1974-06-26 GB GB2844074A patent/GB1455748A/en not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
AT342663B (de) | 1978-04-10 |
FR2235416B1 (ru) | 1976-06-25 |
DE2430196B2 (de) | 1977-03-03 |
SE398785B (sv) | 1978-01-16 |
US3928778A (en) | 1975-12-23 |
GB1455748A (en) | 1976-11-17 |
SE7408374L (ru) | 1974-12-27 |
DE2430196A1 (de) | 1975-01-16 |
HU167639B (ru) | 1975-11-28 |
CS166137B1 (ru) | 1976-01-29 |
DD113650A1 (ru) | 1975-06-12 |
ATA522374A (de) | 1977-08-15 |
FR2235416A1 (ru) | 1975-01-24 |
CH576310A5 (ru) | 1976-06-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SU497551A1 (ru) | Устройство дл ориентации | |
US4504760A (en) | Piezoelectrically driven vibration wave motor | |
US4727278A (en) | Piezoelectric multiaxis micropositioner | |
JP2839543B2 (ja) | 変位発生装置 | |
US7462974B2 (en) | Inertial driving actuator | |
US6781281B2 (en) | Electrostatic microactuator having a movable piece between a pair of statical members | |
KR970706940A (ko) | 전기기계 위치결정기(electromechanical positioning unit) | |
KR20040106494A (ko) | 2개의 각 자유도를 위한 액츄에이터 | |
EP0405854A2 (en) | Ultrasonic motor | |
JPH02262876A (ja) | 圧電回転装置 | |
EP0301429B1 (en) | An ultrasonic driving device | |
KR100353456B1 (ko) | 압전형스텝모터 | |
SU1360960A1 (ru) | Устройство дл закреплени турбинной лопатки | |
JPH0744850B2 (ja) | 振動波モ−タ− | |
SU765910A1 (ru) | Вибродвигатель | |
JP2005102368A (ja) | 駆動装置 | |
SU651296A1 (ru) | Устройство дл перемещени изображени | |
SU430459A1 (ru) | Электростатический шаговый двигатель | |
SU1713065A1 (ru) | Устройство дл прецизионного перемещени изделий | |
SU573829A1 (ru) | Электропривод | |
JPH0477323B2 (ru) | ||
JPH041512B2 (ru) | ||
US3292020A (en) | Transducer | |
SU618718A1 (ru) | Преобразователь движени дл электрических часов | |
JP3475443B2 (ja) | 静電アクチュエータ |