SU485607A3 - Способ изготовлени оптической дифракционной решетки - Google Patents

Description

Изобретение отиоснтс  к глггпк -моха- ническон прзкад11 пеинос1н ц мо;1чет быть использован; дл  si.iroTonjiennsi ролье4.ИЫх дифракциоинЬХ рои:сток с juoooii (Ьормой профил .

Известен способ изготовнс-ин  оптическо дифракционной рогиоткп с релье(1)Ным профилем , основанный на зксги зишш ({-.отопластины с последующим вымьшанием псэкспонированных участков Лотосло , в котором фотопластину перемешают по определенному закону относительно системы световых полос, проникающих па нее через menvi оригинала.

Недостаток этого способа состоит в низкой точности воспроизведепп  форкл профи/ш из-за конечной ширины оригинала н погрешностей перемещени .

. Цель и:зобретепи  - восп1К};1зведение профил  рельефа с заданной точностью.

. Цель достигаетс  аа сче;т того, что фотопластнну экспо 1ируют слеаук.ших одна за другой систек; ир.терферепцпо.ных полос, последовательные частоты когорых , соответственно т арк оникам высших

пор5:дков основной системы полос, наход тс  между собой в отношении целых чисел, причем началь 1ые фазы систем устанавливают в зависимости от заданного профил  peuiei ки . Кроме того, ка сдую систему иптер ференцнонных полос получают на отдельных нромегкуточпых плоских фотооригинапах, через которые затем экспонируют фотоп гас- типу.

На фиг. 1 дана схема устройства пл  полу 1ени  интерференционных полос измен емой пространственной частоты; на фиг. 2 изображена сери  систем интерференционных полос; па фиг. 3 представлена дифракционна  решетка с треугольным профилем.

Устройство (фиг. 1) содержит лазерный источник света 1, линзу 2, диафраг му 3, линзу 4, а два зеркала: полупрозрачное 5 и отражающее G. Пучки 7 и 8 света отраи аютс  на фотопластину 9 с фотослоем, на который экспонируютс  интерференционные полосы.

Л.п  изготовлени  оптической дифрак; ционпой реиштки с рельефным про(}зилем,

например, треугольной формы {фиг, 3) экспонируют фотодластйну 9 последова ; тельно серией интерференциошгых полос,, пространственные частоты которых сЬот- : ветственно гармоникам высших пор дков (фиг. 2 б, в и г) основной системы полос фиг. 2а наход тс  между собой в отношеНИИ целых чисел. Частота полос зависит

от угла между пучками света 7 и 8, ко , торый устанавливают поворотом зеркал 5 , j или 8. Начальные фазы канодой систек-шг т.е. положение поцос относительно фотогшастины 9, -устанавливают в завасимости от за данного профил  решетки. Фотопластину 9 экспонируют так, чтобы суммарный светр-ВОЙ поток облучени  соответствовал оптической плотности дрчернени  в пределах ; линейного участка характеристической кр: вой фотосло . Затем в процессе про влени  на фотопластине удал ют неэкспонирова 1ные участки фотосло , получа  заданный профиль (фиг. 3).

С помощью устройства (фиг. 1) может быть получена сери  интерференцион1ЕЫк полос (фиг. 2), кажда -на отдельных nptjмежуточных плоских фотооригипалах, через которые затем экспонируют фотоппастину 9, причем форма профил  зависит от изаимного расположени  ка кдого фотооригниала относительно фотопластины 9.

4

воспроизведени  форк-шт профил  определ етс  числом систем интерферен ционны-х полос (фиг. 2 ) в серии: чем их больше, тем выше точность.

Пр

и 3 о б р е т е н и  

д м е т

1, Способ изготовлени  оптической дифракциог1ной решетки с рельефным профиrteivi , основанный на экспозиции фотопласти ны с последующим вымыванием неэкспони- poBi.HHbix участков фотосло , о т л и ч а юш и и с   тем, что, с целью воспроизведе- нп  профил  рельефа с заданной точностью, фотои.иастипз экспонируют соривй следующих одна за другОй систем пнтеиюреиционных полос, последовител11 Ш1е пространственные частоты которых, соответстьеино (арк оникам высших иори/1ков основной сис-« темы полос, наход тс  можду собой в отно НИН целых чисел, причем н 1чалыгые фазы систем устанавливают в заиисимэсти. от заданного прсх1)ил  юшотки.