SU443339A1 - Способ измерени сопротивлени электрического контакта металл-полупроводник - Google Patents

Description

I

Изобретение относитс  к области электронной техники и может быть использовано дл  разработки и оперативного коитрол  технологии металлизации, причиненного анализа и отбраковки потенциальноненадежных полевых транзисторов.

Известен двухзондовый способ определени  сопротивлени  электрического контакта металл--полупроводник .

Точность такого способа низка, так как объемное сопротивление полупроводника обычно на один-два пор дка больше или соизмеримо с контактными сопротивлени ми и включено € ними последовательно. Дл  полевых транзисторов при использовании этого способа дополнительную погрешность обуславливает сопротивление канала, которое также включено последовательно этим сопротивлени м .

Дл  повышени  точности измерений по предлагаемому способу смещают истоковый р-ппереход в пр мом направлении, а стоковый переход - в обратном направлении, измен ют ток стока, компенсируют уменьшение тока через истоковый переход изменением напр жени  на нем и определ ют сопротивление контакта по отношению прираш,ени  напр жени  на истоковом переходе к изменению тока через сток.

На чертеже приведено схематическое изображение р-канального полевого транзистора с р-п-управл юш,им переходом и схема измерени  контактного сопротивлени  по описыВаемому способу.

Дл  измерени  контактных сопротивлений в «-канальных транзисторах пол рность источников должна быть противоположной. На приведенном чертеже верхний затвор п+ конструктивно соединен с нижним затвором п, а контактные сопротивлени  к стоке RDC и истоке RSC вынесены из структуры.

Сущность предлагаемого способа заключаетс  в следующем. При подаче на сток посто .нного напр жени  VD и на затвор посто нного напр жени  Va,, имеющего р-п-переход в пр мом направлении (переключатель В в положении 1), в цепи стока протекает ток /о,, а в цепи затвора - ток /о,.

Ток затвора устанавливаетс  таК, что выполн етс  условие /д, /GI. Напр жение на стоке выбираетс  так, чтобы верхний и нил{ний р-/г-переходы были смещены почти по

всей длине и пр мой ток затвора протекал через нижний р-/г-переход преимущественно под контактом истока.

Направление преимущественного протекани  тока затвора показано на чертеже стрелкой с обозначением /G.

Таким образом, через контакт истока протекают ток стока и ток затвора, создава  на нем падение напр жени .

f7sc.:(,).

Увеличив напр жение на стоке (переключатель В в положении 2), устанавливают новое значение тока стока ID,- Возрастание тока стока приводит к возрастанию падени  напр жени  на контакте, которое смещает р-ппереход в Обратную сторону и уменьшает ток р- -перехода. Чтобы установить прежнее значение тока р-п-перехода (затвора), необходимо сместить р-«.-переход в пр мом направлении на такую величину ДУс, котора  скомпенсирует прирост падени  .напр жени  на контакте за счет возрастани  тока стока. Это означает, что

Ua(fD,-lD,)Rsc.

Отсюда

At/o : A/D .

Дл  измерени  контактного сопротивлени  стока выводы стока и истока мен ютс  местами .

Новые свойства предлагаемого способа позвол ют использовать его дл  разработки и оперативного контрол  технологического процесса , в частности, контрол  операций металлизации полевых транзисторов, а также дл  причинного анализа брака, в частности, по шумам, току входа, температурному дрейфу. Предложенный способ прост в осуществлении и пригоден дл  работы в услови х производства .

Предмет изобретени 

Способ измерени  сопротивлени  электрического контакта металл-полупроводник, основанный на пропускании электрического тока через контакт и регистрации приращени  напр жени  на нем при приращении тока, о тличающийс  тем, что, с целью повышени  точности измерений, смещают истоковый р-«-переход в пр мом направлении, а стоковый переход - в обратном направлении, измен ют ток стока, компенсируют уменьшение тока через истоковый переход изменением напр жени  на нем ,и определ ют сопротивление контакта по отношению приращени  напр жени  на истоковом переходе к изменению тока через сток.

.