SU418711A1 - - Google Patents

Info

Publication number
SU418711A1
SU418711A1 SU1726901A SU1726901A SU418711A1 SU 418711 A1 SU418711 A1 SU 418711A1 SU 1726901 A SU1726901 A SU 1726901A SU 1726901 A SU1726901 A SU 1726901A SU 418711 A1 SU418711 A1 SU 418711A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
mirrors
interferometer
coordinate
measuring
directions
Prior art date
Application number
SU1726901A
Other languages
English (en)
Russian (ru)
Other versions
SU418711A2 (enrdf_load_stackoverflow
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to SU1726901A priority Critical patent/SU418711A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU418711A2 publication Critical patent/SU418711A2/ru
Publication of SU418711A1 publication Critical patent/SU418711A1/ru

Links

SU1726901A 1971-12-20 SU418711A1 (enrdf_load_stackoverflow)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU1726901A SU418711A1 (enrdf_load_stackoverflow) 1971-12-20

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU1726901A SU418711A1 (enrdf_load_stackoverflow) 1971-12-20

Publications (2)

Publication Number Publication Date
SU418711A2 SU418711A2 (enrdf_load_stackoverflow) 1974-03-05
SU418711A1 true SU418711A1 (enrdf_load_stackoverflow) 1974-03-05

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3572937A (en) Method and apparatus for interferometric measurement of machine slide roll
GB1516536A (en) Measuring apparatus
US3858981A (en) Method of measuring irregularities in the evenness of surfaces
IT1125790B (it) Interferometro con risoluzione migliorata
US4436424A (en) Interferometer using transverse deviation of test beam
US3090279A (en) Interferometer using a diffraction grating
SU418711A1 (enrdf_load_stackoverflow)
US3225644A (en) Apparatus producing interferential test data for measuring and control instruments
SU364838A1 (ru) Датчик линейного перемещения объекта
SU1525445A1 (ru) Интерферометр дл измерени перемещений
SU1364866A1 (ru) Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений
SU1073565A1 (ru) Устройство дл контрол направл ющих
SU712654A1 (ru) Интерферометр
SU1126812A1 (ru) Устройство дл измерени деформаций диффузно отражающих объектов
SU932220A1 (ru) Устройство дл регистрации смещени объекта
SU823844A1 (ru) Устройство дл измерени угловыхпЕРЕМЕщЕНий Об'ЕКТА
SU838325A1 (ru) Интерференционный датчик линейногопЕРЕМЕщЕНи Об'ЕКТА
SU1083070A2 (ru) Интерференционное устройство дл измерени перемещений
SU1693371A1 (ru) Интерференционный способ определени толщины прозрачных плоскопараллельных объектов
SU352479A1 (enrdf_load_stackoverflow)
SU387207A1 (ru) УСТРОЙСТВО дл ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ В ДВУХ КООРДИНАТАХ
SU1397719A1 (ru) Интерферометрический способ измерени линейных перемещений объектов
SU1499113A1 (ru) Устройство дл измерени перемещений объекта
SU136932A1 (ru) Интерферометр
SU1567869A1 (ru) Интерферометр дл измерени перемещений