SU378564A1 - Раствор для избирательного травления пленок хрома - Google Patents
Раствор для избирательного травления пленок хромаInfo
- Publication number
- SU378564A1 SU378564A1 SU1635150A SU1635150A SU378564A1 SU 378564 A1 SU378564 A1 SU 378564A1 SU 1635150 A SU1635150 A SU 1635150A SU 1635150 A SU1635150 A SU 1635150A SU 378564 A1 SU378564 A1 SU 378564A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- solution
- electoral
- emission
- acid
- chrome films
- Prior art date
Links
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 6
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 159000000000 sodium salts Chemical class 0.000 description 3
- 239000012190 activator Substances 0.000 description 2
- PWPJADBUPGWYPS-UHFFFAOYSA-N 3-ethyloctan-3-yl hydrogen sulfate Chemical compound CCCCCC(CC)(CC)OS(O)(=O)=O PWPJADBUPGWYPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- ZEASOXUPPLSUSE-UHFFFAOYSA-N butanedioic acid;sulfane Chemical compound S.OC(=O)CCC(O)=O ZEASOXUPPLSUSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 diethylhexyl ester Chemical class 0.000 description 1
- IIWMSIPKUVXHOO-UHFFFAOYSA-N ethyl hexyl sulfate Chemical compound CCCCCCOS(=O)(=O)OCC IIWMSIPKUVXHOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- FZUJWWOKDIGOKH-UHFFFAOYSA-N sulfuric acid hydrochloride Chemical compound Cl.OS(O)(=O)=O FZUJWWOKDIGOKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021653 sulphate ion Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
Изобретение относитс к обработке поверхности Металлов химически.ми способами, в чаCTtto-сти к технологии изготовлени приборов электронной тех1НИ1ки и мож-ет быть применен
при ИЗ;ГОТ01ВЛеНИИ фотошаблонов с МИКр01ННЫми и субмикронгньгми шт;р|Ихами.
Известен раствор дл избирательного травленв плено К хрома с использованием металлического акти1ватора, 1со1держащий сол щпо Кислоту.
Предлагаемый распвор отличаетс от известного тем, что в егоСостав вВеден 50%-ный раствор натриевой соли диэтилгексилового эфира сульфо нтарной кислоты в количестве 0,5-5% от объема ра-ст/вора сол ной кислоты, что позвол ет увеличить воапроизводимость и точность при получении .рельефа с микронными размерами и обеспечивает получение .рельефа МВталла с субм кронными размерами .
Раствор содержит сол ную кислоту и 50%-ный раствор натриевой соли диэтилгексилового эфира сулыфо нтарной 1кИСлоты в количестве 0,5-5% от объема сол ной кислоты.
Процесс тра1влени протекает равнОМерно и поддаетс регулировке и,з1мвненивм колцентраЦии кислоты и добааки.
Дл проведени процесса травлени рекомевдуют примен ть 20-37%-ный распвор сол мой кислоты. Избирательное травление пле}юк iB предлагаемом растворе проводигс следующим образом.
ПластиНу 1C храмовой пленкой, на которую нанесеН защитный рисунок, погружают в данный раствор. Участок хромовой пленки, не защищенный фоторезистором, привод т в контакт с алюминиевым или цинжавым стержнем на 5-6 сек, затем стержень убирают и выдерживают пластину в растворе до полного стравливани хрома. Врем полного стравливани хрОМовой пленки толщиной 0,12 мк.и составл ет 1 мин 20 сек.
В случае неполиОГо стра1вли1ва1ни хрома пластина по мещаетс в раствор того же состава с добашкой алю миниевой стружки в количестве 10-20 г на липр раствора. Дотравливание производитс ПО истечении 8-10 мин со времени введенна стружки. Необходимость 1контакта в это.м случае отпадает. В растворе с алюминиевой Стружкой пластина вьгдер:живаетс 20-30 сек.
Предмет и з о б р е т ен и
25
PacTiBOip дл избирательного травлени )плено к хрома с использованием металлического активатора, содержащий сол ную кислоту, отличающийс тем, что, с целью увеличени В0опроиз(вадимости и точности при получении 30 рельефа с микрон-ньгми размера-ми, в его со34
став введен 50%-ный расшор натриевой соли кислоты в количестве 0,5-5% от объема расдиэтилгексило вого эфира оульфо нтарнойтвора сол ной кислоты.
378564
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1635150A SU378564A1 (ru) | 1971-03-29 | 1971-03-29 | Раствор для избирательного травления пленок хрома |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1635150A SU378564A1 (ru) | 1971-03-29 | 1971-03-29 | Раствор для избирательного травления пленок хрома |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU378564A1 true SU378564A1 (ru) | 1973-04-18 |
Family
ID=20469241
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1635150A SU378564A1 (ru) | 1971-03-29 | 1971-03-29 | Раствор для избирательного травления пленок хрома |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU378564A1 (ru) |
-
1971
- 1971-03-29 SU SU1635150A patent/SU378564A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE900298C (de) | Kontaktverfahren zur Herstellung von photographischen Positivbildern bei Verwendung hochempfindlicher Negativschichten | |
| SU378564A1 (ru) | Раствор для избирательного травления пленок хрома | |
| GB1287031A (en) | Improvements in or relating to the formation of masks on substrates | |
| GB1535986A (en) | Optical element having a replicated surface and manufacturing method therefor | |
| US3254561A (en) | Process for polarizing ultraviolet light utilizing oriented, iodide stained film | |
| ES455693A1 (es) | Un procedimiento para modificar la superficie del vidrio. | |
| JPS5759318B2 (ru) | ||
| JPS6136205B2 (ru) | ||
| ATE23570T1 (de) | Verfahren zur erzeugung und stabilisierung eines reversiblen zweiweg-gedaechtnisseffektes in einer cu/al/ni- oder einer cu/al-legierung. | |
| US2962364A (en) | Process and composition for developing images and designs on metal | |
| JPS649618A (en) | Pattern formation | |
| CA1120763A (en) | Enhancement of resist development | |
| EP0770227B1 (de) | Stabilisierung von holographischen trägermaterialien | |
| JPS5453966A (en) | Development method of electron beam resist | |
| SU397993A1 (ru) | Раствор для избирательного травления пленок хрома | |
| SU366227A1 (ru) | Способ избирательного химического травления | |
| JPS5232671A (en) | Manufacturing process of semiconductor device | |
| GB377706A (en) | Improvements in or relating to kinematograph films | |
| US1632740A (en) | Indttstrie axtiengesellschaft | |
| JPS56102593A (en) | Forming method for scale mark of ruler | |
| JPS5767164A (en) | Partially filming method in watch band | |
| JPS6235100B2 (ru) | ||
| JPS5928574A (ja) | ステンレス鋼の着色前処理方法 | |
| FR2037393A5 (en) | Process for treating colour photographic - film | |
| JPS56100417A (en) | Forming method for resist pattern |