SU397993A1 - Раствор для избирательного травления пленок хрома - Google Patents

Description

Предлагаемый раствор относитс  к веществам , используемым при изготовлении, например , хромовых прецизионных фотошаблонов.

Дл  изготовлени  Х1ромовых шаблонов ИЗ пленки вакуумнапылениого хрома на диэлектрической подложке, например стекле, используют раствор сол ной кислоты, который тра ,вит )поверх«ость хрома после ее пред1варител1 ного контакта (активации) -со стержнем из цинка или с алюминиевой стружкой.

ИЗВестны также растворы дл  избирательного травлени  пленок хрома на основе сол ной кислоты, содержащие -различные доба/вки, например, увеличивающие воспроизводимость процесса.

Однако извест1ные расиворы не могут быть (Использованы без предварительного активировани  поверхности хрома путем контактироваПИЯ ее с активирующим металлом.

Цель изобретени  - повышение равнол1ерно-сти травлени .

Дл  достижени  этой цели раствор содержиг восстановитель, например двухлористое олово и ионы йода, например, в виде йодидщелочного одновалентного металла. Компоненты раствора вз ты в следующем количестве:

Сол на  кислота (плотность 1,18-1,19 г/см Двухлористое олово, г Йодид кал.и , г

Травитель готов т следующим образом. В концентрированной сол ной кислоте раствор ют 50-150 г йодида щелочного металла (например , кали ), выдерживают не менее суток и фильтруют. В раствор добавл ют 10-150 г хлористого олова ii фильтруют.

Пор док операц 1Й технологического процесса при получении микрорельефа хромовых пленок на стекле следующий:

Нанесение фоторезиста с образованием копировального сло , сушка копировального ,сло , экспонирование копировального слот, про вление, термическа  обработка защитного рисунка, химическое травление незащищенных участков хромовой пленки, Промывка и сушка, удаление фоторезистора.

Пласти;:у с хромовой пленкой, на которую н насен защитный рисунок, погрул ают в раствор дл  травлени  и выдерживают в нем до полного стравлива:ни  хромовой пленки с незащищенных фоторезистОМ участков.

В качестве фоторезиста 1используют ФП-ЗЗЗВ.

Ниже даны составы растворов дл  тра)влени  хромовой пленки: Л°9 1 Кисло га сол на  36-40%, мл 1000 йодистый натр;ий, г100 Двухлористое олово, г40 Врем  полного стра-вливани  хромовой плен ки толщиной 0,12 мкм составл ет 1 мин 20 сек толщиной 0,3 мкм - 4 мин 20 сек. N 2 Кислота сол на  (36-40%), мл 1000 Йодистый калий, г100 Двухлористое олово, г30 Брем  полного стравл«ваии  хромовой пленки толщиной 0,12 мкм составл ет 2 мин 20 сек, толщиной 0.30 мкм - 4 мин 50 сек. № 3 Кислота сол на  (36-40%), мл 1000 Йодистый .аммог.ий, г100 Двухлористое олово, г100 Врем  полного стравл1Ичза Н|Н  хромовой пленки толщннсй 0,12 составл ет 6 мин 55 сек, толщиной 0,30 мкм- 12 мин 40 сек. № 4 Кислота сол на  36-40%, мл 1000 Йодистый калий, г100 Двухлорнстое олово, г.50 Врем  ПОЛНОГО стравливани  хромовой пленки толщиной 0,12 мкм - 1 мин 35 сек, толщиной 0,30 мкм - 3 мин 40 сек. № 5 Кислота сол на  36-40, мл 1000 Насыщенный ipacTBop йода металлического в слирте, мл 100 Двухлористое олово, г50 Врем  полного стравливани  хромовой пленки толщиной 0,12 мкм - I мин 25 сек; толщиной 0,30 мкм - 2 мин 50 сек. При содержании йо-дида менее 100 г/л ок .,рость травле-нй  не уменьшаетс , но создаетс  п р е с ы щен и е .р а с тв о р а. При содержании хлористого олова менее 10 г/л, также как и выше 100 г/л, скорость травлени  уменьшаетс . Наибольша  скорость травлени  хрома Обеспечиваетс  трашггслсм, содержащим 50 г/л двухлористого олова. Раствор N° 5 годен к работе почти сразу же после приготовлени , однако он быстро тер ет свои трав щие свойства. Предмет изобретени  1.Раствор дл  избирательного травлени пленок хрома на основе сол ной кислоты, отличающийс  тем, что, с целью повышени  равномерности травлени , он содержит восстановитель , .например Двухлористое олово, и ионы йода, иаюример, в виде йодида щелочного металла . 2.Раствор по п. 1, отличающийс  тем, чта омпоненты вз ты в следующем количестве: ол на  -кислота (плотность 1,18-1,19 г/см) 1000 мл, Двухлористое олово 10-15Q г, йодлд кали  50-150 г.