SU374552A1 - Способ определения удельного сопротивления резистивных пленочных микросхем - Google Patents
Способ определения удельного сопротивления резистивных пленочных микросхемInfo
- Publication number
- SU374552A1 SU374552A1 SU1470026A SU1470026A SU374552A1 SU 374552 A1 SU374552 A1 SU 374552A1 SU 1470026 A SU1470026 A SU 1470026A SU 1470026 A SU1470026 A SU 1470026A SU 374552 A1 SU374552 A1 SU 374552A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- specific resistance
- microchants
- layer
- resistive film
- electrodes
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к электроизмерительной технике и может йыть использовано дл контрол удельного сопротивлени сло материала на изолирующей подложке, покрытото слоем значительно оолее провод щего материала, например в производстве рез-иСТ1ИВЯЫХ леночных микросхем способом двойной литографии (гравировки).
Известен способ измерени удельного сопротивлени сло материала па изолирующей подложке, согласно которому измерение провод т до локрыти его слоем более провод щего материала.
Утот способ зпачительно усложн ет как процесс измерени , так и технологию изготовлени резистивпых -пленочных микросхем.
Предлагаемый способ повышает точность и упрощает процесс измерени удельного сопротивлени . Дл этого в качестве образцового резистора используют рабочую плату микросхемы , а электроды резистора изготовл ют одновременно с рисунком сло коммутации данной схемы.
На фиг. 1 показан разрез участ1ка подложки , на котором создан измер емый образец резистора с электродами в виде двухсв зной области; на фиг. 2 - тот же участок подложки , вид сверху.
На изолирующую подложку 1 нанесен слой материала 2, удельное сопротивление которого требуетс определить. Он покрыт сверху слоем значительно более провод щего материала .
Ь слое последнего с помощью того или другого способа гравировки, например спосооом фотолитографии, может быть удалена часть материала в виде .кольца, благодар чему образуетс резистор 1кольцевой формы с электродами в виде двухсв зной области (;внещНИИ электрод , внутренний электрод 4). Сопротивление данного резистора пропорционально удельному сопротивлению исследуемого сло PS, а коэффициент пропорциональности определ етс формой кольцевой области и характеризующими ее геометрическими параметрами. Например, дл резистора с электродами в виде кругового кольца, с внещним радиусом ri и внутренним радиусом Га сопротивление К определ етс как
20
. 2к Г1
Так как проводимость электродов .предполагаетс значительно более высокой, чем дл
исследуемого материала, то сопротивлением электродов можно пренебречь. Измерив с помощью зондов, поставленных на электроды 3 и 4, сопротивление R и зна коэффициент пропорциональности дл заданной формы
электродов, можно опоел-елить величину ps.
Предмет изобретени
Способ определени удельного сопротивлени резистивных лленоч ых микросхем, представл ющих собой слой материала «а изолирующей подложке, шокрытого слоем з-начительно более провод щего материала, основанный на контактном методе измерени электродами iB виде двухсв зной области (например , 1В 1виде кругового кольца), отличающийс тем, что, с целью повышени точности и упрощени процесса измерени , в качестве образцового резистора используют рабочую плату микросхемы, а электроды резистора изтотовл ют одновременно с рисунком сло коммутации схемы.
42
Л
J
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1470026A SU374552A1 (ru) | 1970-08-25 | 1970-08-25 | Способ определения удельного сопротивления резистивных пленочных микросхем |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1470026A SU374552A1 (ru) | 1970-08-25 | 1970-08-25 | Способ определения удельного сопротивления резистивных пленочных микросхем |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU374552A1 true SU374552A1 (ru) | 1973-03-20 |
Family
ID=20456546
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1470026A SU374552A1 (ru) | 1970-08-25 | 1970-08-25 | Способ определения удельного сопротивления резистивных пленочных микросхем |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU374552A1 (ru) |
-
1970
- 1970-08-25 SU SU1470026A patent/SU374552A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4143177A (en) | Absolute humidity sensors and methods of manufacturing humidity sensors | |
| US4763534A (en) | Pressure sensing device | |
| US4203087A (en) | Absolute humidity sensors and methods of manufacturing humidity sensors | |
| US7934430B2 (en) | Die scale strain gauge | |
| US3680028A (en) | Vertical resistor | |
| SU374552A1 (ru) | Способ определения удельного сопротивления резистивных пленочных микросхем | |
| JP2000269293A (ja) | 半導体装置 | |
| DK173364B1 (da) | Termistor, fortrinsvis beregnet til temperaturmåling, samt fremgangsmåde til fremstilling af en sådan termistor | |
| US3489980A (en) | Resistive device | |
| JPS5775438A (en) | Semiconductor element | |
| JPS63296260A (ja) | 混成集積回路の印刷基板 | |
| JPS5713745A (en) | Detecting method for ion etching finishing point | |
| JPS6216009B2 (ru) | ||
| JPS61147544A (ja) | 電気特性測定用ステ−ジ | |
| JPS61229302A (ja) | 並置型抵抗体装置 | |
| SU669430A1 (ru) | Зондова головка | |
| SU144313A1 (ru) | Способ исследовани магнитострикции ферритов | |
| JP3608998B2 (ja) | 回路装置、パッケージ部材、回路試験方法および装置 | |
| JPS6148927A (ja) | 半導体装置 | |
| JP2015201489A (ja) | チップ抵抗器の抵抗値測定方法 | |
| SU723382A1 (ru) | Датчик толщины пленки жидкости | |
| SU1388704A1 (ru) | Датчик дл регистрации параметров развити поверхностных трещин | |
| SU1127013A1 (ru) | Планочный резистор | |
| JPH0319302A (ja) | 薄膜抵抗体の製造方法 | |
| JP2004288999A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 |