SU374552A1 - Способ определения удельного сопротивления резистивных пленочных микросхем - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к электроизмерительной технике и может йыть использовано дл  контрол  удельного сопротивлени  сло  материала на изолирующей подложке, покрытото слоем значительно оолее провод щего материала, например в производстве рез-иСТ1ИВЯЫХ  леночных микросхем способом двойной литографии (гравировки).

Известен способ измерени  удельного сопротивлени  сло  материала па изолирующей подложке, согласно которому измерение провод т до локрыти  его слоем более провод щего материала.

Утот способ зпачительно усложн ет как процесс измерени , так и технологию изготовлени  резистивпых -пленочных микросхем.

Предлагаемый способ повышает точность и упрощает процесс измерени  удельного сопротивлени . Дл  этого в качестве образцового резистора используют рабочую плату микросхемы , а электроды резистора изготовл ют одновременно с рисунком сло  коммутации данной схемы.

На фиг. 1 показан разрез участ1ка подложки , на котором создан измер емый образец резистора с электродами в виде двухсв зной области; на фиг. 2 - тот же участок подложки , вид сверху.

На изолирующую подложку 1 нанесен слой материала 2, удельное сопротивление которого требуетс  определить. Он покрыт сверху слоем значительно более провод щего материала .

Ь слое последнего с помощью того или другого способа гравировки, например спосооом фотолитографии, может быть удалена часть материала в виде .кольца, благодар  чему образуетс  резистор 1кольцевой формы с электродами в виде двухсв зной области (;внещНИИ электрод , внутренний электрод 4). Сопротивление данного резистора пропорционально удельному сопротивлению исследуемого сло  PS, а коэффициент пропорциональности определ етс  формой кольцевой области и характеризующими ее геометрическими параметрами. Например, дл  резистора с электродами в виде кругового кольца, с внещним радиусом ri и внутренним радиусом Га сопротивление К определ етс  как

20

. 2к Г1

Так как проводимость электродов .предполагаетс  значительно более высокой, чем дл 

исследуемого материала, то сопротивлением электродов можно пренебречь. Измерив с помощью зондов, поставленных на электроды 3 и 4, сопротивление R и зна  коэффициент пропорциональности дл  заданной формы

электродов, можно опоел-елить величину ps.

Предмет изобретени 

Способ определени  удельного сопротивлени  резистивных лленоч ых микросхем, представл ющих собой слой материала «а изолирующей подложке, шокрытого слоем з-начительно более провод щего материала, основанный на контактном методе измерени  электродами iB виде двухсв зной области (например , 1В 1виде кругового кольца), отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности и упрощени  процесса измерени , в качестве образцового резистора используют рабочую плату микросхемы, а электроды резистора изтотовл ют одновременно с рисунком сло  коммутации схемы.

42

Л

J