SU370682A1

SU370682A1 - VIBLIO:> &? N / -.

Info

Publication number: SU370682A1
Application number: SU1648453A
Authority: SU
Inventors: Н. А. Иванова Г. С. Комаишко ЕССЮЗНЛУ А. Т. Андреев
Priority date: 1971-04-12
Filing date: 1971-04-12
Publication date: 1973-02-15

Description

1one

Изобретение касаетс полупроводниковой электроники и может быть «сиользовано дл травлеин р-п переходов кремниевых - полупроводниковых .структур.The invention relates to semiconductor electronics and can be used for etching pn junctions of silicon - semiconductor structures.

Известны кислотные правители «а основе смесей плавиковой и азотной кислоты.Known acid rulers "and the basis of mixtures of hydrofluoric and nitric acid.

Известен также травитель, в котором вместо азотной кислоты в качестве окислител введен перманганат кали - КМпО.Also known is an etchant, in which potassium permanganate (KMPO) is introduced as an oxidizing agent instead of nitric acid.

Одиако такие травнтелн малопригодны при травлении ;конструкции, содержащей различные металлические элеме1 ты (контакты, припой, компенсаторы, кристаллодержатели и т. д.), так как в этом случае раствор ютс преимущественно 1металлы. При применении подобных травителей необходима защита металлических частей конструкции от разрушени , что 3(начительно усложн ет технологический процесс.Odiaco are not very suitable for etching; constructions containing various metal elements (contacts, solder, compensators, crystal holders, etc.), since in this case 1 metals are predominantly dissolved. When using such etchants, it is necessary to protect the metal parts of the structure from destruction, which 3 (the process becomes extremely complicated).

Цель изобретени - осуществление правлени без защиты металлических элементов конструкции .The purpose of the invention is to implement the board without protecting the metallic elements of the structure.

Дл этого в состав предложенного травител , содержащего плавиковую кислоту, введены серна кислота и бихромат кали . Компоненты травител вз ты в следующем соотнощеииИ , вес. %: For this purpose, sulfuric acid and potassium dichromate are added to the composition of the proposed etchant containing hydrofluoric acid. The components of the hermiter are taken in the following relation, weight. %:

Плавикова кислота14-25,2Hydrofluoric acid14-25,2

Серна кислота3,6-18Sulfuric acid3,6-18

Бих1ромат «али 0,034-0,17Dichromat "Ali 0.034-0.17

Оптимальный состав травител имеет следЗющие концентрации, в г-экв/л:The optimal composition of the hermit has the following concentrations, in g-eq / l:

Плавикова кислота21Hydrofluoric acid21

Серна кислота.. 9Sulfuric acid .. 9

Бихромат кали 0,136Potassium dichromate 0.136

Предложенный травитель опробован дл травлени поверхности фаски тиристоров, содержащих никелевые или алюминиевые контакты , вольфрамовые или молибденовые компенсаторы .The proposed etcher has been tested for etching the surface of chamfering thyristors containing nickel or aluminum contacts, tungsten or molybdenum compensators.

1515

Предмет изобретени Subject invention

Травитель дл кремниевых полупроводн ковых структур с металлическими элементами , содержащий плавиковую етгслоту и бихромат щелочного металла, отличающийс тем, что, с целью осуществлени травлени без защиты металлических элементов конструкции, он содержит серную кислоту, в качестве бихромата щелочного металла применен бихромат кали , а компоненты вз ты в следующем соотнощении, вес. %:An etchant for silicon semiconductor structures with metal elements containing a fluorine etxlot and an alkali metal bichromate, characterized in that, in order to carry out etching without protecting metal elements of the structure, it contains sulfuric acid, potassium dichromate is used as the alkali metal dichromate, and you in the following ratio, weight. %:

Плавикова кислота37,2-35,6Hydrofluoric acid37,2-35,6

Серна кислота62,6-62,9Sulfuric acid62,6-62,9

Бихромат кали 0,2-1,5Potassium dichromate 0.2-1.5