SU243216A1 - Интерференционный резольвометр - Google Patents
Интерференционный резольвометрInfo
- Publication number
- SU243216A1 SU243216A1 SU1130382A SU1130382A SU243216A1 SU 243216 A1 SU243216 A1 SU 243216A1 SU 1130382 A SU1130382 A SU 1130382A SU 1130382 A SU1130382 A SU 1130382A SU 243216 A1 SU243216 A1 SU 243216A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- lens
- resolvometer
- interferential
- resolver
- interference
- Prior art date
Links
- 230000003287 optical Effects 0.000 description 6
- 230000001427 coherent Effects 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- 230000002452 interceptive Effects 0.000 description 2
- 210000000188 Diaphragm Anatomy 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
Description
Предложенное устройство служит дл измерени разрешающей способности оптических систем, стро щих изображение, или отдельных частей этих систем-объективов, экранов , фотографических слоев.
Известен интерференционный резольвометр, содержащий источник когерентного света, телескопическую систему, расшир ющую световой пучок, и систему, отклон ющую световые пучки, выполненную в виде нескольких отклон ющих призм.
Предложенное устройство отличаетс от известного тем, что отклон юща система выполнена в виде одной лолулиизы.
Это устройство позвол ет за одну выдержку получить резольвограмму с непрерывным спектром пространственных частот.
Кроме того, оно .позвол ет также упростить юстировку, повысить надежность и точность определени разрешающей способности, так как спектр пространственных частот непрерывен .
Интерференционный резольвометр образует на выходе испытуемой оптической системы интерференционные полосы с пространственной частотой до Vn,, еде Я - длина волны
iKoHTpacT полос может быть сколь угодно близким к предельному, равно;му единице. Высока временна и пространственна когерентность лазерного излучени позвол ет не за ботитьс об уравнивании оптического пути интерферирующих пучков и о введении ограничивающих сечение лучков диафрагм.
Схема предложенного устройства показана
на чертеже.
Световой поток от когерентного источника света / (лазер Не-Ne) направл етс на телескопическую систему 2, 3, котора расшир ет пучок света, далее на отклон ющую оптическую систему, выполненную из плоскопараллельной пластины 4, расположенной в нижней половине пол зрени , и цилиидрической полулинзы 5, расположенной в верхней половине нол зрени , и на испытуемую систему 6,
например фотоэмульсию.
Рассто ние меладу полулинзой и испытуемой системой вдвое больше фокусного рассто ни линзы. Полулинза быть максимально исправлена на сферическую аберрацию дл обеспечени посто нства освещенности , создаваемого ею в плоскости испытуемой системы. На разных участках испытуемой системы угол встречи интерферируемых лучей мен етс , возраста к периферии, соответТаким образом, за одну выдержку можно получить резольвограмму, на которой пространственна частота интерференционных полос плавно мен етс от кра к краю. Вместо цилиндрической полулинзы можно использовать и сферическую полулинзу. Действие прибора в этом случае будет аналогично рассмотренному , но резольвограмма будет иметь вид не полос, а концентрических полуколец с возрастающей к периферии пространственной частотой .
Предмет изо бретени
Интерференционный резольвометр, содержащий источник когерентного света, телескопическую систему дл расширени светового пучка и оптическую систему дл отклонени световых пучков, отличающийс тем, что, с получени непрерывного спектра пространственных частот и увеличени точности измерений, отклон юща оптическа система выполнена в виде полулинзы.
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU243216A1 true SU243216A1 (ru) |
Family
ID=
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4983039A (en) | Spectrometer | |
JP6271896B2 (ja) | 干渉計測装置、リソグラフィ装置および物品の製造方法 | |
JP6214042B2 (ja) | Euvリソグラフィ系 | |
EP1390689B1 (en) | Reducing coherent artifacts in an interferometer | |
JP4355338B2 (ja) | 光学傾斜計 | |
SU243216A1 (ru) | Интерференционный резольвометр | |
Gorrand | Diffusion of the human retina and quality of the optics of the eye on the fovea and the peripheral retina | |
RU2313070C2 (ru) | Интерференционный спектрометр | |
JP2011525711A (ja) | マイクロリソグラフィのための投影露光システムおよび側方結像安定性監視方法 | |
JPS606293A (ja) | 光線の焦点を対象物に合せる方法および装置 | |
JP2022504212A (ja) | Euvプラズマ源において励起レーザービームを測定するための計測システムおよび方法 | |
JPH05277075A (ja) | 眼軸長測定装置 | |
KR20220066968A (ko) | 파장 가변 광필터의 스펙트럼 응답 속도를 테스트하기 위한 시스템 및 방법 | |
JP2006284233A (ja) | システム誤差計測装置およびこれを備えた波面測定用干渉計装置 | |
JP2614768B2 (ja) | 波長検出装置 | |
SU212751A1 (ru) | Интерференционный резольвометр | |
SU272603A1 (ru) | Интерферометр с фазовой дифракционной решеткой | |
RU2100786C1 (ru) | Фурье-спектрометр | |
SU200816A1 (ru) | Устройство для исследования газовых неоднородностей | |
SU673951A1 (ru) | Устройство дл определени прозрачности оптических трасс | |
JPS60211306A (ja) | 縞走査シエアリング干渉測定装置における光学系調整方法 | |
SU1651111A1 (ru) | Интерференционный спектрометр | |
SU207018A1 (ru) | Интерференционный резольвометр | |
CN118376388A (zh) | 基于泰伯-莫尔条纹全视场频率分析的透镜焦距高精度测量仪 | |
SU588800A1 (ru) | Устройство дл исследовани восстановленного с голограммы волногого фронта |