SU272603A1 - Интерферометр с фазовой дифракционной решеткой - Google Patents
Интерферометр с фазовой дифракционной решеткойInfo
- Publication number
- SU272603A1 SU272603A1 SU1242814A SU1242814A SU272603A1 SU 272603 A1 SU272603 A1 SU 272603A1 SU 1242814 A SU1242814 A SU 1242814A SU 1242814 A SU1242814 A SU 1242814A SU 272603 A1 SU272603 A1 SU 272603A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- interferometer
- phase diffraction
- diffraction grating
- diffraction grid
- zero
- Prior art date
Links
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 3
- 230000001427 coherent Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive Effects 0.000 description 1
- 238000009114 investigational therapy Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical Effects 0.000 description 1
Description
Известны интерферометры с амплитудной дифракционной решеткой, содержащие источник света, объективы в осветительной и приемной част х, дифракционную решетку и регистратор .
Предлагаемый интерферометр позвол ет получать контраст изображени , близкий к единице , дл схем интерференции нулевых и первых пор дков. Он отличаетс от известных тем, что в приемной его части установлена фазова дифракционна решетка с треугольным штрихом, котора в вершине штриха вносит дополнительную разность хода в половину длины волны. Отношение ширины штриха к периоду равно 0,75.
Работает интерферометр следующим образом .
Источник света помещают в фокальной плоскости основного объектива приемной части прибора. Из объектива идет плоска светова волна.
В рабочей плоскости прибора устанавливают непрозрачную диафрагму с двум отверсти ми . Одно из них ограничивает рабочее поле прибора, другое - поле сравнени . В рабочем поле иаходитс оптическа неоднородность , внос ща дополнительную разность хода световых лучей, которую надо измерить с помощью нрибора. Основной объектив приемной части прибора сводит лучи в фокус. Вблизи второй фокальной плоскости основного объектива приемной части прибора расположена дифракционна решетка, а за ней - экран , на который проецируетс изображение рабочего пол и пол сравнени .
После дифракционной решетки каждый из световых ПУЧКОВ расщепл етс на множество дифракционных максимумов. Нулевой максимум распростран етс так же, как распростран лс бы свет при отсутствии дифракционной решетки. Остальные максимумы отклонены от нулевого на некоторый угол.
ПОСКОЛЬКУ изобрал ени когерентны, то при наложении имеет место обычна интерференционна картина, характерна дл ДВУХ лучевых интерферометров. Она позвол ет измер ть разность хода световых лучей, вносимую исследуемой неоднородностью.
Качество интерЛеренционной картины зависит от амплитуд интерферирующих волн. Дл больптей освещенности амплитуды волн должны быть достаточно велики, а дл достаточно высокой контрастности полос амп. итуды должны быть близки друг другу. При этолг необходимо , чтобы решетка дл оптимальных условий И1 терфереицип ДВУХ схем нулевого и первого пор дков и плюс и МИНУС первого пор дков была одной н той же. Дл этого в решетке интенсивности илюс и первого и нулевого изображений должны быть равны. Дл соблюдени вышеупом нутых условий отношение ширины штриха к периоду решетки должно быть иримерно 0,75, а дополнительна разность хода, вносима в максимуме штриха , - около половины длины световой волны. При этом контраст картины интерференции плюс и минус первого изобрал ений равен единице , а освещенность в максимумах полос - 11,5 условной единицы. При интерференции нулевого и первого изображений контраст не хуже 0,99, а интенсивность - 11,5 условной единицы. Таким образом, освещенность картины по сравнению с амплитудной рещеткой улучшаетс в 1,7 раза дл интерференции 0-1 изобралсений и в 2,9 раза дл интерференции -f 1-1 изображений. Кроме того, AJjH О-1 изображений контраст картины повышаетс с 0,91 до 0,99 (везде расчет ведетс дл тонкого источника света). Важно, что почти единичный контраст достигаетс с одной решеткой в двух схемах интерференции . Предмет изобретени Интерферометр с фазовой дифракционной решеткой, содерл ащий источник света, объективы в осветительной и приемной част х, дифракционную решетку и регистратор, отличающийс тем, что, с целью получени контраста изображени , близкого к единице, дл схем интерференции нулевых и первых пор дков , в приемной части прибора установлена фазова дифракционна решетка с треугольным штрихом, котора в вершине штриха вносит дополнительную разность хода в половину длины волны и имеет отношение ширины штриха к периоду, равное 0,75.
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU272603A1 true SU272603A1 (ru) |
Family
ID=
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4047022A (en) | Auto focus with spatial filtering and pairwise interrogation of photoelectric diodes | |
WO2017213464A1 (ko) | 디지털 마이크로미러 소자와 시간 복합 구조화 조명을 이용한 구조화 조명 현미경 시스템 및 그 동작 방법 | |
US20080204766A1 (en) | Method and microscope device for observing a moving specimen | |
US3977795A (en) | Method of determining the modulation transfer function | |
US9588055B2 (en) | Defect inspection apparatus and defect inspection method | |
US3794406A (en) | Method of and apparatus for optical multiple filtering | |
SU272603A1 (ru) | Интерферометр с фазовой дифракционной решеткой | |
JP2018054448A (ja) | スペクトルの測定方法 | |
US7167249B1 (en) | High efficiency spectral imager | |
RU2579640C1 (ru) | Конфокальный спектроанализатор изображений | |
Caulfield | Holographic spectroscopy | |
KR20180081657A (ko) | 디지털 마이크로미러 소자와 시간 복합 구조화 조명을 이용한 구조화 조명 현미경 시스템 및 그 동작 방법 | |
RU2313070C2 (ru) | Интерференционный спектрометр | |
JP2019204002A (ja) | 顕微鏡、画像解析装置、観察方法、解析プログラム | |
TWI485431B (zh) | 用於均質同調輻射的設備 | |
SU523649A3 (ru) | "Способ передачи информации | |
JP2020030166A (ja) | 距離測定装置および方法 | |
RU2029980C1 (ru) | Лазерное проекционное устройство формирования изображения топологии интегральных схем | |
SU1130747A2 (ru) | Растровый спектрометр с селективной модул цией | |
JP7283190B2 (ja) | 分光測定装置及び分光測定方法 | |
SU494722A1 (ru) | Способ количественной оценки неоднородностей в прозрачных средах | |
SU243216A1 (ru) | Интерференционный резольвометр | |
SU1028152A1 (ru) | Голографический способ исследовани фазовых объектов | |
SU200816A1 (ru) | Устройство для исследования газовых неоднородностей | |
SU512412A1 (ru) | Теневой прибор |