SU1840423A1 - Способ получения покрытий из металлов - Google Patents
Способ получения покрытий из металловInfo
- Publication number
- SU1840423A1 SU1840423A1 SU3039665/09A SU3039665A SU1840423A1 SU 1840423 A1 SU1840423 A1 SU 1840423A1 SU 3039665/09 A SU3039665/09 A SU 3039665/09A SU 3039665 A SU3039665 A SU 3039665A SU 1840423 A1 SU1840423 A1 SU 1840423A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- coatings
- production
- mass
- transfer
- metals
- Prior art date
Links
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Изобретение относится к квантовой электронике и может быть использовано для получения зеркальных защитных покрытий для элементов лазеров, а также в микроэлектронике. Технический результат заключается в повышении коэффициента отражения и чистоты покрытия при сохранении высокой адгезионной прочности и стойкости к механическим воздействиям. Способ получения покрытий из металлов преимущественно для оптических элементов лазеров, заключается в массопереносе исходных соединений, термическом газофазном разложении их на металл и органические продукты, разложении и осаждении металла на нагретой подложке с одновременным отводом из зоны реакции органических продуктов разложения. В качестве исходных соединений используют 4-иминопентан-2-онаты никеля, кобальта и меди, или трифтор-4-иминопентан-2-онатов никеля, кобальта и меди. Перед массопереносом исходных соединений осуществляют смешение потока инертного газа с потоком водорода до содержания последнего в смешанном газовом потоке 30-90 об.%. Массоперенос осуществляют смешанным газовым потоком, нагретым до температуры, равной 170-190°С. Осаждение металла ведут при температуре подложки 230-250°С. 1 ил.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU3039665/09A SU1840423A1 (ru) | 1982-04-15 | 1982-04-15 | Способ получения покрытий из металлов |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU3039665/09A SU1840423A1 (ru) | 1982-04-15 | 1982-04-15 | Способ получения покрытий из металлов |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1840423A1 true SU1840423A1 (ru) | 2007-03-20 |
Family
ID=60541958
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU3039665/09A SU1840423A1 (ru) | 1982-04-15 | 1982-04-15 | Способ получения покрытий из металлов |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1840423A1 (ru) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2443799C2 (ru) * | 2010-03-25 | 2012-02-27 | Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН) | Способ металлизации поверхности полупроводника или диэлектрика |
RU2481901C2 (ru) * | 2008-06-03 | 2013-05-20 | Айкстрон Аг | Способ и устройство осаждения тонких слоев полипараксилилена или замещенного полипараксилилена |
-
1982
- 1982-04-15 SU SU3039665/09A patent/SU1840423A1/ru active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2481901C2 (ru) * | 2008-06-03 | 2013-05-20 | Айкстрон Аг | Способ и устройство осаждения тонких слоев полипараксилилена или замещенного полипараксилилена |
RU2443799C2 (ru) * | 2010-03-25 | 2012-02-27 | Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН) | Способ металлизации поверхности полупроводника или диэлектрика |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DK159502B (da) | Fremgangsmaade til fremstilling af komposit-legeringer baseret paa aluminium og bor, samt anvendelse af fremgangsmaaden | |
ATE63144T1 (de) | Mischnitrid-schichten mit wenigstens zwei metallen und verfahren zu deren herstellung. | |
ATE327852T1 (de) | Verfahren zur herstellung von metallpulver durch thermischer zersetzung | |
SU1840423A1 (ru) | Способ получения покрытий из металлов | |
Walsh | Concerning the kinetics and mechanism of allene to methylacetylene isomerisation | |
ATE259259T1 (de) | Herstellung von platinbeschichtungen durch plasmapolymerisation | |
ES8101941A1 (es) | Procedimiento de enfriamiento de un hilo de metal o de alea-cion metalica | |
SU1840420A1 (ru) | Способ получения отражающих покрытий | |
JPS575859A (en) | High temperature electrolytic nitriding method | |
Hino | Activities in Molten Cu--As, Cu--S--As and Fe--S--As Alloys. III. Thermodynamic Studies of Molten Arsenic Alloys | |
Smith | NiBRON Nickel--Boron Wear Resistant Coatings | |
HONMA et al. | Electroless Solder Plating | |
JPS5419663A (en) | Forming method of insulating films | |
Vater | The Zinc--Nickel Precipitation--Functional Properties of Layers and Features of a New Process | |
Hiler et al. | Development of a Method to Accomplish Aluminum Deposition by Gas Plating | |
Veleva | Chemical Baths for Obtaining Thick Copper Coatings in the Electronics Industry | |
Chattaway | A method of depositing copper upon glass from aqueous solutions in a thin brilliantly reflecting film, and thus producing a copper mirror | |
SE8104242L (sv) | Forfarande for reducering av syrehalten i gasblandningar, varvid gasen bringas i kontakt med en losning innehallande antrahydrokinonderivat | |
JPS53146933A (en) | Chemical plating method | |
JPS546025A (en) | Water-based coating composition | |
JPS55110773A (en) | Preparation of aluminum alloy product | |
SU527484A1 (ru) | Раствор дл химического осаждени сплава на основе никел | |
JPS5268886A (en) | Surface treatment method of powder | |
JP2001254163A (ja) | NiまたはNi合金基体に対するAlまたはAl合金の被覆法 | |
JPS5511184A (en) | Surface treating method of copper or copper alloy or plated product by these metals |