SU1734992A1 - Устройство дл резки слитков на пластины - Google Patents

Abstract

Использование: в станках резки слитков кремни . Сущность изобретени : устройство имеет станину с ползуном с механизмом продольного перемещени , на ползуне расположен суппорт, состо щий из механизма продольного перемещени  со штоком, который соединен с присоской дл  креплени  слитка, при этом подвод присоски со слитком в зону резани  производитс  механизмом продольного перемещени  суппорта, а отвод производитс  вместе с ползуном другим механизмом продольного перемещени  ползуна.2 ил,

Description

сл С

Изобретение относитс  к приборостроению и может быть использовано в станках резки слитков кремни .

Известно устройство дл  разрезани  полупроводникового материала, содержащее станину, дисковый режущий инструмент с приводом вращени  и подачи и механизм подачи заготовки с ограничителем с возможностью возвратно-поступательного перемещени  от привода, который снабжен регулируемым и фиксируемым упором, подпружиненным относительно станины.

Недостатком данного устройства  вл етс  невысока  надежность вакуумного захвата слитка полупроводникового материала. При отводе слитка из зоны резани  вакуумный захват может оторватьс  от торца слитка.

Известно также устройство дл  разреза заготовок, преимущественно полупроводниковых , содержащее станину с направл ющими , головку с режущим инструментом, оправку дл  креплени  заготовки и суппорт с механизмом прижима его направл ющими .снабженное механизмом прижима оправки дл  креплени  заготовки к направл ющим , а суппорт выполнен в виде двух соединенных между собой пневмо- или гидроцилиндров, при этом шток одного из цилиндров соединен с оправкой дл  креплени  заготовки, а шток второго цилиндра - с механизмом прижима суппорта к направл ющим .

Недостатком устройства  вл етс  биение и касание режущего инструмента при его отводе о торец полупроводникового цилиндра , что снижает качество торца слитка.

Целью изобретени   вл етс  повышение надежности.

На фиг. 1 изображена схема устройства дл  резки слитков на пластины; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1.

j со

4 О Ю Ю

Устройство состоит из направл ющей станины 1, направл ющего ползуна 2, пнев- моцилиндра 3 продольного перемещени  ползуна 2. На ползуне 2 расположен суппорт 4 с пневмоцилиндром 5 продольного перемещени  со штоком 6 и присоски 7 дл  креплени  плитки 8 с торца.

Суппорт4 снабжен пневмоцилиндром 9 с прижимом 10 к ползуну 2.

Слиток 8 закрепл етс  на ползуне 2 прижимом 11 с пневмоцилиндром 12 и режетс  на пластины вращающимс  абразивным кругом 13 при его поперечном движении относительно оси слитка.

Устройство работает следующим обра- зом.

В исходном положении суппорт 4 прижат к ползуну 2, при подаче давлени  в пневмоцилиндр 9 в нижнюю его полость прижим 10 зажимает суппорт 4 относитель- но ползуна 2, Слиток устанавливаетс  на направл ющих ползуна 2 и его торец подводитс  к присоске 7, после чего за счет вакуума происходит прижатие торца слитка к присоске.

При подаче давлени  в певую полость пневмоцмлиндра 5 шток 6 с присоской 7 перемещает слиток 8 на требуемую величину в зону резани . Подачей давлени  в верхнюю полость пневмоцилиндра прижимом 11 слиток зажимаетс  на ползуне. Радиальным смещением круга 13 происходит резка слитка на пластины.

В процессе резки слитка давление подаетс  в верхнюю полость пневмоцилиндра 9, что приводит к разжиму суппорта 4 относительно ползуна 2. После разжима суппорта 4 давление подаетс  в правую полость пневмоцилиндра 5, после чего суппорт 4 перемещаетс  вправо на определенную ве- личину. Последующей подачей давлени  в нижнюю полость пневмоцилиндра 9 суппорт 4 вновь прижимаетс  к ползуну 2. После отрезки пластины кругом 13 необходимо отвести слиток назад, чтобы при отводе круга не повредить торец слитка . Дл  этого подаетс  давление в правую полость пневмоцилиндра 3, что позвол ет

отвести ползун 2 от круга 13 на определенную величину.

Дл  этого необходимо разжать слиток относительно станины 1. В этом случае давление подаетс  в нижнюю полость пневмоцилиндра 12, что позвол ет отвести прижим 11 от слитка. Последующей подачей давлени  в правую полость пневмоцилиндра 3 отводитс  ползун 2 со слитком 8 от круга 13 на определенную величину. Далее отводитс  круг 13 в радиальном направлении в исходное положение дл  резки.

Дл  подвода слитка в зону отрезки пластины необходимо подать давление в левую полость пневмоцилиндра 3, что позвол ет сместить ползун 2 со слитком 8 в положение после отрезки пластины, и подачей давлени  в левую полость пневмоцилиндра 5 сли- ток перемещаетс  на определенную величину, необходимую дл  резки, Далее цикл работы повтор етс .

Предлагаемое устройство позвол ет повысить качество резки пластины, так как после отрезка ползун со слитком отводитс  от круга, чтобы не повредить торцевую поверхность слитка при отводе круга в исходное положение.

Повышаетс  надежность работы устройства , так как не происходит перемещение слитка относительно ползуна в обратном направлении, что позвол ет избежать отрыв присоски от торца слитка.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Устройство дл  резки слитков на пластины , включающее станину, установленный на нее ползун, суппорт, механизм продольного перемещени  заготовки по суппорту, механизм отреза заготовки, о т- личающеес  тем, что, с целью повышени  надежности, станина снабжена направл ющими дл  установки на них ползуна и силовым приводом перемещени  ползуна по направл ющим станины, ползун - направл ющими , на которые установлен суппорт , и механизмом прижима суппорта к ползуну, при этом механизм продольного перемещени  заготовки установлен на суппорте .