SU1666564A1 - Сплав на основе рени - Google Patents

Сплав на основе рени Download PDF

Info

Publication number
SU1666564A1
SU1666564A1 SU884618637A SU4618637A SU1666564A1 SU 1666564 A1 SU1666564 A1 SU 1666564A1 SU 884618637 A SU884618637 A SU 884618637A SU 4618637 A SU4618637 A SU 4618637A SU 1666564 A1 SU1666564 A1 SU 1666564A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
rhenium
alloy
amorphous
proposed
temperature coefficient
Prior art date
Application number
SU884618637A
Other languages
English (en)
Inventor
Юрий Вениаминович Бармин
Иван Васильевич Золотухин
Олег Александрович Кордин
Олег Владимирович Стогней
Юрий Алексеевич Обвинцев
Original Assignee
Воронежский Политехнический Институт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Воронежский Политехнический Институт filed Critical Воронежский Политехнический Институт
Priority to SU884618637A priority Critical patent/SU1666564A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1666564A1 publication Critical patent/SU1666564A1/ru

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к сплавам на основе рени , преимущественно в аморфном состо нии, используемым в радиоэлектронном приборостроении и микроэлектронике. Целью изобретени   вл етс  повышение термической стабильности, удельного электросопротивлени  и уменьшение температурного коэффициента электросопротивлени . Предложенный аморфный сплав содержит компоненты в следующем соотношении, мас.%: титан 3,7 - 10,8
рений - остальное. Содержание примесей в предложенном сплаве следующее, мас.%: углерода и кислорода до 0,14 (каждого)
азота до 0,12
аргона до 0,12. Температура перехода предложенного сплава из аморфного в кристаллическое состо ние 730 - 855°С, удельное электросопротивление 205 - 245 мкОм.см и температурный коэффициент электросопротивлени  (-1 - -5).10-5К-1. 1 табл.

Description

Изобретение относитс  к металлургии, в частности к сплавам на основе рени , преимущественно в аморфном состо нии, используемым s радиоэлектронном приборостроении и микроэлектронике.
Целью изобретени   вл етс  повышение термической стабильности, удельного электросопротивлени  и уменьшение температурного коэффициента электросопротивлени .
Изобретение иллюстрируетс  следующими приимерами,
Составы известного и предложенного аморфных сплавов, приведенные в таблице, готовили на установке трехэлектродного
иокно--хfit г генного распылени  В процессе распы .ени  ток плазмы 15-20 А, напр жение плпзмы 30 В, ток мишени 500 мА, напр ъкен че мишенч 2 кВ. Составы фолы из предложенного и известного сплавов, наход щиес  з аморфном состо нии, контролировались методом рентгеновского электроннозондового микроанализа, Содержание примесей в сплаве не более, мас.%; углерод 0,14; кислород 0,14, азот 0,12; аргон 0,12.
Свойства известного и предложенного аморфных сплавов приведены в таблице. Как следует из приведенных в таблице данных , поедложенный аморфный сплав на
Hose рени  обеспечивает по сравнению с известным сплавом повышение термиче- (жой стабильности (температура перехода Из аморфного в кристаллическое состо ние выше на 375-500°С), удельного электросопротивлени  - на 14-35% и уменьшение температурного коэффициента электросопротивлени  в 1,3-6,5 раза.

Claims (1)

  1. Формула изобретени  Сплав на основе рени , преимущественно с аморфной структурой, содержащий
    титан, отличающийс  тем, что, с целью повышени  термической стабильности, удельного электросопротивлени  и уменьшени  температурного коэффициента элек- тросопротивлени , он содержит компоненты в следующем соотношении, мас,%:
    Титан Рений
    3,7-10,8 Остальное
SU884618637A 1988-12-12 1988-12-12 Сплав на основе рени SU1666564A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884618637A SU1666564A1 (ru) 1988-12-12 1988-12-12 Сплав на основе рени

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884618637A SU1666564A1 (ru) 1988-12-12 1988-12-12 Сплав на основе рени

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1666564A1 true SU1666564A1 (ru) 1991-07-30

Family

ID=21414445

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU884618637A SU1666564A1 (ru) 1988-12-12 1988-12-12 Сплав на основе рени

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1666564A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1956106A3 (en) * 2007-01-08 2008-09-10 Heraeus, Inc. Re-based alloys usable as deposition targets for forming interlayers in granular perpendicular magnetic recording media & media utilizing said alloys

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Савицкий Е.М., Тылгчна М Л. Хаммдоа О.Х. сследозание растворимости переходных метачлов ь оекии и .- котэоые свойстоэ сплавов. Извести АН СССР, Мзталлы, 1969, №4. с. 200-208. Лавин A.M.. Жоооза Л.И. Вли ние легирующих элементов ча деформируемость литого рени . Извести вузов. Цветна металлурги , 1966. №6. с. 1Д6-149. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1956106A3 (en) * 2007-01-08 2008-09-10 Heraeus, Inc. Re-based alloys usable as deposition targets for forming interlayers in granular perpendicular magnetic recording media & media utilizing said alloys

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100236429B1 (ko) 실리콘과 도펀트화합물을 갖는정제된 탄탈륨 또는 니오븀합금
US5236789A (en) Palladium alloys having utility in electrical applications
US5139891A (en) Palladium alloys having utility in electrical applications
JPH0568542B2 (ru)
SU1666564A1 (ru) Сплав на основе рени
JP3634208B2 (ja) 液晶ディスプレイ用の電極・配線材及びスパッタリングターゲット
US4139373A (en) Alloys of titanium
JPH09263864A (ja) 耐放電摩耗性が優れる銅合金
HU188441B (en) Vacuum chamber circuit breaker
US2666698A (en) Alloys of titanium containing aluminum and iron
WO2004087976A1 (en) Oxygen-free copper alloy and method for its manufacture and use of copper alloy
JPH05163543A (ja) 耐熱チタン合金
JPH06346173A (ja) Ｔｉ−Ａｌ系金属間化合物基合金
JPH0397817A (ja) ワイヤ放電加工用電極線
US2213343A (en) Electric contact combination
JP4071233B2 (ja) 電解コンデンサ用アルミニウム箔
SU1636466A1 (ru) Аморфный сплав дл тонкопленочных резисторов и способ его получени
JPS62192549A (ja) 通電子用銅合金
CA1184967A (en) Alloy wire for lamp components and lamps incorporating same
SU528343A1 (ru) Сплав на основе ниоби
Zanner et al. Characterization of Inconel 718 Alloy Metal Vapor Arc Behavior as a Function of Carbon Monoxide Pressure During Vacuum Arc Remelting
JP2002167631A (ja) 電気接点材料及びその製造方法及びガス遮断器
RU2012607C1 (ru) Сплав на основе палладия
JP3150516B2 (ja) 真空バルブ用接点材料
JPH0788544B2 (ja) 真空バルブ用接点合金