SU1562532A1 - Вакуумный молекул рный насос - Google Patents
Вакуумный молекул рный насос Download PDFInfo
- Publication number
- SU1562532A1 SU1562532A1 SU884463644A SU4463644A SU1562532A1 SU 1562532 A1 SU1562532 A1 SU 1562532A1 SU 884463644 A SU884463644 A SU 884463644A SU 4463644 A SU4463644 A SU 4463644A SU 1562532 A1 SU1562532 A1 SU 1562532A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- stator
- disk
- disks
- rotor
- pump
- Prior art date
Links
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к вакуумной технике и позвол ет улучшить откачные характеристики насоса. Статорный диск (Д) 4, расположенный со стороны нагнетани насоса, закреплен на статоре 2 при помощи мембраны 7, что позвол ет измен ть его положение с целью поддержани посто нного зазора между Д 4 и роторным диском 6 при помощи приводов (П) 8 в количестве не менее трех, равномерно расположенных по окружности Д 4, и датчиков 9 величины зазора, св занных с П 8 по принципу отрицательной обратной св зи. 2 ил.
Description
Фиг. 2
Claims (1)
- Формула изобретенияВакуумный молекулярный насос, содержащий корпус с размещенным . в нем статором, снабженным статорными дисками и установленный на оси корпуса ротор с роторными дисками, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, статорный диск, расположенный со стороны нагнетания, закреплен на статоре при помощи мембраны и снабжен по меньшей мере тремя приводами аксиального перемещения, равномерно расположенными по окружности диска, а каждый привод снабжен датчиком величины зазора между статорным и сменным с ним роторным дисками, причем датчик соединен с приводом по принципу отрицательной обратной связи.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884463644A SU1562532A1 (ru) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | Вакуумный молекул рный насос |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884463644A SU1562532A1 (ru) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | Вакуумный молекул рный насос |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1562532A1 true SU1562532A1 (ru) | 1990-05-07 |
Family
ID=21391109
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU884463644A SU1562532A1 (ru) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | Вакуумный молекул рный насос |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1562532A1 (ru) |
-
1988
- 1988-07-19 SU SU884463644A patent/SU1562532A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 1267055, кл. У 04 D 19/04, 1985. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69723955D1 (de) | Peristaltische Pumpe | |
IT9067113A1 (it) | Statore per pompa turbomolecolare. | |
GR1001107B (el) | Συστημα ψυξεως κινητηρα με την χρηση ενος υγροψυκτου ροτορα. | |
ATE393314T1 (de) | Turbomolekularpumpe | |
JPS61145394A (ja) | 分子ポンプ | |
SU1562532A1 (ru) | Вакуумный молекул рный насос | |
DK715088D0 (da) | Motor-pumpe-enhed til en hoejtryksrenser | |
SU1535613A1 (ru) | Роторный акустический аппарат | |
SU918534A1 (ru) | Герметичный ротационный нагнетатель | |
SU1647785A1 (ru) | Многороторный электродвигатель | |
SU1573234A1 (ru) | Двухступенчатый турбомолекул рный вакуумный насос | |
JPH03237297A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
ATE67012T1 (de) | Rotationsluftverdichter. | |
SU723225A1 (ru) | Электроприводной центробежный насос | |
SU781943A1 (ru) | Двигатель лентопрот жного механизма | |
SU851480A1 (ru) | Устройство дл привода гибкого диска | |
SU721887A1 (ru) | Вибродвигатель | |
JPH01294995A (ja) | 真空ポンプ | |
SU931977A1 (ru) | Молекул рный вакуумный насос | |
JPH03237295A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
SU973933A1 (ru) | Центробежный герметичный насос | |
SU1198283A1 (ru) | Инерционный аккумул тор | |
SU777687A1 (ru) | Устройство дл записи на гибкий магнитный диск | |
RU1282634C (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
SU823650A1 (ru) | Молекул рный вакуумный насос |