SU1549386A1 - Способ подгонки величины сопротивления пленочных резисторов гибридных интегральных микросхем - Google Patents
Способ подгонки величины сопротивления пленочных резисторов гибридных интегральных микросхемInfo
- Publication number
- SU1549386A1 SU1549386A1 SU4324385/21A SU4324385A SU1549386A1 SU 1549386 A1 SU1549386 A1 SU 1549386A1 SU 4324385/21 A SU4324385/21 A SU 4324385/21A SU 4324385 A SU4324385 A SU 4324385A SU 1549386 A1 SU1549386 A1 SU 1549386A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- resistor
- conductivity
- surface resistivity
- channel
- ris
- Prior art date
Links
Landscapes
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Abstract
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при производстве резисторов. Цель изобретения - повышение мощности рассеивания резистора - достигается тем, что в резисторе, состоящем из резистивного элемента 1 и контактных площадок 2, нанесенных на диэлектрическую подложку 3, подгонка осуществляется путем образования вдоль кромок резистивного элемента 1 каналов 4 повышенной проводимости. Каналы повышенной проводимости в резистивном элементе могут быть получены термической обработкой участков пленки резистивного элемента 1 с помощью луча лазера при непрерывном контроле номинала пленочного резистора. Максимальная ширина канала 4 повышенной проводимости не превышает 0,25 ширины резистивного элемента 1, а величину удельного поверхностного сопротивления канала повышенной проводимости определяют следующим выражениемгде R - удельное поверхностное сопротивление канала повышенной проводимости резистивного элемента; R- удельное поверхностное сопротивление оставшейся части резистивного элемента. Изобретение обеспечивает повышение мощности рассеяния резистора в 1,5 раза при уменьшении сопротивления резистора в процессе подгонки на одну треть. 2 табл., 2 ил.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4324385/21A SU1549386A1 (ru) | 1987-10-05 | 1987-10-05 | Способ подгонки величины сопротивления пленочных резисторов гибридных интегральных микросхем |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4324385/21A SU1549386A1 (ru) | 1987-10-05 | 1987-10-05 | Способ подгонки величины сопротивления пленочных резисторов гибридных интегральных микросхем |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1549386A1 true SU1549386A1 (ru) | 1996-01-10 |
Family
ID=60527389
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU4324385/21A SU1549386A1 (ru) | 1987-10-05 | 1987-10-05 | Способ подгонки величины сопротивления пленочных резисторов гибридных интегральных микросхем |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1549386A1 (ru) |
-
1987
- 1987-10-05 SU SU4324385/21A patent/SU1549386A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE59503325D1 (de) | Kaltleiter und Vorrichtung zur Strombegrenzung mit mindestens einem Kaltleiter | |
DK96688D0 (da) | Elektriske tykfilms-modstandsspor | |
EP0100571A3 (en) | Low resistance buried power bus for integrated circuits | |
FI822371L (fi) | Kokplatta | |
DE50213016D1 (de) | Verfahren zum herstellen einer elektrisch leitenden widerstandsschicht sowie heiz- und/oder kuehlvorrichtung | |
IT1291488B1 (it) | Preapplicazione di grasso a dissipatori di calore con un rivestimento protettivo. | |
BR8402218A (pt) | Aquecedor laminar e processo para proporcionar uma cobertura protetora sobre um substrato | |
DE69224689D1 (de) | Leistungsschichtwiderstand | |
KR970018877A (ko) | 반도체 레이저 부품의 제조 방법 | |
EP0279601A3 (en) | Electrical conductor arrangement | |
SU1549386A1 (ru) | Способ подгонки величины сопротивления пленочных резисторов гибридных интегральных микросхем | |
GB2016208A (en) | Integrated circuit including a resistive element | |
JPS5545159A (en) | Magnetic bubble memory element | |
KR880001031A (ko) | 테이프 본딩용 장치 및 그 방법 | |
ES2181140T3 (es) | Elemento calefactor y aparato electrodomestico, especialmente plancha de vapor, que comprende dicho elemento y procedimiento de obtencion de la plancha. | |
SE8203931L (sv) | Vermekabel och sett att framstella densamma | |
JPS55144178A (en) | Thermal head | |
KR870001893Y1 (ko) | 발열판 | |
JPS533066A (en) | Electrode formation method | |
JPS5746895A (en) | Thermal printing device | |
JPS56116658A (en) | Semiconductor resistance element and manufacture thereof | |
JPS57162356A (en) | Integrated circuit device | |
JPS5339088A (en) | Insulated gate type field effect semiconductor device | |
JPS55165650A (en) | Semiconductor integrated circuit | |
JPS5311768A (en) | Electric mosquito avoiding device |