SU1541638A2 - Устройство дл селекции дефектов фотошаблонов - Google Patents
Устройство дл селекции дефектов фотошаблонов Download PDFInfo
- Publication number
- SU1541638A2 SU1541638A2 SU884409722A SU4409722A SU1541638A2 SU 1541638 A2 SU1541638 A2 SU 1541638A2 SU 884409722 A SU884409722 A SU 884409722A SU 4409722 A SU4409722 A SU 4409722A SU 1541638 A2 SU1541638 A2 SU 1541638A2
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- output
- signal
- outputs
- elements
- input
- Prior art date
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к автоматике и вычислительной технике и вл етс усовершенствованием известного устройства по авт.св.N1120376. Цель дополнительного изобретени - повышение точности устройства за счет возможности дополнительно обнаруживать дефекты фотошаблонов в виде узких царапин. Поставленна цель достигаетс введением в устройство третьего и четвертого формирователей сигналов, первого и второго элементов ИЛИ, элемента И-НЕ и четвертого элемента И. 7 ил.
Description
Изобретение относитс к автоматике и вычислительной технике, может быть использовано, например, дл контрол фотошаблонов и вл етс усовершенствованием известного устройства по авт. св. № 1120376.
Целью изобретени вл етс повышение точности устройства.
На фиг.1 представлена блок-схема предлагаемого устройства; на фиг.2 - фрагмент исследуемого объекта (а,б) и диаграммы, по сн ющие работу устройства (в); на фиг.З - принцип формировани выходных сигналов второго формировател сигналов; на фиг.4-7 - дефекты фотошаблонов.
Устройство содержит блок 1 сканировани , первый 2 и второй 3 компараторы , сумматор 4, первый 5 и второй 6 формирователи сигналов, первый 7 и второй 8 элементы ИЛИ-НЕ, первый 9, второй 10 и третий 11 элементы И, группы 12 и 13 элементов И, входы 14 и 15 компараторов, третий 16 и четвертый 17 формирователи сигналов, первый 18 и второй 19 элементы ИЛИ, элемент И-НЕ 20, четвертый элемент И 21, выходы 22-25 устройства.
Устройство работает следующим образом .
Видеосигнал, поступающий с выхода блока 1 сканировани , подаетс на первые входы компараторов 2 и 3 с помощью которых квантуетс по амплитуде на два уровн (уровни соответствуют логическому О и 1) путем сравнени с пороговыми уровн ми напр жений , соответствующими эталонному уровню белого по входу 14 (фиг.2в, 01) и эталонному уровню черного по входу 15 (фиг.2а,0г), которые подаютс на вторые входы компараторов 2 и 3. Таким образом, на выходе первого компаратора 2 формируетс первый опорный сигнал, а на выходе второго компаратора 3 - второй опорный сигнал (.j); W,(i,j) на фиг.2а,в). С выходов компараторов 2 и 3 опорные сиг (Л
ел
Ј
СЭ
со оо
1Ч
15
20
налы поступают на входы сумматора k. В результате сложени на выходе сумматора 1 формируетс сигнал суммы (G(i,j) на фиг.26,в).
С выхода сумматора k сигнал суммы Додаетс на формирователь 5 сигналов (блок электронного окна), с которого снимаютс сигналы, соответствующие функци м ркости данного элемента ок-JQ на. Перва группа сигналов, соответствующа элементам Xт-Х14(фиг.З) подаетс на формирователь 6, на выходе «эторого по вл етс сигнал, если рассто ние между объектами или размер самого объекта меньше минимально допустимого . Втора группа сигналов, соответствующа элементам окна Yt- У3 (фиг.З), подаетс на входы первого Элемента И 9 и на входы первого элемента ИЛИ-НЕ 7. Сигнал с выхода формировател 6 подаетс на один вход Элемента И 10, на другой вход которо- fo подаетс сигнал с выхода элемента ИЛИ-НЕ 7. На выходе элемента И 10 25 |;игнал по вл етс в том случае, если рассто ние между участками серого меньше минимально допустимого (фиг.А). Перва группа сигналов, соответствующа элементам абсциссы (фиг.З), подаетс также на элементы И 11 и ИЛИ-НЕ 8, с выхода последнего подаетс на первый вход элемента И группы 12. На второй вход данного элемента И подаетс сигнал с выхода элемента И 9 На выходе элемента И группы 12 сигнал по вл етс в случае наличи дефекта tnna вкраплени (фиг.5 и 26). Сигнал ф выхода элемента И 11 подаетс на первый вход другого элемента И группы 13, на второй вход которого подаётс сигнал с выхода элемента И 9. На выходе элемента И группы 13 сигнал по вл етс в случае наличи дефекта Оптической плотности фотошаблона (фиг.6 и 26), т.е. когда ширина участка серого больше допустимой величины .
Опорные сигналы W,(i,j); Wt(i,j) (фиг.2в) с выходов компараторов 2 и 3 поступают также на входы третьего и четвертого формирователей 16 и 17 Сигналов (блоки электронного окна), С которых снимаютс сигналы X .,-Х и , соответствующие функци м
30
15
40
.50
элементов У -Х24формировател 5 сигналов (фиг.З). Группа сигналов Х, -Х подаетс на вход элемента ИЛИ 18, на выходе которого по вл етс сигнал, если хот бы один элемент окна Х -Х принадлежит светлому участку фотошаблона . Группа сигналов подаетс на вход элемента ИЛИ 19 на выходе которого по вл етс сигнал, если хот бы один элемент окна Х -Х 4пРинаДле жит черному участку контролируемого фотошаблона. Одновременное наличие сигналов на выходах элементов ИЛИ 18 и 19 свидетельствует о наличии зоны перехода из белого в черное (из черного в белое).
Сигналы с выходов элементов ИЛИ 18 и 19 подаютс на входы элемента И-НЕ 20, с выхода которого сигнал поступает на первый вход элемента И 21. На второй вход элемента И 21 подаетс сигнал с выхода второго формировател 6 сигналов. Таким образом, на выходе элемента И 21 по вл етс сигнал, если ширина участка серого меньше допустимой величины и отсутствует переход из белого в черное (из черного в белое ) , т.е. в случае наличи на фотошаблоне узкой царапины (фиг.7 и 26).
Введение предлагаемых узлов и элементов позвол ет повысить точность устройства за счет возможности дополнительно обнаруживать дефекты фотошаблонов в виде узких царапин.
Claims (1)
- Формула изобретениУстройство дл селекции дефектов фотошаблонов по авт. св. № 1120376, отличающеес тем, что, с целью повышени точности устройства, оно содержит третий и четвертый формирователи сигналов, элемент И-НЕ, 5 четвертый элемент И, первый и второй элeмeнYы ИЛИ, причем входы третьего и четвертого формирователей сигналов подключены соответственно к выходам первого и второго компараторов, выходы третьего и четвертого формирователей сигналов подключены соответственно к входам первого и второго элементов ИЛИ, выходы которых подключены к входам элемента И-НЕ, выход которого подключен к входу четвертого эле ркости данного элемента окна. Распо-55 мента И, другой вход которого подклю ожение выходов элементовX 1-Х формирователей 16 и 17 сигналовсоответствует расположению выходовчен к выходу второго формировател сигналов, а выход вл етс выходом устройства.50Q 505элементов У -Х24формировател 5 сигналов (фиг.З). Группа сигналов Х, -Х подаетс на вход элемента ИЛИ 18, на выходе которого по вл етс сигнал, если хот бы один элемент окна Х -Х принадлежит светлому участку фотошаблона . Группа сигналов подаетс на вход элемента ИЛИ 19 на выходе которого по вл етс сигнал, если хот бы один элемент окна Х -Х 4пРинаДле жит черному участку контролируемого фотошаблона. Одновременное наличие сигналов на выходах элементов ИЛИ 18 и 19 свидетельствует о наличии зоны перехода из белого в черное (из черного в белое).Сигналы с выходов элементов ИЛИ 18 и 19 подаютс на входы элемента И-НЕ 20, с выхода которого сигнал поступает на первый вход элемента И 21. На второй вход элемента И 21 подаетс сигнал с выхода второго формировател 6 сигналов. Таким образом, на выходе элемента И 21 по вл етс сигнал, если ширина участка серого меньше допустимой величины и отсутствует переход из белого в черное (из черного в белое ) , т.е. в случае наличи на фотошаблоне узкой царапины (фиг.7 и 26).Введение предлагаемых узлов и элементов позвол ет повысить точность устройства за счет возможности дополнительно обнаруживать дефекты фотошаблонов в виде узких царапин.Формула изобретениУстройство дл селекции дефектов фотошаблонов по авт. св. № 1120376, отличающеес тем, что, с целью повышени точности устройства, оно содержит третий и четвертый формирователи сигналов, элемент И-НЕ, четвертый элемент И, первый и второй элeмeнYы ИЛИ, причем входы третьего и четвертого формирователей сигналов подключены соответственно к выходам первого и второго компараторов, выходы третьего и четвертого формирователей сигналов подключены соответственно к входам первого и второго элементов ИЛИ, выходы которых подключены к входам элемента И-НЕ, выход которого подключен к входу четвертого элемента И, другой вход которого подключен к выходу второго формировател сигналов, а выход вл етс выходом устройства.IfvФиг.ЗФиг. 4Фиг. 5PZ&
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU884409722A SU1541638A2 (ru) | 1988-01-26 | 1988-01-26 | Устройство дл селекции дефектов фотошаблонов |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU884409722A SU1541638A2 (ru) | 1988-01-26 | 1988-01-26 | Устройство дл селекции дефектов фотошаблонов |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1120376 Addition |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1541638A2 true SU1541638A2 (ru) | 1990-02-07 |
Family
ID=21368520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU884409722A SU1541638A2 (ru) | 1988-01-26 | 1988-01-26 | Устройство дл селекции дефектов фотошаблонов |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1541638A2 (ru) |
-
1988
- 1988-01-26 SU SU884409722A patent/SU1541638A2/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Авторское свидетельство СССР N 1120376, кл. с 06 К 9/36, 1983. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7986812B2 (en) | On-vehicle camera with two or more angles of view | |
| US4577218A (en) | Color separating circuit for producing red and black signals | |
| US4292672A (en) | Inspection system for detecting defects in regular patterns | |
| KR880006915A (ko) | 촬상장치의 조리개제어회로 | |
| GB2262339A (en) | Method of inspecting the surface of a workpiece | |
| KR890005512A (ko) | 공작물의 표면 균열을 검출 및 평가하기 위한 방법 및 장치 | |
| SU1541638A2 (ru) | Устройство дл селекции дефектов фотошаблонов | |
| EP0420908B1 (en) | A mark-detecting method and apparatus therefor | |
| GB2031240A (en) | Threshold setting circuit | |
| JPH09138200A (ja) | 帯状体の表面欠陥判定方法 | |
| US6734997B2 (en) | Method of detecting defects on a transparent film in a scanner | |
| CA1140251A (en) | Inspection system for detecting defects in regular patterns | |
| JPH08152403A (ja) | 光学歪の測定方法および形状の測定方法 | |
| JPH04245866A (ja) | 符号化装置 | |
| US5940191A (en) | Colored optical sensing module | |
| SU993208A1 (ru) | Регул тор с переменной структурой | |
| JPH05199414A (ja) | 画信号２値化装置 | |
| KR100229333B1 (ko) | 캠코더의 화이트 밸런스 조절방법 | |
| JPH0369230B2 (ru) | ||
| JPS61277003A (ja) | ウエハ−のストリ−ト検出装置 | |
| JPS58200141A (ja) | 基板検査方式 | |
| SU1529262A1 (ru) | Устройство дл обработки изображений объектов | |
| JP2803065B2 (ja) | 周期性パターンの検査装置 | |
| SU1631749A1 (ru) | Способ преобразовани многоградационного изображени в двухградационное | |
| JPS61217746A (ja) | 光学的表面検査装置 |