SU1536467A1 - Устройство дл гашени дуги в газоразр дном приборе - Google Patents
Устройство дл гашени дуги в газоразр дном приборе Download PDFInfo
- Publication number
- SU1536467A1 SU1536467A1 SU857774058A SU7774058A SU1536467A1 SU 1536467 A1 SU1536467 A1 SU 1536467A1 SU 857774058 A SU857774058 A SU 857774058A SU 7774058 A SU7774058 A SU 7774058A SU 1536467 A1 SU1536467 A1 SU 1536467A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- gas discharge
- discharge device
- outputs
- thyristor
- transformer
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32018—Glow discharge
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/02—Details
- H01J2237/0203—Protection arrangements
- H01J2237/0206—Extinguishing, preventing or controlling unwanted discharges
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Generation Of Surge Voltage And Current (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Pharmaceuticals Containing Other Organic And Inorganic Compounds (AREA)
- Circuit Arrangements For Discharge Lamps (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к электротехнике. Параллельно газоразр дному прибору включен датчик напр жени , оба выхода которого подключены ко входам автономного блока формировани управл ющих импульсов. Между промежуточным выводом первичной обмотки насыщающегос трасформатора и положительным выводом выпр мител включены последовательно соединенные дроссель и диод, анод которого подключен к промежуточному выводу указанной обмотки трансформатора. При этом достигаетс одинакова эффективность использовани газоразр дного прибора дл проведени технологического процесса при различных величинах разр дного тока. 1 ил.
Description
Изобретение касаетс устройства дл гашени дуги в газоразр дном приборе , используемом дл проведени технологического процесса при обработке поверхностей деталей в машиностроении
Известно устройство дл гашени дуги в газоразр дном приборе, которое состоит из выпр мител , параллельно которому через дроссель включены газоразр дный прибор и последовательна цепь, составленна из конденсатора и первичной обмотки насыщающегос трансформатора, к промежуточному выводу которой и положительному полюсу выпр мител подключен тиристор, катод которого соединен с промежуточным выводом . Вход блока формировани управл ющих импульсов соединен с вторичной обмоткой насыщающегос трансформатора , оба выхода которого соответственно соединены с двум выходами автономного блока формировани управл ющих импульсов и, соответственно, с управл ющим электродом и катодом тиристора (см. авт. св. НРБ У 22590, кл. С 23 С 15/00, 1977).
Недостаток этого устройства заключаетс в недостаточной эффективности его использовани вследствие того, что врем с момента отключени тиристора до момента возбуждени тлеющего разр да имеет переменную величину и зависит от величины разр дного тока, причем маленьким величинам разр дного тока соответствуют большие величины этого времени, и наоборот.
сд
со о
Ј 05 J
Цель изобретени - создание устройства дл гашени дуговых разр дов в газоразр дном сосуде дл проведени технологического процесса, обладающего одинаковой эффективностью при использовании его дл работы как с небольшими, также и с близкими к номинальной величинами тгка через газоразр дный прибор.
На чертеже представлена принципиальна схема устройства дл гашени дуги в газоразр дном приборе дл проведени технологического процесса„
Устройство дл гашени дуги в газоразр дном приборе состоит из выпр мител 1, параллельно которому через первый дроссель 2 включены газоразр дный прибор 3, датчик напр жени 4 и последовательна цепь, составленна из первичной обмотки насыщающегос трансформатора 5 и конденсатора 6. К промежуточному выводу первичной обмотки насыщающегос трансформатора 5 и положительному полюсу выпр мител 1 подключены параллельно тиристор 7 и последовательна цепь из диода 8 и второго дроссел 9, причем катод тиристора 7 и анод диода 8 подключены к промежуточному выводу. Вход блока формировани управл ющих импульсов 10 соединен с вторичной обмоткой насыщающегос трансформатора 5. Оба выхода датчика напр жени 4 соединены с двум входами автономного блока формировани управл ющих импульсов 11, оба выхода которого соединены соответственно с управл ющим электродом и катодом тиристора 7 и с двум выходами блока формировани управл ющих импульсов 10.
Действие устройства дл гашени дуги в газоразр дном приборе дл проведени технологического процесса следующее.
Под действием выпр мител 1 возбуждаетс электрический тлеющий разр д в газоразр дном приборе 3. Конденсатор 6 начинает зар жатьс , причем магнитопровод насыщающегос трансформатора 5 насыщаетс за врем зар дки конденсатора 6 до отрицательной величины индукции насыщени . Когда в газоразр дном приборе 3 электрический тлеющий разр д спонтанно начнет переходить в дуговой, напр жение между анодом и катодом газоразр дного прибора 3 начинает убывать, и на первичной обмотке насыщающегос транс10
5
0
5
0
5
0
5
0
5
форматора 5 получаетс напр жение, равное разности между напр жением конденсатора 6 и напр жением между анодом и катодом газоразр дного прибора 3Индуктированное во вторичную обмотку насыщающегос трансформатора 5 напр жение формируетс блоком управл ющих импульсов 10, и включаетс тиристор 7. За врем включенного состо ни тиристора 7 ток через него ограничиваетс первым дросселем 2. Напр жение конденсатора 6 через включенный тиристор 7 прикладываетс на соответствующую часть первичной обмотки насыщающегос трансформатора 5. Тогда на анод и катод газоразр дного прибора 3 прикладываетс обратное напр жение, определенное соотношением между обмотками двух частей первичной обмотки насыщающегос трансформатора 5. Это обратное напр жение вызывает на определенное врем смену направлени электрического пол в газоразр дном приборе 3, которое содействует процессу деионизации в пространстве анод - катод газоразр дного прибора 3.
Через тиристор 7 протекает разр дный ток конденсатора 6 и ток выпр мител 1 к катоду газоразр дного прибора 3 первичной обмотки насыщающегос трансформатора 5 и дроссель 2, причем магнитопровод насыщающегос трансформатора 5 перенамагничиваетс от отрицательной ве- личины индукции насыщени до ее положительной величины. Часть первичной обмотки, присоединенной к конденсатору 6 с индуктивностью при насыщенном состо нии магнитопровода, и конденсатор 6 образуют трепт щий круг, в котором конденсатор 6 перезар жаетс до напр жени , пол рность которого обратна исходной (означено на чертеже в скобках).
Под действием этого напр жени магнитопровод насыщающегос трансформатора 5 начинает перенамагничиватьс от положительной величины индукции насыщени до ее отрицательной величины . Часть первичной обмотки, присоединенной к конденсатору 6 с индуктивностью при насыщенном состо нии магнитопровода, и конденсатор 6 образуют повторно трепт щий круг, в котором конденсатор 6 начинает перезар жатьс . Ток перезар дки кондексатора 6 протекает через тиристор 7 в направлении, обратном его направлению проведени , и после того, как этот ток достигнет и превысит величину тока через тиристор 7, последний выключаетс .
В дальнейшем процесс перезар дки протекает с посто нной продолжительностью , не завис щей от величины разр дного тока через газоразр дный сосуд 3, и определ етс только параметрами трепт щего круга, состо щего из конденсатора 6, части первичной обмотки трансформатора 5, присоединенной к конденсатору 6 с индуктивностью при насыщенном состо нии маг- нитопровода, диода 8 и второго дроссел 9. После того, как закончитс повторный процесс перезар дки напр жение конденсатора 6 продолжает нарастать с пол рностью, одинаковой с исходной под действием тока, протекающего с выпр мител 1 через конденсатор 6, первичную обмотку трансформатора 5 и первый дроссель 2.
i
Процесс нарастани напр жени прекращаетс до возбуждени тлеющего разр да в газоразр дном приборе 3. При превышении предварительно заданной величины напр жени между анодом и катодом газоразр дного сосуда 3, измер емого датчиком 4, автономный узел дл формировани управл ющих импульсов 11 включает тиристор 7, после чего в устройстве протекают процессы, одинаковые с процессами, когда тлеющий разр д спонтанно переходит в дуговой, чем газоразр дный прибор защищаетс от напр жени , величина которого больше номинальной величины, на которую он рассчитан. При повторном спонтанном переходе тлеющего разр да в дуговой и повторном превышении предварительно заданной величины напр жени между анодом и катодом газоразр дного прибора 3 действие устройства повтор етс .
Преимущества предлагаемого устройства дл гашени дуги в газоразр дном приборе дл проведени технологического процесса заключаетс в повышен-- ной эффективности при его использовании вследствие того, что величина
64676
времени с момента выключени тиристора до момента возбуждени тлеющего разр да посто нна и не зависит от величины разр дного тока, и в наличии защитной способности от перенапр жений на газоразр дном приборе.
Признано изобретением по результатам экспертизы, осуществленной Ведомством по изобретательству Народной Республики Болгарии.
5
10
Claims (1)
- Формула изобретениУстройство дл гашени дуги в газоразр дном приборе, содержащее выпр митель , параллельно которо гу через первый дроссель включен газоразр дный прибор, параллельно которомувключена последовательна цепь, состо ща из конденсатора и первичной обмотки насыщающегос трансформатора, между промежуточным выводом которой и положительным полюсом выпр мителвключен тиристор, катод которого соединен с укзанным промежуточным выводом первичной обмотки насыщающегос , трансформатора, выводы вторичной обмотки которого соединены с входомблока формировани управл ющих импульсов , выполненного с двум выходами , один из которых соединен с одним из выходов другого автономного блока формировани управл ющих импульсов и с управл ющим электродом указанного тиристора, а другой - с другим из выходов автономного блока формировани управл ющих импульсов и с катодом указанного тиристора, отличающеес тем, что к выводам газоразр дного прибора подключены входы дополнительно введенного датчика напр жени , оба выхода которого соответственно соединены с двумвходами указанного автономного блока формировани управл ющих импульсов, а между промежуточным выводом первичной обмотки насыщающегос трансформатора и положительным выводомвыпр мител в-ключена дополнительно введенна последовательна цепь, состо ща из диода и второго дроссел , причем анод диода подключен к промежуточному выводу указанной обмотки трансформатора
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
BG8468215A BG41745A1 (en) | 1984-12-29 | 1984-12-29 | Device for discontinuing of arc dicharges in gas dicharge vessel |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1536467A1 true SU1536467A1 (ru) | 1990-01-15 |
Family
ID=3914865
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU857774058A SU1536467A1 (ru) | 1984-12-29 | 1985-12-20 | Устройство дл гашени дуги в газоразр дном приборе |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4792730A (ru) |
EP (1) | EP0186865B1 (ru) |
JP (1) | JPS61198595A (ru) |
BG (1) | BG41745A1 (ru) |
CS (1) | CS266493B1 (ru) |
DE (1) | DE3579902D1 (ru) |
HU (1) | HU199324B (ru) |
IN (1) | IN166604B (ru) |
SU (1) | SU1536467A1 (ru) |
YU (1) | YU198085A (ru) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2648001B1 (fr) * | 1989-05-31 | 1991-09-27 | Breda Jean Pierre | Alimentation en courant continu d'electrodes a plasma et procede pour regenerer un plasma |
DE4127504A1 (de) * | 1991-08-20 | 1993-02-25 | Leybold Ag | Einrichtung zur unterdrueckung von lichtboegen |
US5415757A (en) * | 1991-11-26 | 1995-05-16 | Leybold Aktiengesellschaft | Apparatus for coating a substrate with electrically nonconductive coatings |
DE4138794A1 (de) * | 1991-11-26 | 1993-05-27 | Leybold Ag | Verfahren und vorrichtung zum beschichten eines substrats, insbesondere mit elektrisch nichtleitenden schichten |
WO1994008067A1 (en) * | 1992-09-30 | 1994-04-14 | Advanced Energy Industries, Inc. | Topographically precise thin film coating system |
US5718813A (en) * | 1992-12-30 | 1998-02-17 | Advanced Energy Industries, Inc. | Enhanced reactive DC sputtering system |
US6217717B1 (en) | 1992-12-30 | 2001-04-17 | Advanced Energy Industries, Inc. | Periodically clearing thin film plasma processing system |
WO1996031899A1 (en) | 1995-04-07 | 1996-10-10 | Advanced Energy Industries, Inc. | Adjustable energy quantum thin film plasma processing system |
US5576939A (en) * | 1995-05-05 | 1996-11-19 | Drummond; Geoffrey N. | Enhanced thin film DC plasma power supply |
US5917286A (en) * | 1996-05-08 | 1999-06-29 | Advanced Energy Industries, Inc. | Pulsed direct current power supply configurations for generating plasmas |
JP3153482B2 (ja) * | 1996-11-19 | 2001-04-09 | 旭光学工業株式会社 | 一眼レフカメラのプレビュー装置 |
JP3153483B2 (ja) * | 1996-11-19 | 2001-04-09 | 旭光学工業株式会社 | プレビュー機能付き一眼レフカメラの制御方法 |
WO2001051240A1 (fr) * | 2000-01-11 | 2001-07-19 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Alimentation electrique pour traitement de surface de decharge et procede de traitement de surface de decharge |
US7305311B2 (en) * | 2005-04-22 | 2007-12-04 | Advanced Energy Industries, Inc. | Arc detection and handling in radio frequency power applications |
US8217299B2 (en) * | 2007-02-22 | 2012-07-10 | Advanced Energy Industries, Inc. | Arc recovery without over-voltage for plasma chamber power supplies using a shunt switch |
US8044594B2 (en) * | 2008-07-31 | 2011-10-25 | Advanced Energy Industries, Inc. | Power supply ignition system and method |
US8395078B2 (en) | 2008-12-05 | 2013-03-12 | Advanced Energy Industries, Inc | Arc recovery with over-voltage protection for plasma-chamber power supplies |
PL2648209T3 (pl) | 2009-02-17 | 2018-06-29 | Solvix Gmbh | Urządzenie zasilające do obróbki plazmowej |
DE102010031568B4 (de) | 2010-07-20 | 2014-12-11 | TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG | Arclöschanordnung und Verfahren zum Löschen von Arcs |
US8552665B2 (en) | 2010-08-20 | 2013-10-08 | Advanced Energy Industries, Inc. | Proactive arc management of a plasma load |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2297927A1 (fr) * | 1975-01-17 | 1976-08-13 | Anvar | Perfectionnements aux |
BG22590A1 (ru) * | 1975-10-10 | 1977-04-20 | ||
US4329627A (en) * | 1976-02-02 | 1982-05-11 | Esquire, Inc. | High frequency thyristor circuit for energizing a gaseous discharge lamp |
BG29362A1 (en) * | 1979-03-11 | 1980-11-14 | Minchev | Apparatus for chemical- thermal processing of matal articles in the condition of electrical smouldering charge |
-
1984
- 1984-12-29 BG BG8468215A patent/BG41745A1/xx unknown
-
1985
- 1985-12-10 IN IN996/MAS/85A patent/IN166604B/en unknown
- 1985-12-18 YU YU01980/85A patent/YU198085A/xx unknown
- 1985-12-19 DE DE8585116262T patent/DE3579902D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1985-12-19 EP EP85116262A patent/EP0186865B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1985-12-20 SU SU857774058A patent/SU1536467A1/ru active
- 1985-12-21 CS CS859731A patent/CS266493B1/cs unknown
- 1985-12-24 JP JP60289510A patent/JPS61198595A/ja active Pending
- 1985-12-28 HU HU855016A patent/HU199324B/hu not_active IP Right Cessation
- 1985-12-30 US US06/814,683 patent/US4792730A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3579902D1 (de) | 1990-10-31 |
JPS61198595A (ja) | 1986-09-02 |
EP0186865A2 (de) | 1986-07-09 |
IN166604B (ru) | 1990-06-09 |
CS266493B1 (en) | 1990-01-12 |
EP0186865A3 (en) | 1988-05-18 |
BG41745A1 (en) | 1987-08-14 |
HUT39276A (en) | 1986-08-28 |
HU199324B (en) | 1990-02-28 |
YU198085A (en) | 1988-10-31 |
US4792730A (en) | 1988-12-20 |
CS973185A1 (en) | 1988-11-15 |
EP0186865B1 (de) | 1990-09-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SU1536467A1 (ru) | Устройство дл гашени дуги в газоразр дном приборе | |
US4766281A (en) | Pulse generator spark-erosive metal working | |
US6104143A (en) | Exciter circuit with solid switch device separated from discharge path | |
US4061899A (en) | Arrangement for stabilization and ignition of welding arcs by ignition pulses | |
RU2103125C1 (ru) | Возбудитель сварочной дуги переменного тока | |
RU2097913C1 (ru) | Переключатель | |
RU2107988C1 (ru) | Высоковольтный переключатель | |
RU1812616C (ru) | Генератор унипол рных импульсов | |
US3564276A (en) | Apparatus for generating pulsating currents of high amperage | |
RU2138904C1 (ru) | Генератор импульсов на индуктивных накопителях энергии | |
SU1252874A1 (ru) | Устройство дл управлени импульсным преобразователем пото нного тока | |
SU1393557A1 (ru) | Устройство дл электроэрозионного легировани | |
SU1281352A1 (ru) | Источник питани преимущественно дл электроэрозионной и электроэрозионнохимической обработки металлов | |
SU930603A1 (ru) | Генератор пр моугольных импульсов | |
SU1613263A1 (ru) | Способ возбуждени электрической дуги и устройство дл его осуществлени | |
SU1077748A1 (ru) | Устройство дл электроискрового легировани | |
SU745460A1 (ru) | Устройство дл электролова рыбы | |
SU1241382A1 (ru) | Самовозбуждающий инвертор | |
SU1094136A1 (ru) | Генератор импульсов тока | |
SU994191A1 (ru) | Генератор импульсов | |
RU2074068C1 (ru) | Источник питания для электроискрового легирования металлов | |
SU499080A1 (ru) | Генератор импульсов дл электроэрозионной обработки | |
SU650176A1 (ru) | Преобразователь посто нного тока в посто нный | |
SU956212A1 (ru) | Формирователь импульсов дл питани электроэрозионных станков | |
RU2087070C1 (ru) | Переключающее устройство |