SU1536467A1 - Устройство дл гашени дуги в газоразр дном приборе - Google Patents

Устройство дл гашени дуги в газоразр дном приборе Download PDF

Info

Publication number
SU1536467A1
SU1536467A1 SU857774058A SU7774058A SU1536467A1 SU 1536467 A1 SU1536467 A1 SU 1536467A1 SU 857774058 A SU857774058 A SU 857774058A SU 7774058 A SU7774058 A SU 7774058A SU 1536467 A1 SU1536467 A1 SU 1536467A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
gas discharge
discharge device
outputs
thyristor
transformer
Prior art date
Application number
SU857774058A
Other languages
English (en)
Inventor
Минчо Савов Минчев
Светослав Александров Савов
Емил Илиев Кръстев
Original Assignee
Вмеи "Ленин" (Инопредприятие)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Вмеи "Ленин" (Инопредприятие) filed Critical Вмеи "Ленин" (Инопредприятие)
Application granted granted Critical
Publication of SU1536467A1 publication Critical patent/SU1536467A1/ru

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32018Glow discharge
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/02Details
    • H01J2237/0203Protection arrangements
    • H01J2237/0206Extinguishing, preventing or controlling unwanted discharges

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Generation Of Surge Voltage And Current (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Pharmaceuticals Containing Other Organic And Inorganic Compounds (AREA)
  • Circuit Arrangements For Discharge Lamps (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к электротехнике. Параллельно газоразр дному прибору включен датчик напр жени , оба выхода которого подключены ко входам автономного блока формировани  управл ющих импульсов. Между промежуточным выводом первичной обмотки насыщающегос  трасформатора и положительным выводом выпр мител  включены последовательно соединенные дроссель и диод, анод которого подключен к промежуточному выводу указанной обмотки трансформатора. При этом достигаетс  одинакова  эффективность использовани  газоразр дного прибора дл  проведени  технологического процесса при различных величинах разр дного тока. 1 ил.

Description

Изобретение касаетс  устройства дл  гашени  дуги в газоразр дном приборе , используемом дл  проведени  технологического процесса при обработке поверхностей деталей в машиностроении
Известно устройство дл  гашени  дуги в газоразр дном приборе, которое состоит из выпр мител , параллельно которому через дроссель включены газоразр дный прибор и последовательна  цепь, составленна  из конденсатора и первичной обмотки насыщающегос  трансформатора, к промежуточному выводу которой и положительному полюсу выпр мител  подключен тиристор, катод которого соединен с промежуточным выводом . Вход блока формировани  управл ющих импульсов соединен с вторичной обмоткой насыщающегос  трансформатора , оба выхода которого соответственно соединены с двум  выходами автономного блока формировани  управл ющих импульсов и, соответственно, с управл ющим электродом и катодом тиристора (см. авт. св. НРБ У 22590, кл. С 23 С 15/00, 1977).
Недостаток этого устройства заключаетс  в недостаточной эффективности его использовани  вследствие того, что врем  с момента отключени  тиристора до момента возбуждени  тлеющего разр да имеет переменную величину и зависит от величины разр дного тока, причем маленьким величинам разр дного тока соответствуют большие величины этого времени, и наоборот.
сд
со о
Ј 05 J
Цель изобретени  - создание устройства дл  гашени  дуговых разр дов в газоразр дном сосуде дл  проведени  технологического процесса, обладающего одинаковой эффективностью при использовании его дл  работы как с небольшими, также и с близкими к номинальной величинами тгка через газоразр дный прибор.
На чертеже представлена принципиальна  схема устройства дл  гашени  дуги в газоразр дном приборе дл  проведени  технологического процесса„
Устройство дл  гашени  дуги в газоразр дном приборе состоит из выпр мител  1, параллельно которому через первый дроссель 2 включены газоразр дный прибор 3, датчик напр жени  4 и последовательна  цепь, составленна  из первичной обмотки насыщающегос  трансформатора 5 и конденсатора 6. К промежуточному выводу первичной обмотки насыщающегос  трансформатора 5 и положительному полюсу выпр мител  1 подключены параллельно тиристор 7 и последовательна  цепь из диода 8 и второго дроссел  9, причем катод тиристора 7 и анод диода 8 подключены к промежуточному выводу. Вход блока формировани  управл ющих импульсов 10 соединен с вторичной обмоткой насыщающегос  трансформатора 5. Оба выхода датчика напр жени  4 соединены с двум  входами автономного блока формировани  управл ющих импульсов 11, оба выхода которого соединены соответственно с управл ющим электродом и катодом тиристора 7 и с двум  выходами блока формировани  управл ющих импульсов 10.
Действие устройства дл  гашени  дуги в газоразр дном приборе дл  проведени  технологического процесса следующее.
Под действием выпр мител  1 возбуждаетс  электрический тлеющий разр д в газоразр дном приборе 3. Конденсатор 6 начинает зар жатьс , причем магнитопровод насыщающегос  трансформатора 5 насыщаетс  за врем  зар дки конденсатора 6 до отрицательной величины индукции насыщени . Когда в газоразр дном приборе 3 электрический тлеющий разр д спонтанно начнет переходить в дуговой, напр жение между анодом и катодом газоразр дного прибора 3 начинает убывать, и на первичной обмотке насыщающегос  транс10
5
0
5
0
5
0
5
0
5
форматора 5 получаетс  напр жение, равное разности между напр жением конденсатора 6 и напр жением между анодом и катодом газоразр дного прибора 3Индуктированное во вторичную обмотку насыщающегос  трансформатора 5 напр жение формируетс  блоком управл ющих импульсов 10, и включаетс  тиристор 7. За врем  включенного состо ни  тиристора 7 ток через него ограничиваетс  первым дросселем 2. Напр жение конденсатора 6 через включенный тиристор 7 прикладываетс  на соответствующую часть первичной обмотки насыщающегос  трансформатора 5. Тогда на анод и катод газоразр дного прибора 3 прикладываетс  обратное напр жение, определенное соотношением между обмотками двух частей первичной обмотки насыщающегос  трансформатора 5. Это обратное напр жение вызывает на определенное врем  смену направлени  электрического пол  в газоразр дном приборе 3, которое содействует процессу деионизации в пространстве анод - катод газоразр дного прибора 3.
Через тиристор 7 протекает разр дный ток конденсатора 6 и ток выпр мител  1 к катоду газоразр дного прибора 3 первичной обмотки насыщающегос  трансформатора 5 и дроссель 2, причем магнитопровод насыщающегос  трансформатора 5 перенамагничиваетс  от отрицательной ве- личины индукции насыщени  до ее положительной величины. Часть первичной обмотки, присоединенной к конденсатору 6 с индуктивностью при насыщенном состо нии магнитопровода, и конденсатор 6 образуют трепт щий круг, в котором конденсатор 6 перезар жаетс  до напр жени , пол рность которого обратна исходной (означено на чертеже в скобках).
Под действием этого напр жени  магнитопровод насыщающегос  трансформатора 5 начинает перенамагничиватьс  от положительной величины индукции насыщени  до ее отрицательной величины . Часть первичной обмотки, присоединенной к конденсатору 6 с индуктивностью при насыщенном состо нии магнитопровода, и конденсатор 6 образуют повторно трепт щий круг, в котором конденсатор 6 начинает перезар жатьс . Ток перезар дки кондексатора 6 протекает через тиристор 7 в направлении, обратном его направлению проведени , и после того, как этот ток достигнет и превысит величину тока через тиристор 7, последний выключаетс .
В дальнейшем процесс перезар дки протекает с посто нной продолжительностью , не завис щей от величины разр дного тока через газоразр дный сосуд 3, и определ етс  только параметрами трепт щего круга, состо щего из конденсатора 6, части первичной обмотки трансформатора 5, присоединенной к конденсатору 6 с индуктивностью при насыщенном состо нии маг- нитопровода, диода 8 и второго дроссел  9. После того, как закончитс  повторный процесс перезар дки напр жение конденсатора 6 продолжает нарастать с пол рностью, одинаковой с исходной под действием тока, протекающего с выпр мител  1 через конденсатор 6, первичную обмотку трансформатора 5 и первый дроссель 2.
i
Процесс нарастани  напр жени  прекращаетс  до возбуждени  тлеющего разр да в газоразр дном приборе 3. При превышении предварительно заданной величины напр жени  между анодом и катодом газоразр дного сосуда 3, измер емого датчиком 4, автономный узел дл  формировани  управл ющих импульсов 11 включает тиристор 7, после чего в устройстве протекают процессы, одинаковые с процессами, когда тлеющий разр д спонтанно переходит в дуговой, чем газоразр дный прибор защищаетс  от напр жени , величина которого больше номинальной величины, на которую он рассчитан. При повторном спонтанном переходе тлеющего разр да в дуговой и повторном превышении предварительно заданной величины напр жени  между анодом и катодом газоразр дного прибора 3 действие устройства повтор етс .
Преимущества предлагаемого устройства дл  гашени  дуги в газоразр дном приборе дл  проведени  технологического процесса заключаетс  в повышен-- ной эффективности при его использовании вследствие того, что величина
64676
времени с момента выключени  тиристора до момента возбуждени  тлеющего разр да посто нна  и не зависит от величины разр дного тока, и в наличии защитной способности от перенапр жений на газоразр дном приборе.
Признано изобретением по результатам экспертизы, осуществленной Ведомством по изобретательству Народной Республики Болгарии.
5
10

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Устройство дл  гашени  дуги в газоразр дном приборе, содержащее выпр митель , параллельно которо гу через первый дроссель включен газоразр дный прибор, параллельно которому
    включена последовательна  цепь, состо ща  из конденсатора и первичной обмотки насыщающегос  трансформатора, между промежуточным выводом которой и положительным полюсом выпр мител 
    включен тиристор, катод которого соединен с укзанным промежуточным выводом первичной обмотки насыщающегос  , трансформатора, выводы вторичной обмотки которого соединены с входом
    блока формировани  управл ющих импульсов , выполненного с двум  выходами , один из которых соединен с одним из выходов другого автономного блока формировани  управл ющих импульсов и с управл ющим электродом указанного тиристора, а другой - с другим из выходов автономного блока формировани  управл ющих импульсов и с катодом указанного тиристора, отличающеес  тем, что к выводам газоразр дного прибора подключены входы дополнительно введенного датчика напр жени , оба выхода которого соответственно соединены с двум 
    входами указанного автономного блока формировани  управл ющих импульсов, а между промежуточным выводом первичной обмотки насыщающегос  трансформатора и положительным выводом
    выпр мител  в-ключена дополнительно введенна  последовательна  цепь, состо ща  из диода и второго дроссел , причем анод диода подключен к промежуточному выводу указанной обмотки трансформатора
SU857774058A 1984-12-29 1985-12-20 Устройство дл гашени дуги в газоразр дном приборе SU1536467A1 (ru)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
BG8468215A BG41745A1 (en) 1984-12-29 1984-12-29 Device for discontinuing of arc dicharges in gas dicharge vessel

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1536467A1 true SU1536467A1 (ru) 1990-01-15

Family

ID=3914865

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU857774058A SU1536467A1 (ru) 1984-12-29 1985-12-20 Устройство дл гашени дуги в газоразр дном приборе

Country Status (10)

Country Link
US (1) US4792730A (ru)
EP (1) EP0186865B1 (ru)
JP (1) JPS61198595A (ru)
BG (1) BG41745A1 (ru)
CS (1) CS266493B1 (ru)
DE (1) DE3579902D1 (ru)
HU (1) HU199324B (ru)
IN (1) IN166604B (ru)
SU (1) SU1536467A1 (ru)
YU (1) YU198085A (ru)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2648001B1 (fr) * 1989-05-31 1991-09-27 Breda Jean Pierre Alimentation en courant continu d'electrodes a plasma et procede pour regenerer un plasma
DE4127504A1 (de) * 1991-08-20 1993-02-25 Leybold Ag Einrichtung zur unterdrueckung von lichtboegen
US5415757A (en) * 1991-11-26 1995-05-16 Leybold Aktiengesellschaft Apparatus for coating a substrate with electrically nonconductive coatings
DE4138794A1 (de) * 1991-11-26 1993-05-27 Leybold Ag Verfahren und vorrichtung zum beschichten eines substrats, insbesondere mit elektrisch nichtleitenden schichten
WO1994008067A1 (en) * 1992-09-30 1994-04-14 Advanced Energy Industries, Inc. Topographically precise thin film coating system
US5718813A (en) * 1992-12-30 1998-02-17 Advanced Energy Industries, Inc. Enhanced reactive DC sputtering system
US6217717B1 (en) 1992-12-30 2001-04-17 Advanced Energy Industries, Inc. Periodically clearing thin film plasma processing system
WO1996031899A1 (en) 1995-04-07 1996-10-10 Advanced Energy Industries, Inc. Adjustable energy quantum thin film plasma processing system
US5576939A (en) * 1995-05-05 1996-11-19 Drummond; Geoffrey N. Enhanced thin film DC plasma power supply
US5917286A (en) * 1996-05-08 1999-06-29 Advanced Energy Industries, Inc. Pulsed direct current power supply configurations for generating plasmas
JP3153482B2 (ja) * 1996-11-19 2001-04-09 旭光学工業株式会社 一眼レフカメラのプレビュー装置
JP3153483B2 (ja) * 1996-11-19 2001-04-09 旭光学工業株式会社 プレビュー機能付き一眼レフカメラの制御方法
WO2001051240A1 (fr) * 2000-01-11 2001-07-19 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Alimentation electrique pour traitement de surface de decharge et procede de traitement de surface de decharge
US7305311B2 (en) * 2005-04-22 2007-12-04 Advanced Energy Industries, Inc. Arc detection and handling in radio frequency power applications
US8217299B2 (en) * 2007-02-22 2012-07-10 Advanced Energy Industries, Inc. Arc recovery without over-voltage for plasma chamber power supplies using a shunt switch
US8044594B2 (en) * 2008-07-31 2011-10-25 Advanced Energy Industries, Inc. Power supply ignition system and method
US8395078B2 (en) 2008-12-05 2013-03-12 Advanced Energy Industries, Inc Arc recovery with over-voltage protection for plasma-chamber power supplies
PL2648209T3 (pl) 2009-02-17 2018-06-29 Solvix Gmbh Urządzenie zasilające do obróbki plazmowej
DE102010031568B4 (de) 2010-07-20 2014-12-11 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Arclöschanordnung und Verfahren zum Löschen von Arcs
US8552665B2 (en) 2010-08-20 2013-10-08 Advanced Energy Industries, Inc. Proactive arc management of a plasma load

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2297927A1 (fr) * 1975-01-17 1976-08-13 Anvar Perfectionnements aux
BG22590A1 (ru) * 1975-10-10 1977-04-20
US4329627A (en) * 1976-02-02 1982-05-11 Esquire, Inc. High frequency thyristor circuit for energizing a gaseous discharge lamp
BG29362A1 (en) * 1979-03-11 1980-11-14 Minchev Apparatus for chemical- thermal processing of matal articles in the condition of electrical smouldering charge

Also Published As

Publication number Publication date
DE3579902D1 (de) 1990-10-31
JPS61198595A (ja) 1986-09-02
EP0186865A2 (de) 1986-07-09
IN166604B (ru) 1990-06-09
CS266493B1 (en) 1990-01-12
EP0186865A3 (en) 1988-05-18
BG41745A1 (en) 1987-08-14
HUT39276A (en) 1986-08-28
HU199324B (en) 1990-02-28
YU198085A (en) 1988-10-31
US4792730A (en) 1988-12-20
CS973185A1 (en) 1988-11-15
EP0186865B1 (de) 1990-09-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SU1536467A1 (ru) Устройство дл гашени дуги в газоразр дном приборе
US4766281A (en) Pulse generator spark-erosive metal working
US6104143A (en) Exciter circuit with solid switch device separated from discharge path
US4061899A (en) Arrangement for stabilization and ignition of welding arcs by ignition pulses
RU2103125C1 (ru) Возбудитель сварочной дуги переменного тока
RU2097913C1 (ru) Переключатель
RU2107988C1 (ru) Высоковольтный переключатель
RU1812616C (ru) Генератор унипол рных импульсов
US3564276A (en) Apparatus for generating pulsating currents of high amperage
RU2138904C1 (ru) Генератор импульсов на индуктивных накопителях энергии
SU1252874A1 (ru) Устройство дл управлени импульсным преобразователем пото нного тока
SU1393557A1 (ru) Устройство дл электроэрозионного легировани
SU1281352A1 (ru) Источник питани преимущественно дл электроэрозионной и электроэрозионнохимической обработки металлов
SU930603A1 (ru) Генератор пр моугольных импульсов
SU1613263A1 (ru) Способ возбуждени электрической дуги и устройство дл его осуществлени
SU1077748A1 (ru) Устройство дл электроискрового легировани
SU745460A1 (ru) Устройство дл электролова рыбы
SU1241382A1 (ru) Самовозбуждающий инвертор
SU1094136A1 (ru) Генератор импульсов тока
SU994191A1 (ru) Генератор импульсов
RU2074068C1 (ru) Источник питания для электроискрового легирования металлов
SU499080A1 (ru) Генератор импульсов дл электроэрозионной обработки
SU650176A1 (ru) Преобразователь посто нного тока в посто нный
SU956212A1 (ru) Формирователь импульсов дл питани электроэрозионных станков
RU2087070C1 (ru) Переключающее устройство