SU1487973A1 - Способ автоматического регулирования реактором эпитаксиального наращивания - Google Patents
Способ автоматического регулирования реактором эпитаксиального наращивания Download PDFInfo
- Publication number
- SU1487973A1 SU1487973A1 SU874258390A SU4258390A SU1487973A1 SU 1487973 A1 SU1487973 A1 SU 1487973A1 SU 874258390 A SU874258390 A SU 874258390A SU 4258390 A SU4258390 A SU 4258390A SU 1487973 A1 SU1487973 A1 SU 1487973A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- reactor
- pressure
- epitaxial
- automatic controlling
- epitaxial overgrowth
- Prior art date
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
Изобретение относится к технологии электроники, может быть использовано при получении эпитаксиальных структур А3ВГ из газовой фазы и позволяет получить наращиваемые структуры, однородные по толщине и составу. Способ автоматического регулирования реактором эпитаксиального наращивания заключается в регулировании давления в реакторе путем обратно пропорционального воздействия на расход дополнительного потока газа, вводимого в реактор. 1 ил.
Изобретение относится к технологии электроники и может быть использовано при получении эпитаксиальных структур А’В5 из газовой фазы.
Цель изобретения — получение наращиваемых структур, однородных по толщине и составу.
На чертеже представлена блок-схема устройства для реализации способа автоматического регулирования реактором эпитаксиального наращивания.
Блок-схема содержит регуляторы 1 расходов газов, клапаны 2 и 3, реактор 4, натекатель 5, блок 6 управления, датчик 7 давления, дроссель 8, вакуумный насос 9 и исполнительные механизмы 10 и 11.
Устройство работает следующим образом.
С помощью регулятора 1 расходов газов устанавливают необходимые расходы исходных реагентов. Включают нагреватель, вакуумный насос 9 и в реакторе 4 с помощью дросселя 8 осуществляют предварительную установку давления перед процессом. Датчик 7 давления, установленный в реакторе, вырабатывает электрический сигнал, соответствующий величине давления,
Электрический сигнал поступает в блок 6 управления, который задает необходимую величину проходного сечения дросселя 8. Так создают предварительное разряжение в реакторе. Переключают исходные реагенты в реактор с помощью клапана 3, а клапан 2 закрывают. Поддержание заданного давления осуществляют с помощью дополнительного потока газа, подаваемого в реактор 4 через натекатель 5. При отклонении давления в реакторе 4 от заданного датчик 7 давления, расположенный непосредственно в реакторе, выдает токовый сигнал, пропорциональный давлению. Сигнал поступает на блок 6 управления, сравнивается с заданным сигналом, преобразуется в аналоговый и подается на исполнительный механизм 10 натекателя 5, который в зависимости от величины сигнала устанавливает определенный расход потока газа, например водорода, в реактор эпитаксиального наращивания.
Таким образом, в реакторе поддерживают заданное рабочее давление. Расход
реагентов, подаваемых в реактор, не изменяется, а меняется величина дополнитель5Ц 1487973
3
ного потока газа. Поток исходных реагентов в единицу времени и их плотность в объеме реактора сохраняются.
Claims (1)
- Формула изобретенияСпособ автоматического регулирования реактором эпитаксиального наращивания14879734заключающийся в регулировании давления в реакторе, отличающийся тем, что, с целью получения наращиваемых структур, однородных по толщине и составу, подают в реактор дополнительный поток газа и изменяют5 его расход обратно пропорционально давлению газа в реакторе.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU874258390A SU1487973A1 (ru) | 1987-06-08 | 1987-06-08 | Способ автоматического регулирования реактором эпитаксиального наращивания |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU874258390A SU1487973A1 (ru) | 1987-06-08 | 1987-06-08 | Способ автоматического регулирования реактором эпитаксиального наращивания |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1487973A1 true SU1487973A1 (ru) | 1989-06-23 |
Family
ID=21309461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU874258390A SU1487973A1 (ru) | 1987-06-08 | 1987-06-08 | Способ автоматического регулирования реактором эпитаксиального наращивания |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1487973A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5141595A (en) * | 1990-03-05 | 1992-08-25 | Northrop Corporation | Method and apparatus for carbon coating and boron-doped carbon coating |
-
1987
- 1987-06-08 SU SU874258390A patent/SU1487973A1/ru active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5141595A (en) * | 1990-03-05 | 1992-08-25 | Northrop Corporation | Method and apparatus for carbon coating and boron-doped carbon coating |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS57116139A (en) | Emergency operating device for electrically controlled injection pump | |
| PL314892A1 (en) | Flow control valve | |
| SU1487973A1 (ru) | Способ автоматического регулирования реактором эпитаксиального наращивания | |
| CA1042743A (en) | Fuel regulator for an internal combustion engine | |
| JPS57166416A (en) | Automatic air-fuel ratio controller of combustion equipment using preheated air | |
| SE8402296L (ru) | ||
| JP2002219481A (ja) | 曝気槽の溶存酸素濃度の制御装置 | |
| JPS57104664A (en) | Gasification method for liquid source | |
| SU1198094A1 (ru) | Устройство дл автоматического управлени процессом приготовлени битума | |
| JPS6477855A (en) | Liquid chromatograph mass analyzer | |
| JPS6452386A (en) | Fuel cell power generating system | |
| SU1275380A1 (ru) | Регул тор расхода газа | |
| SU1256758A1 (ru) | Устройство дл автоматического регулировани процесса выпаривани в выпарном аппарате с естественной циркул цией | |
| SU687256A1 (ru) | Устройство дл регулировани режима работы насоса | |
| SU1449970A2 (ru) | Пневматический регул тор расхода газа | |
| JPS6321318Y2 (ru) | ||
| SU1177309A1 (ru) | Способ регулировани процесса получени маслонаполненного синтетического каучука | |
| SU1622752A1 (ru) | Система автоматического управлени нагревом металла | |
| SU1615393A1 (ru) | Способ подготовки к утилизации шахтного газа при дегазации | |
| SU951246A1 (ru) | Устройство дл регулировани расхода газа | |
| JPS5778902A (en) | Controlling method for distiling column | |
| SU1036360A1 (ru) | Способ автоматического регулировани реактора непрерывного действи | |
| SU541151A1 (ru) | Регул тор расхода жидкостей и газов | |
| JPS57204118A (en) | Forming device for amorphous thin-film | |
| JPS5737198A (en) | Carburettor output pressure controller |