SU146918A1

SU146918A1 - A method of making crucibles of refractory fluoride

Info

Publication number: SU146918A1
Application number: SU743394A
Authority: SU
Inventors: В.В. Леонов; Е.Б. Соколов
Original assignee: В.В. Леонов; Е.Б. Соколов
Priority date: 1961-08-18
Filing date: 1961-08-18
Publication date: 1961-11-30

Description

Известен способ формовки изделий из шламов, основанный на принцине вращени формуемого из сырых материалов издели н последующей его сущки и обжига.A known method of forming articles from sludge is based on the principle of rotation of an article molded from raw materials of an article and its subsequent substance and calcination.

Предлагаемый способ отличаетс тем, что формовку тиглей из солевого расплава фторидов ведут во вращающихс графитовых формах в температурном поле с последующей кристаллизацией в тех же формах без нагрева. Это позвол ет сократить врем на получение стержней и снизить их стоимость.The proposed method is characterized in that the formation of crucibles from molten fluoride melt is carried out in rotating graphite molds in a temperature field, followed by crystallization in the same molds without heating. This makes it possible to reduce the time for obtaining the rods and reduce their cost.

Предлагаемым способом можно получить тигли дл нужд полупроводниковой металлургии из тугоплавких фторидов, имеющих температуру плавлени до 1400, не разлагающихс металлами, не измен ющих составов сплавов на базе щелочноземельных металлов за счет обменных реакций, а также обладающих низкими упругост ми насыщенrioro пара при высоких температурах.The proposed method can produce crucibles for the needs of semiconductor metallurgy from refractory fluorides having a melting point of up to 1400, non-decomposing metals, not altering the compositions of alkaline earth metal alloys due to exchange reactions, and also having low elasticity of vapor saturated at high temperatures.

Процесс формовани производ т следующим образом. Один из фторидов или их смесь в виде порощка засыпают в графитовую форму, котора устанавливаетс на хорощо центрированном штоке, изготовленном из тугоплавкого материала, в центре спирального графитового нагревател . Процесс ведут в атмосфере инертного газа. После расплавлени порощка фторида его температуру поднимают несколько выще температуры плавлени и графитовую форму привод т во вращение с угловой скоростью 60-50С об1мин. После того, как жидкий расилав образует параболоид вращепи , нагрев прекращают. Во вращающейс форме расплав застывает, и далее готовый фторидный тигель вынимают из графитовой формы.The molding process is performed as follows. One of the fluorides or their mixture in the form of a powder is poured into a graphite form, which is installed on a well-centered stem, made of a refractory material, in the center of a spiral graphite heater. The process is conducted in an inert gas atmosphere. After melting the powder fluoride, its temperature is raised somewhat higher than the melting point and the graphite form is rotated at an angular velocity of 60-50 ° C for 1 min. After the liquid rasilav forms a paraboloid of rotation, the heating is stopped. In the rotating form, the melt solidifies, and then the finished fluoride crucible is removed from the graphite form.

№ 146918- 2 -No. 146918-2 -

Предмет изобретени Subject invention

Способ изготовлени тиглей из тугоплавких фторидов с применением центрифугировани , отличающийс тем, что, с целью сокращени времени изготовлени тиглей и снижени их стоимости, формовку тиглей из солевого расплава фторидов производ т во вращающихс графитовых формах в температурном поле с последующей кристаллизацией в тех же формах без нагрева.A method of making crucibles from refractory fluorides using centrifugation, characterized in that, in order to reduce the time of making crucibles and reduce their cost, the crucibles are molten from a fluoride salt melt in rotating graphite forms in a temperature field with subsequent crystallization in the same forms without heating .