SU1466654A3 - Способ окислительного нанесени покрыти на издели - Google Patents

Способ окислительного нанесени покрыти на издели Download PDF

Info

Publication number
SU1466654A3
SU1466654A3 SU833675008A SU3675008A SU1466654A3 SU 1466654 A3 SU1466654 A3 SU 1466654A3 SU 833675008 A SU833675008 A SU 833675008A SU 3675008 A SU3675008 A SU 3675008A SU 1466654 A3 SU1466654 A3 SU 1466654A3
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
coating
reaction
oxidation potential
product
gas phase
Prior art date
Application number
SU833675008A
Other languages
English (en)
Inventor
Штеммлер Бруно
Цайлингер Ханс
Original Assignee
М.А.Н.Машиненфабрик Аугсбург-Нюрнберг,Аг (Фирма)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE19833338852 external-priority patent/DE3338852A1/de
Application filed by М.А.Н.Машиненфабрик Аугсбург-Нюрнберг,Аг (Фирма) filed Critical М.А.Н.Машиненфабрик Аугсбург-Нюрнберг,Аг (Фирма)
Application granted granted Critical
Publication of SU1466654A3 publication Critical patent/SU1466654A3/ru

Links

Landscapes

  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к химико- термической обработке металлических изделий, а именно к нанесению покрыти , содержащего окислы металлов, таких как хром, алюминий, титан и/илн кремний. Цель - повышение качества покрыти  за счет образовани  покрыти  из одного или нескольких слоев в услови х, близких к равновесным, с газовой фазой дл  образовани  же- лаемого окисла. Нанесение покрыти  осуществл ют в газовой атмосфере, окислительный потенциал которой измен етс  по определенной программе, В первой фазе окислительный потенциал непрерывно повышают до образовани  . зародышей окислов на поверхности издели , после чего снижают во второй фазе постепенно. Управление окислительнь м потенциалом осуществл ют изменением либо температуры процесса, либо количества возвратных продуктов реакции, 3 ил.

Description

1
Изобретение относитс  к химико- , термической обработке металлических изделий, а именно к нанесению покрыти , содержап1его окислы металлов, таких как хром, алюминий, титан и/или кремний.
Цель изобретени  - повышение качества покрыти  за счет образовани  покрыти  в услови х, близких к равновесным , дл  образовани  желаемого окисла, что обеспечивает получение репродуцированного.сло  или даже нескольких слоев из различных окислов , причем на заготовке из хромсо- держащего сплава получают слои .
На фиг.1 и 2 представлена-установка дл  реализации способа; на фиг.З - график изменени  окислитель- .ного потенциала в процессе химико- термической обработки дл  образова- ки  покрыти  из сло  одного окисла.
Обрабатываемое изделие 1 помещают в реакционную печь 2, заполн емую инертным газом или водородом. Атмосфера и изделие нагреваютс  до теютературы образовани  покрыти  из окислов металлов, вход щих в состав издели  1. После нагрева издели  1 до температуры Т, в печь 2 ввод .т
4
Ы
через впускной трубопровод 3 вод но пар или смесь вод ного пара с водородом в газоносителе, например в аргоне . На поверхности издели  1 происходит образование окислов, например согласно еледукщей реакции: 2Сг + ЗН ОзьСГгРэ + ЗН.
На поверхности 4 издели  образуетс  слой 5 из ,
Окислительный потенциал Р, , соответствующий границе активации (фиг. может быть достигнут за счет повышени  температуры. В начальной фазе (фиг.З) на образование зародышей окислов вли ют таким образом, чтобы они были однородными и произошло образование упор доченного первичного сло , прочно сцепл ющегос  с из- делием4
Во второй фазе (фиг.З) постепенн снижают потенциал Т дл  нарастани  основной структуры первичного сло .
Штрихова  лини  относитс  к известному способу.
в выпускной трубопровод 6 поступают непрореагировавший вод ной пар и выдел ющийс  как продукт реакции водород в количестве, стехиометри- чески эквивалентном количеству кислорода , св занному на поверхности 4 издели  }.
Возвратные продукты через трубопроводы 7 и 8 поступают в реакционную печь 2 и затормаживают протекание реакции. Вод ной .пар поступает через трубопровод 3, а через клапан 9 выпускаетс  в эквивалентное количество парогазовой смеси.
Клапан 9 служит дл  управлени  расходом возвратных продуктов в зависимости от их окислительного потенциала .
Возможно использование способа без применени  реакционной печи. Реакционна  атмосфера может быть, создана в обрабатываемом изделии, например, при нанесении покрыти  на внутреннюю поверхность труб. В этом случае изделие нагреваетс  гор чим инертш 1м газом.
Если требуетс  предварительно нанести слой вещества, например хрома , на поверхность издели  в том случае, когда изделие не содержит его или нежелательно,обеднение хрома под окисным слоем, то это возможно в той же установке (фиг.)). Дп  этого в печь 2 ввод т термически
разлагаемое соединение хрома вместе
С газом-носителем, после чего осуществл ют нанесение покрыти  согласно предложенному способу.
Таким образом, возможно как зональное легирование, так и нанесение покрыти  из других элементов, как например А1, Si, Ti и В.
Дл  возврата только части продуктов реакции в систему предусматриваетс  установка сепаратора 10 дл  разделени  веществ (фиг.2). Дл  организации циркул ции устанавливают компрессор 11 с охладителем 12 и смесителем 13, В этом варианте используетс  предварительный подогрев атмосферы в нагревателе 14, свежие продукты поступают по трубопроводам 3, а возвратные по трубопроводу 15.
Способ позвол ет получать качественные репродуцированные слои.

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Способ окислительного нанесени 
    покрыти  на издели , содержащего хром, алюминий, титан и/или кремний путем гетерогенной химической реакции газовой фазы,.включающий удаление газовой смеси, содержап1ей вод ной пар и водород, из реакционной камеры, которую по меньшей мере частично направл ют обратно в реакцион- ную камеру, а в возвратный циркул ционный контур ввод т свежий вод ной
    пар, о тличающийс  тем, что, с целью повышени  качества покрыти , окислительный потенци ал газовой фазы непрерывно повышают до момента начала образовани  центров
    реакции на поверхности издели  путем повышени  температуры реакции или увеличени  потока свежего вод ного пара, после чего потенциал посте-, пенно снижают до значени  равновеси  путем . увеличени  потока, направл емого обратно в реакционную камеру, или снижени  температуры реакции, а равновесное значение поддерживают изменением части возвратных продуктов в зависимости от их окислитель
    ного потенциала.
    3. 9
    Ц.S
    ./
    7 (pus.i
    /4
    8
    /5
    /3
    зТР
    (риг.2
    to
    Н
    г/
    X
    /
    /
SU833675008A 1983-10-26 1983-12-09 Способ окислительного нанесени покрыти на издели SU1466654A3 (ru)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19833338852 DE3338852A1 (de) 1982-12-11 1983-10-26 Verfahren und vorrichtung zur beschichtung von werkstuecken mittels chemischer, heterogener gasphasenreaktion

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1466654A3 true SU1466654A3 (ru) 1989-03-15

Family

ID=6212779

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU833675008A SU1466654A3 (ru) 1983-10-26 1983-12-09 Способ окислительного нанесени покрыти на издели

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1466654A3 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Патент GB № 2033560А, кл. F 4 В, 1980. Патент ГЛИА № 3684585, кл. С 23 С 11/08, 1970. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4623400A (en) Hard surface coatings for metals in fluidized beds
US4619866A (en) Method of making a coated cemented carbide body and resulting body
US5455071A (en) Method for coating a structural component by gas diffusion
US4699082A (en) Apparatus for chemical vapor deposition
US6416577B1 (en) Method for coating inner surfaces of equipment
US5738908A (en) Method of densifying porous substrates by chemical vapor infiltration of silicon carbide
US4687684A (en) Process for diffusion coating metals
US3721577A (en) Process for the deposition of refractory metal and metalloid carbides on a base material
US2689807A (en) Method of coating refractory metal articles
WO2001066834A3 (en) Chemical vapor deposition process for fabricating layered superlattice materials
US4525389A (en) Method for conveying and treating a gas employed for the coating of workpieces by means of a chemical, heterogeneous vapor-phase reaction
US2972555A (en) Gas plating of alumina
US5750195A (en) Deposition of diamond on oxidizable material
SU1466654A3 (ru) Способ окислительного нанесени покрыти на издели
JPS6317117B2 (ru)
JP3729578B2 (ja) 半導体製造方法
JPS61117824A (ja) 気相反応容器
JPH0515787B2 (ru)
JPH0412525A (ja) 有機金属化学気相成長装置
EP0084525A2 (en) Method of making a coated cemented carbide body and resulting body
KR100312838B1 (ko) 개선된 알루미나이징 처리 방법 및 그 장치
Wahi CVD Processes
IT1266502B1 (it) Procedimento per la deposizione di uno strato di polisilicio su dischi di silicio.
Kolmakov et al. Redistribution of Chemical Elements in Substrate--Coating System During Formation of Titanium Nitride and Ti (N, C) Coatings on R 6 M 5 Steel by Combined Ion-Plasma Method
JPS639742B2 (ru)