SU1466654A3 - Способ окислительного нанесени покрыти на издели - Google Patents
Способ окислительного нанесени покрыти на издели Download PDFInfo
- Publication number
- SU1466654A3 SU1466654A3 SU833675008A SU3675008A SU1466654A3 SU 1466654 A3 SU1466654 A3 SU 1466654A3 SU 833675008 A SU833675008 A SU 833675008A SU 3675008 A SU3675008 A SU 3675008A SU 1466654 A3 SU1466654 A3 SU 1466654A3
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- coating
- reaction
- oxidation potential
- product
- gas phase
- Prior art date
Links
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к химико- термической обработке металлических изделий, а именно к нанесению покрыти , содержащего окислы металлов, таких как хром, алюминий, титан и/илн кремний. Цель - повышение качества покрыти за счет образовани покрыти из одного или нескольких слоев в услови х, близких к равновесным, с газовой фазой дл образовани же- лаемого окисла. Нанесение покрыти осуществл ют в газовой атмосфере, окислительный потенциал которой измен етс по определенной программе, В первой фазе окислительный потенциал непрерывно повышают до образовани . зародышей окислов на поверхности издели , после чего снижают во второй фазе постепенно. Управление окислительнь м потенциалом осуществл ют изменением либо температуры процесса, либо количества возвратных продуктов реакции, 3 ил.
Description
1
Изобретение относитс к химико- , термической обработке металлических изделий, а именно к нанесению покрыти , содержап1его окислы металлов, таких как хром, алюминий, титан и/или кремний.
Цель изобретени - повышение качества покрыти за счет образовани покрыти в услови х, близких к равновесным , дл образовани желаемого окисла, что обеспечивает получение репродуцированного.сло или даже нескольких слоев из различных окислов , причем на заготовке из хромсо- держащего сплава получают слои .
На фиг.1 и 2 представлена-установка дл реализации способа; на фиг.З - график изменени окислитель- .ного потенциала в процессе химико- термической обработки дл образова- ки покрыти из сло одного окисла.
Обрабатываемое изделие 1 помещают в реакционную печь 2, заполн емую инертным газом или водородом. Атмосфера и изделие нагреваютс до теютературы образовани покрыти из окислов металлов, вход щих в состав издели 1. После нагрева издели 1 до температуры Т, в печь 2 ввод .т
4
Ы
через впускной трубопровод 3 вод но пар или смесь вод ного пара с водородом в газоносителе, например в аргоне . На поверхности издели 1 происходит образование окислов, например согласно еледукщей реакции: 2Сг + ЗН ОзьСГгРэ + ЗН.
На поверхности 4 издели образуетс слой 5 из ,
Окислительный потенциал Р, , соответствующий границе активации (фиг. может быть достигнут за счет повышени температуры. В начальной фазе (фиг.З) на образование зародышей окислов вли ют таким образом, чтобы они были однородными и произошло образование упор доченного первичного сло , прочно сцепл ющегос с из- делием4
Во второй фазе (фиг.З) постепенн снижают потенциал Т дл нарастани основной структуры первичного сло .
Штрихова лини относитс к известному способу.
в выпускной трубопровод 6 поступают непрореагировавший вод ной пар и выдел ющийс как продукт реакции водород в количестве, стехиометри- чески эквивалентном количеству кислорода , св занному на поверхности 4 издели }.
Возвратные продукты через трубопроводы 7 и 8 поступают в реакционную печь 2 и затормаживают протекание реакции. Вод ной .пар поступает через трубопровод 3, а через клапан 9 выпускаетс в эквивалентное количество парогазовой смеси.
Клапан 9 служит дл управлени расходом возвратных продуктов в зависимости от их окислительного потенциала .
Возможно использование способа без применени реакционной печи. Реакционна атмосфера может быть, создана в обрабатываемом изделии, например, при нанесении покрыти на внутреннюю поверхность труб. В этом случае изделие нагреваетс гор чим инертш 1м газом.
Если требуетс предварительно нанести слой вещества, например хрома , на поверхность издели в том случае, когда изделие не содержит его или нежелательно,обеднение хрома под окисным слоем, то это возможно в той же установке (фиг.)). Дп этого в печь 2 ввод т термически
разлагаемое соединение хрома вместе
С газом-носителем, после чего осуществл ют нанесение покрыти согласно предложенному способу.
Таким образом, возможно как зональное легирование, так и нанесение покрыти из других элементов, как например А1, Si, Ti и В.
Дл возврата только части продуктов реакции в систему предусматриваетс установка сепаратора 10 дл разделени веществ (фиг.2). Дл организации циркул ции устанавливают компрессор 11 с охладителем 12 и смесителем 13, В этом варианте используетс предварительный подогрев атмосферы в нагревателе 14, свежие продукты поступают по трубопроводам 3, а возвратные по трубопроводу 15.
Способ позвол ет получать качественные репродуцированные слои.
Claims (1)
- Формула изобретениСпособ окислительного нанесенипокрыти на издели , содержащего хром, алюминий, титан и/или кремний путем гетерогенной химической реакции газовой фазы,.включающий удаление газовой смеси, содержап1ей вод ной пар и водород, из реакционной камеры, которую по меньшей мере частично направл ют обратно в реакцион- ную камеру, а в возвратный циркул ционный контур ввод т свежий вод нойпар, о тличающийс тем, что, с целью повышени качества покрыти , окислительный потенци ал газовой фазы непрерывно повышают до момента начала образовани центровреакции на поверхности издели путем повышени температуры реакции или увеличени потока свежего вод ного пара, после чего потенциал посте-, пенно снижают до значени равновеси путем . увеличени потока, направл емого обратно в реакционную камеру, или снижени температуры реакции, а равновесное значение поддерживают изменением части возвратных продуктов в зависимости от их окислительного потенциала.3. 9Ц.S./7 (pus.i/48/5/3зТР(риг.2toНг/X//
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19833338852 DE3338852A1 (de) | 1982-12-11 | 1983-10-26 | Verfahren und vorrichtung zur beschichtung von werkstuecken mittels chemischer, heterogener gasphasenreaktion |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1466654A3 true SU1466654A3 (ru) | 1989-03-15 |
Family
ID=6212779
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU833675008A SU1466654A3 (ru) | 1983-10-26 | 1983-12-09 | Способ окислительного нанесени покрыти на издели |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1466654A3 (ru) |
-
1983
- 1983-12-09 SU SU833675008A patent/SU1466654A3/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Патент GB № 2033560А, кл. F 4 В, 1980. Патент ГЛИА № 3684585, кл. С 23 С 11/08, 1970. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4623400A (en) | Hard surface coatings for metals in fluidized beds | |
US4619866A (en) | Method of making a coated cemented carbide body and resulting body | |
US5455071A (en) | Method for coating a structural component by gas diffusion | |
US4699082A (en) | Apparatus for chemical vapor deposition | |
US6416577B1 (en) | Method for coating inner surfaces of equipment | |
US5738908A (en) | Method of densifying porous substrates by chemical vapor infiltration of silicon carbide | |
US4687684A (en) | Process for diffusion coating metals | |
US3721577A (en) | Process for the deposition of refractory metal and metalloid carbides on a base material | |
US2689807A (en) | Method of coating refractory metal articles | |
WO2001066834A3 (en) | Chemical vapor deposition process for fabricating layered superlattice materials | |
US4525389A (en) | Method for conveying and treating a gas employed for the coating of workpieces by means of a chemical, heterogeneous vapor-phase reaction | |
US2972555A (en) | Gas plating of alumina | |
US5750195A (en) | Deposition of diamond on oxidizable material | |
SU1466654A3 (ru) | Способ окислительного нанесени покрыти на издели | |
JPS6317117B2 (ru) | ||
JP3729578B2 (ja) | 半導体製造方法 | |
JPS61117824A (ja) | 気相反応容器 | |
JPH0515787B2 (ru) | ||
JPH0412525A (ja) | 有機金属化学気相成長装置 | |
EP0084525A2 (en) | Method of making a coated cemented carbide body and resulting body | |
KR100312838B1 (ko) | 개선된 알루미나이징 처리 방법 및 그 장치 | |
Wahi | CVD Processes | |
IT1266502B1 (it) | Procedimento per la deposizione di uno strato di polisilicio su dischi di silicio. | |
Kolmakov et al. | Redistribution of Chemical Elements in Substrate--Coating System During Formation of Titanium Nitride and Ti (N, C) Coatings on R 6 M 5 Steel by Combined Ion-Plasma Method | |
JPS639742B2 (ru) |