SU1465739A1 - Способ приготовлени образцов пленок, нанесенных на поверхность кремниевой подложки,дл электронно-микроскопических исследований - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к технике приготовлени  образцов тонких пленок дл  электронно-микроскопических исследований, в частности пленок, напыленных на кремниевую подложку. Целью изобретени   вл етс  упрощение и снижение трудоемкости процесса приготовлени  образцов. Дп  отделени  пленки от кремниевой подложки исход- ньй объект погружают в 30-50%-ный раствор щелочи при 30-80 С и задерживают до полного отделени  пленки, которому способствует вьщеление водорода на границе раздела подложка-- пленка. Весь процесс занимает не более 1 ч и не требует.специального оборудовани . 1 табл. с /)

Description

I

Изобретение относитс  к техноло- гии приготовлени  тонкопленочных образцов дл  электронно-микроскопи- ческих исследований, в частности, образцов пленок, напыленных на кремниевую подложку.

Цель изобретени  - упрощение, и снижение трудоемкости процесса приготовлени  образцов за счет сокращени  продолжительности процесса и исключени  специального оборудовани .

Сущность способа заключаетс  в том, что исходный объект с пленкой на его поверхности обрабатывают раствором щелочи. Обработку провод т.

погружа  весь объект в 30-50%-ный раствор щелочи при 30-80°С и вьщер- живают до попного отделени  пленки.

При взаимодействии щелочи с кремнием -вьщел етс  водород. Вьщеление водорода на границе раздела кримние- ва  подложка - напыленна  пленка приводит к отделению пленки.

Экспериментально установлено, что при концентрации щелочи менее . 30% площадь отдел ющихс  участков пленки составл ет менее 3 мм, что затрудн ет процесс закреплени  образцов . Оптимальна  концентраци  щелочи , 30-50% (50%-ный раствор при

4 05 СЛ

ч1

со

QD

1465739

J X

ки вы и г ки

комнатной температуре  вл етс  насыщенным ) .

При температуре раствора менее увеличиваетс  продолжительность процесса, а использование раствора с температурой более приводит к р|1створению.самой отдел емой пленки.

В таблице приведены результаты р гализации способа приготовлени 

оЗразцов при различньк параметрах проведени  процесса.

Пример. Провод т отделени| ппенки ниоби  (Nb) толпщной 1000 А, напыленной на кремниевую подложку (100) в 45%-ном растворе КОН при 65°С. Врем  отделени  пленки составл ет около 5 мин при скорости раст- Еорени  самой пленки /-60-70 А/мин. Госле отделени  с помощью специаль- ной сетки кусочки пленки помещают в дистиллированную воду. Свертывани  Геленки не наблюдаетс . После промьш9

J X

ки в дистшглированной воде пленку вылавливают на предметную сеточку и высушивают, после чего образец готов дл  электронно-микроскопических исследований.

Формула-изобретени 

Способ приготовлени  образцов пленок, нанесенных на поверхность кремниевой подложки, дл  электронно- микроскопических исследований, вклю- чающий отделение пленки от подложки путем обработки исходного объекта раствором щелочи и размещение ренки на предметной сетке, о т л и ч а щ и и с   тем, что, с целью упрощени  и снижени  трудоемкости процесса приготовлени , обработку исходног объекта осуществл ют путем его погружени  в 30-50%-ный раствор щепочи и выдержки при ЗО-бО С до полно -о отделени  пленки.

Claims (1)

1. Формула изобретения Способ приготовления образцов пленок, нанесенных на поверхность кремниевой подложки, для электронномикроскопических исследований, включающий отделение пленки от подложки путем обработки исходного объекта раствором щелочи и размещение цленки на предметной сетке, о т л и ч а кг щ и й с я тем, что, с целью упрощения и снижения трудоемкости процесса приготовления, обработку исходного объекта осуществляют путем его погружения в 30-50^-ный раствор щелочи и выдержки при 30-80°С до полного отделения пленки.

   Концентрация щелочи КОН, %

   Темп ература раствора щелочи, °C

   Время отделения пленки, мин

   Площадь отделившихся участков пленки, мм ^L

   18 20 Не отделяется — 18 90 . -40 1 28 45 760 ? 1 30 2.0 >60 30 30 . -30 -5 30 S0 -15 5-20 45 65 -5 Отделение по всей площади 50 20 >60 /3 мм 50 30 -10 Отделение по всей

   площади

   50 80

   -3 То же

   50 90

   Пленка растворяется