SU1458703A1 - Способ контроля шероховатости поверхности изделия - Google Patents

Description

<p>Изобретение относится к измерительной технике, в частности к контролю шероховатости поверхности изделия. Цель изобретения - повышение точности контроля за счет исключения погрешности от дискретности выходного сигнала, разброса чувствительности и шумов, а также расширение информативности за счет определения топографии поверхности. Коллимированный луч лазера 1 падает на контролируемую поверхность 8. Излучение, рассеянное контролируемой поверхностью 8, направляют на акус</p></li></ul> <p>тооптический модулятор 3, в котором</p> <p>распространяется бегущий акустический импульс 10 заданной длительности. Проходя через акустооптический модулятор 3, излучение дифрагирует на акустическом импульсе 10. Продифрагированное и непродифрагированное излучения фокусируются линзой 5’, которая производит Фурье-преобразование амплитудного распределения излучения в фокальной плоскости линзы 5. Фотодетектор 7 устанавливают на первый порядок дифракции. Непродифрагированное излучение задерживается диафрагмой 6.' Интенсивность излучения в дифракционных порядках пропорциональна квадрату интеграла рас- с пределения амплитуды излучения на длине акустического импульса 10. О качестве шероховатости поверхности 8 детали судят по отклонению замеренной индикатриссы рассеяния от контролируемой детали и эталонного образца. Акустооптический модулятор 3 с фотодетектором 7 дискретно поворачивают вокруг их осей, последовательно контролируют рассеянное излучение и по результатам контроля определяют топографию поверхности 8. 1 з.п. ф-лы,</p> <p>8Ц 1458703</p> <p>4</p> <p>ί</p> <p>1</p> <p>1458703</p> <p>2</p> <p>Изобретение относится к измерительной технике, в частности к контролю шероховатости поверхности изделия . _с</p> <p>э</p> <p>Цель изобретения - повышение точности контроля шероховатости поверхности изделия за счет исключения погрешности от дискретности выходного щ сигнала, разброса чувствительности и шумов, а также, расширение информативности за счет определения топографии поверхности.</p> <p>На чертеже изображена принципиаль-15 пая схема устройства для осуществления предлагаемого способа.</p> <p>Устройство содержит лазер 1, коллиматор 2, акустооптический модулятор 3 с импульсным генератором 4, 20</p> <p>линзу 5, диафрагму 6 и фотодетектор 7.</p> <p>Способ осуществляют следующим образом.</p> <p>Излучение лазера 1, преобразован- / ное в параллельный пучок коллимато- 25 ром 2, направляют на контролируемую ' поверхность 8. Угол между осью освещения и наблюдения относительно нормали к поверхности 8 равен 45% Излучение, рассеянное контролируемой по-.30 верхностью 8, падает на акустооптический модулятор 3.</p> <p>В зависимости от качества шероховатости поверхности 8 излучение имеет различную индикатриссу рассеяния 9 ^5</p> <p>в плоскости акустооптического модулятора 3. В акустооптическом модуляторе 3 с помощью импульсного генератора 4 создается бегущий акустический импульс 10 заданной длитель- дд ности, заполненный импульсами несущей частоты.</p> <p>Проходя через акустооптический модулятор 3, излучение дифрагирует на акустическом импульсе 10 как на фазовой дифракционной решетке, Причем в каждый момент дифрагируют лучи лишь того участка рассеянного волнового фронта, мимо которого пробегает акустический импульс 10. Продифрагированное и непродифрагированное излучения фокусируются линзой 5, которая производит Фурье-преобразование амплитудного распределения излучения в фокальной плоскости линзы 5. Обна-” ружение интенсивности рассеянного излучения выполняется фотодетектором 7, установленным на первый порядок дифракции. Непродифрагированное</p> <p>излучение в нулевом порядке задерживается диафрагмой 6.</p> <p>Устройство может работать в режиме дифракции Рамана-Ната и Брэгга. Интенсивность излучения в дифракционных порядках пропорциональна квадрату интеграла распределения амплитуды излучения на длине акустического импульса 10, Снимаемый с фотодетектора 7 сигнал определяется мгновенным значением интенсивности излучения. О качестве шероховатости поверхности 8 изделия судят по отклонению замеренной индикатриссы рассеяния от контролируемой поверхности 8 детали и· эталонного образца (не показан) или рассчитанной эмпирически. Поворачивая дискретно акустооптический модулятор 3 с фотодетектором 7 вокруг их осей и последовательно измеряя рассеянное излучение, определяют топографию контролируемой поверхности 8.</p>

Claims (2)

1. <claim-text>Формула изобре те н и я</claim-text> <ul style="list-style:none;"><li> <claim-text>1. Способ контроля шероховатости поверхности изделия, заключающийся в том, что направляют коллимированное световое излучение на контролируемую поверхность, регистрируют с помощью фотодетектора интенсивность· отраженного от контролируемой поверхности излучения и определяют шероховатость поверхности изделил,о тличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, направляют на акустооптический модулятор излучение, рассеянное от контролируемой поверхности, фокусируют с помощью линзы излучения, продифрагцрованное и непродифрагированное на бегущем акустическом импульсе заданной длительности модулятора, производят Фурье-преобразование амплитудного распределения излучения в фокальной плоскости линзы, определяют индикатриссу рассеяния путем установки фотодетектора на первый порядок дифракции й по результатам сравнения ее с эталонной судят о шероховатости поверхности изделия.</claim-text></li><li>
2. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что, с целью расширения информативности, определяют про1458703

   странственно распределенное рассеянное излучение путем дискретного поворота акустооптического модулятора

   и фотодетектора вокруг их оптических осей, по которому судят о топографии поверхности.

   '