Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Физико-технический институт АН БССРfiledCriticalФизико-технический институт АН БССР
Priority to SU3918112/21ApriorityCriticalpatent/SU1431365A1/ru
Application grantedgrantedCritical
Publication of SU1431365A1publicationCriticalpatent/SU1431365A1/ru
Способ нанесения покрытий в вакууме, включающий ионную очистку, диффузионное насыщение подложки материалом катода и осаждение материала катода на подложку, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытия за счет снижения уровня остаточных напряжений и повышения адгезии переходного слоя, перед осаждением материала катода проводят закалку подложки.
SU3918112/21A1985-06-241985-06-24Способ нанесения покрытий в вакууме
SU1431365A1
(ru)
Verfahren zum herstellung von ableiter-elektrode einheiten für dünnerschichten generatoren, ableiter-elektrode einheiten und daraus hergestellte generatoren