SU1381328A1 - Устройство дл контрол неплоскостности и толщины пластин - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к контрольно- измерительной технике и может быть использовано дл  контрол  неплоскостности и толщины полупроводниковых и диэлектрических пластин. Целью изобретени   вл етс  повышение точности измерени  при контроле неплоскостности и толщины плас9 8 тин. Указанна  цель достигаетс  тем, что щупы 8 базовых датчиков 3, на которых располагаетс  контролируема  пластина, задают базовую плоскость по трем вертикальным перемеш,ени м. Щупы 8 располагаютс  равномерно по окружности, в центре которой располагаетс  щуп 9 датчика 2, перемещение которого относительно базовой плоскости характеризует неплоскостность пластины, толщина пластины измер етс  косвенно взвешиванием на четырех датчиках 2 и 3 пластин из материала посто нной плотности и одинаковой площади. Определение толщины пластины происходит суммированием в блоке 5 сигналов с датчиков 2 и 3, а определение базовой плоскости и измерение неплоскостности - соответственно в блоках 6 и 7. Одностороннее измерение неплоскостности и толщины пластины позвол ет избегать ее деформации при измерении и, следовательно, повысить точность. 1 ил. i (Л 7 О9 00 00 ю 00

Description

Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике и может быть использовано дл  контрол  неплоскостности II толщины пластин, в том числе полу- щроводниковых и диэлектрических. : Цель изобретени  - повышение точности 1|1змерени  при контроле неплоскостности и толщины пластин за счет исключени  по- |решности деформации.

На чертеже представлена схема устройст- а.

Устройство дл  контрол  неплоскостности

толщины пластин содержит основание 1,

;етыре датчика 2 и 3 перемещений,

лектронный преобразователь 4, включаю1 ий в себ  блок 5 измерени  толщины,

1;ходы которого соединены с выходами

координатам (перемещени м) базовых датчиков 3, щупы 8 которых образуют равносторонний треугольник, вычисл етс  вертикальна  координата точки пересечени  ба- 5 зовой плоскости с щупом 10 датчика 2, расположенного в центре этого треугольника, путем определени  среднего арифметического сигналов базовых датчиков.

В блоке измерени  неплоскостнйсти определ етс  разность сигналов с выхода блока 6 определени  базовой плоскости и датчика 2, соответствующа  отклонению от плоскостности в центре пластины 9.

10

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   15

   Устройство дл  контрол  неплоскостности и толщины пластин,содержащее основание с размещенными на нем датчиками. перемещений , электронный преобразователь, вход которого соединен с выходами датчи;|1атчиков 2 и 3, блок 6 определени  ба1ОВОЙ плоскости, входы которого соеди- йены с выходами датчиков 3 и соответтвующими входами блока 5, блок 7 из1ерени  неплоскостности, первый вход кото-20 ков, отличающеес  тем, что, с целью порого соединен с выходом блока б, а второй -выщени  точности измерени  при контроле

   выходом датчика 2, щупы 8 трех ба-толщины и неплоскостности пластин, оно

   оБых датчиков 3, расположенные равно-снабжено четырьм  датчиками перемещений,

   мерно по окружности, диаметр которойщупы трех датчиков,  вл ющихс  базовыми,

   меньше контролируемой пластины 9, щуп 1025 расположены равномерно по окружности,

   датчика 2 перемещений, расположенный вдиаметр которой меньще диаметра контро1{1ентре окружности расположени  щупов 8.лируемой пластины, а щуп четвертого датУстройство работает следующим образом.чика размещен в центре этой окружности.

   Контролируемую пластину 9 укладываютэлектронный преобразователь состоит из блоlia щупы 8 и 10 датчиков 3 и 2, сум-ка измерени  толщины, входы которого соемарное перемещение которых пропорцио-ЗО динены с выходами всех датчиков, блока

   определени  базовой плоскости, входы которого соединены с соответствующими входами блока измерени  толщины и выходами трех базовых датчиков, блока измерени  неплоскостности, первый вход которого сое1рально весу пластины.

   Суммирование сигналов всех датчиков проходит в 5, определ ют результирующий сигнал, пропорциональный весу, i следовательно, и толщине пластины 9,

   так как пластины- калиброваны по диа- 35 динен с выходом блока определени  базо- метру с точностью до 0,1 мм. В бло-вой плоскости, а второй вход - с выхо |се б определени  базовой плоскости по тремдом четвертого датчика.

   координатам (перемещени м) базовых датчиков 3, щупы 8 которых образуют равносторонний треугольник, вычисл етс  вертикальна  координата точки пересечени  ба- зовой плоскости с щупом 10 датчика 2, расположенного в центре этого треугольника, путем определени  среднего арифметического сигналов базовых датчиков.

   В блоке измерени  неплоскостнйсти определ етс  разность сигналов с выхода блока 6 определени  базовой плоскости и датчика 2, соответствующа  отклонению от плоскостности в центре пластины 9.

   Формула изобретени 

   Устройство дл  контрол  неплоскостности и толщины пластин,содержащее основание с размещенными на нем датчиками. перемещений , электронный преобразователь, вход которого соединен с выходами датчиков , отличающеес  тем, что, с целью поопределени  базовой плоскости, входы которого соединены с соответствующими входами блока измерени  толщины и выходами трех базовых датчиков, блока измерени  неплоскостности, первый вход которого сое динен с выходом блока определени  базо- вой плоскости, а второй вход - с выхо