SU1435967A1

SU1435967A1 - Интегральный тензопреобразователь давлени

Info

Publication number: SU1435967A1
Application number: SU853924707A
Authority: SU
Inventors: Владимир Иванович Ваганов; Геннадий Дмитриевич Пряхин
Original assignee: Московский Инженерно-Физический Институт
Priority date: 1985-07-09
Filing date: 1985-07-09
Publication date: 1988-11-07

Abstract

Изобретение относитс к измерительной технике и позвол ет улучшить метрологические характеристики тензопреобразовател , а также уменьшить его геометрические размеры.Из- .мер емоё давление прогибает пр моугольную мембрану с выполненными на ней углублением и пр моугольными выступами . При этом тензорезисторы, расположенные на периферии мембраны и в ее центральной части между выступами также деформируютс , измен свое сопротивление. О величине давле- ., НИН суд т по изменению сопротивлени S тензорезисторов. 2 ил. (Л

Description

4

оо ел

UD О) .

Изобретение относитс к измерительной технике, в частности к интегральным измерительным тензопреобра- зовател и.

Цель изобретени - улучшение метрологических хар акт-ери с тик преобразовател и уменьшение геометрических размеров.

На фиг, 1 и 2 изображен интегральный тензопреобразователь.

Интегральный тензопреобразователь содержит пр моугольную кремниевую мембрану 1 с тензорезисторами 2 и 3, Плоскость мембраны 1 совпадает с кристаллографической плоскостью (ЮО), а стороны мембраны ориентированы вдоль взаимно перпендикул рных кристаллографических направлений семейства 110. Тензорезисто- ры 2 одного знака чувствительности расположены на периферии мембраны в середине ее длинных сторон, а тензо- резисторы 3 противоположного знака чувствительности расположены в центральной части мембраны, все они ориентированы вдоль длинных сторон мембраны. На всей площади мембраны 1 выполнено углубление 4 с образованием двух идентичных пр моугольных выступов 5, расположенных параллельно длинной стороне мембраны , Тензорезисторы 2 расположены по периферии мембраны 1 у длинной стороны, а Тензорезисторы 3 расположены между выступами 5,

Интегральный тензопреобразователь работает следующим образом.

При действии давлени на мембрану с углублением А и выступами 5 последн прогибаетс , в результате чего деформируютс Тензорезисторы 2 и 3, с которых снимаетс сигнал, характеризующий измер емое давление.

Ф о .р м у л а

из о,рре тени

Интегральный тензопреобразователь

давлени , содержащий пр моугольную

мембрану, на которой параллельно дпин- ной стороне расположены четыре тензо- резистора, при зтом два тензорезисто- ра одного знака чувствительности размещены по периферии мембраны в середине ее длинных сторон, а два тензо- резистора другого знака чувствительности размещены в центральной части мембраны, отличающийс

тем, что, с целью улучшени метрологических характеристик и уменьшени геометрических размеров, в нем на всей площади мембраны со стороны расположени тензорезисторов выполнено

углубление с образованием двух пр моугольных выступов, длинные стороны которых параллельны длинным сторонам пр моугольной мембраны, а тензорезис-- торы, размещенные в центральной части мембраны, расположены между выс

тупами,

110

Я

О

Т.

О

Т.

О

Фи2,1

чss чssys j s j

9iiZ.2

Claims

Фо.рмула изобретения

Интегральный тензопреобразователь давления, содержащий прямоугольную мембрану, на которой параллельно длинной стороне расположены четыре тензорезистора, при этом два тензорезистора одного знака чувствительности размещены по периферии мембраны в середине ее длинных сторон, а два теязорезистора другого знака чувствительности размещены в центральной части мембраны, отличающийся тем, что, с целью улучшения метрологических характеристик и уменьшения геометрических размеров, в нем на всей площади мембраны со стороны расположения тензорезисторов выполнено углубление с образованием двух прямоугольных выступов, длинные стороны которых параллельны длинным сторонам прямоугольной мембраны, а тензорезисторы, размещенные в центральной части мембраны, расположены между выступами.

Фиг.1

I 435967 фиг. 2