SU1673894A1

SU1673894A1 - Интегральный преобразователь давлени

Info

Publication number: SU1673894A1
Application number: SU853965917A
Authority: SU
Inventors: Ариф Мирджалал Оглы Пашаев; Тахир Аслан Оглы Асланов; Акиф Алимухтар Оглы Кулиев
Original assignee: Институт Физики Ан Азсср
Priority date: 1985-07-04
Filing date: 1985-07-04
Publication date: 1991-08-30

Abstract

Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике и позвол ет повысить чувствительность устройства. В преобразователе кремниева мембрана 3 выполнена в виде равностороннего треугольника. Вдоль высоты треугольника размещены два тензорезистора 1, соответственно, на рассто нии 0,52 A и 0,35 A от основани . Втора пара тензорезисторов 1 расположена на линии, параллельной основанию треугольника и отсто щей от него на 0,1 A. Каждый резистор второй пары отстоит от вершины близлежащего угла треугольника на рассто нии 0,25 A, где A - длина стороны треугольника. Воздействие измер емого сопротивлени на мембрану 3 преобразовател вызывает изменение сопротивлени тензорезисторов 1 с контактными площадками 2 каждой пары с разным знаком. 1 ил.

Description

Изобретение относитс к контрольно- измерительной технике и может быть использовано дл измерени давлени жидких и газообразных сред.

Целью изобретени вл етс повыше- ние чувствительности.

На чертеже схематично изображен преобразователь. Интегральный преобразователь давлени содержит четыре тензо- резистора 1 с контактными площадками 2. Тензорезисторы размещены на мембране 3, выполненной в виде равностороннего треугольника . Одна пара тензорезисторов 1 размещена вдоль высоты треугольника так, что один тензореэистор из этой пары расположен на рассто нии 0,52а, а другой - на рассто нии 0,35а от основани . Друга пара тензорезисторов 1 размещена на линии, параллельной основанию треугольника и отсто щей от него на рассто - ние 0,1 а, причем каждый тензорезистор этой пары расположен на рассто нии 0,25а от вершины близлежащего угла треугольника . Величина а равна длине стороны треугольника, .

Интегральный преобразователь давлени работает следующим образом.

Измер емое давление, воздейству на мембрану, вызывает ее деформацию, а следовательно, и изменение сопротив- лени тензорезисторов 1. При этом изменение сопротивлени тензорезисторов

каждой пары происходит с разным знаком, что приводит к увеличению чувствительности . Выбранна геометрическа форма выполнени мембраны также приводит к увеличению чувствительности за счет увеличени значений деформаций.

Интегральный преобразователь давлени обеспечивает повышение чувствительности примерно в два раза по сравнению с интегральным преобразователем, в котором мембрана имеет пр моугольную форму выполнени , при одинаковых значени х площадей мембран.

Форма изобретени Интегральный преобразователь давлени , содержащий кремневую мембрану, на которой размещены четыре тензорези- стора, отличающийс тем, что, с целью повышени чувствительности, в нем мембрана выполнена в виде равностороннего треугольника, причем одна пара тензорезисторов размещена вдоль высоты треугольника , один тензорезистор из этой пары расположен на рассто нии 0,52а, другой - на рассто нии 0,35а от основани , при этом друга пара тензорезисторов размещена на линии, параллельной основанию треугольника и отсто щей от него на рассто ние 0,Та, причем каждый тензорезистор этой пары расположен на рассто нии 0,25а от вершины близлежащего угла треугольника , где а-длин а стороны треугольника.

Claims

Интегральный преобразователь давления, содержащий кремневую мембрану, на которой размещены четыре тензорезистора, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности, в нем мембрана выполнена в виде равностороннего треугольника, причем одна пара тензорезисторов размещена вдоль высоты треугольника, один тензорезистор из этой пары расположен на расстоянии 0,52а, другой на расстоянии 0,35а от основания, при этом другая пара тензорезисторов размещена на линии, параллельной основанию треугольника и отстоящей от него на расстояние 0,1а, причем каждый тензорезистор этой пары расположен на расстоянии 0,25а от вершины близлежащего угла треугольника, где а-длина стороны треугольника.