SU1673894A1 - Интегральный преобразователь давлени - Google Patents
Интегральный преобразователь давлени Download PDFInfo
- Publication number
- SU1673894A1 SU1673894A1 SU853965917A SU3965917A SU1673894A1 SU 1673894 A1 SU1673894 A1 SU 1673894A1 SU 853965917 A SU853965917 A SU 853965917A SU 3965917 A SU3965917 A SU 3965917A SU 1673894 A1 SU1673894 A1 SU 1673894A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- triangle
- pair
- distance
- strain gauges
- membrane
- Prior art date
Links
Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике и позвол ет повысить чувствительность устройства. В преобразователе кремниева мембрана 3 выполнена в виде равностороннего треугольника. Вдоль высоты треугольника размещены два тензорезистора 1, соответственно, на рассто нии 0,52 A и 0,35 A от основани . Втора пара тензорезисторов 1 расположена на линии, параллельной основанию треугольника и отсто щей от него на 0,1 A. Каждый резистор второй пары отстоит от вершины близлежащего угла треугольника на рассто нии 0,25 A, где A - длина стороны треугольника. Воздействие измер емого сопротивлени на мембрану 3 преобразовател вызывает изменение сопротивлени тензорезисторов 1 с контактными площадками 2 каждой пары с разным знаком. 1 ил.
Description
Изобретение относитс к контрольно- измерительной технике и может быть использовано дл измерени давлени жидких и газообразных сред.
Целью изобретени вл етс повыше- ние чувствительности.
На чертеже схематично изображен преобразователь. Интегральный преобразователь давлени содержит четыре тензо- резистора 1 с контактными площадками 2. Тензорезисторы размещены на мембране 3, выполненной в виде равностороннего треугольника . Одна пара тензорезисторов 1 размещена вдоль высоты треугольника так, что один тензореэистор из этой пары расположен на рассто нии 0,52а, а другой - на рассто нии 0,35а от основани . Друга пара тензорезисторов 1 размещена на линии, параллельной основанию треугольника и отсто щей от него на рассто - ние 0,1 а, причем каждый тензорезистор этой пары расположен на рассто нии 0,25а от вершины близлежащего угла треугольника . Величина а равна длине стороны треугольника, .
Интегральный преобразователь давлени работает следующим образом.
Измер емое давление, воздейству на мембрану, вызывает ее деформацию, а следовательно, и изменение сопротив- лени тензорезисторов 1. При этом изменение сопротивлени тензорезисторов
каждой пары происходит с разным знаком, что приводит к увеличению чувствительности . Выбранна геометрическа форма выполнени мембраны также приводит к увеличению чувствительности за счет увеличени значений деформаций.
Интегральный преобразователь давлени обеспечивает повышение чувствительности примерно в два раза по сравнению с интегральным преобразователем, в котором мембрана имеет пр моугольную форму выполнени , при одинаковых значени х площадей мембран.
Форма изобретени Интегральный преобразователь давлени , содержащий кремневую мембрану, на которой размещены четыре тензорези- стора, отличающийс тем, что, с целью повышени чувствительности, в нем мембрана выполнена в виде равностороннего треугольника, причем одна пара тензорезисторов размещена вдоль высоты треугольника , один тензорезистор из этой пары расположен на рассто нии 0,52а, другой - на рассто нии 0,35а от основани , при этом друга пара тензорезисторов размещена на линии, параллельной основанию треугольника и отсто щей от него на рассто ние 0,Та, причем каждый тензорезистор этой пары расположен на рассто нии 0,25а от вершины близлежащего угла треугольника , где а-длин а стороны треугольника.
Claims (1)
- Интегральный преобразователь давления, содержащий кремневую мембрану, на которой размещены четыре тензорезистора, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности, в нем мембрана выполнена в виде равностороннего треугольника, причем одна пара тензорезисторов размещена вдоль высоты треугольника, один тензорезистор из этой пары расположен на расстоянии 0,52а, другой на расстоянии 0,35а от основания, при этом другая пара тензорезисторов размещена на линии, параллельной основанию треугольника и отстоящей от него на расстояние 0,1а, причем каждый тензорезистор этой пары расположен на расстоянии 0,25а от вершины близлежащего угла треугольника, где а-длина стороны треугольника.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU853965917A SU1673894A1 (ru) | 1985-07-04 | 1985-07-04 | Интегральный преобразователь давлени |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU853965917A SU1673894A1 (ru) | 1985-07-04 | 1985-07-04 | Интегральный преобразователь давлени |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1673894A1 true SU1673894A1 (ru) | 1991-08-30 |
Family
ID=21201594
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU853965917A SU1673894A1 (ru) | 1985-07-04 | 1985-07-04 | Интегральный преобразователь давлени |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1673894A1 (ru) |
-
1985
- 1985-07-04 SU SU853965917A patent/SU1673894A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
За вка DE №2903253. кл.С01 L9/04, 1980. За вка FR №2446471, кл.001 L9/06, 1980. Авторское свидетельство СССР № 1027550, кл. G01 L9/04, 1983. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SU1673894A1 (ru) | Интегральный преобразователь давлени | |
SU1435967A1 (ru) | Интегральный тензопреобразователь давлени | |
SU1744529A1 (ru) | Устройство дл измерени давлени | |
SU1272132A1 (ru) | Тензометрический преобразователь давлени | |
SU681339A1 (ru) | Преобразователь давлени | |
SU658399A1 (ru) | Преобразователь | |
SU1425486A1 (ru) | Тензорезисторный датчик давлени | |
SU1401264A1 (ru) | Электромеханический тензометр | |
SU1025998A1 (ru) | Устройство дл измерени прогиба упругой линии конструкции | |
RU1830470C (ru) | Интегральный полупроводниковый преобразователь давлени | |
SU547653A1 (ru) | Датчик силы | |
SU678364A1 (ru) | Преобразователь давлени | |
SU1553856A1 (ru) | Датчик давлени | |
SU1364924A1 (ru) | Устройство дл измерени давлени | |
SU1106982A1 (ru) | Датчик деформаций | |
SU667835A1 (ru) | Тензорезисторный датчик силы | |
SU1442840A1 (ru) | Тензометрический датчик усилий | |
SU1474486A1 (ru) | Датчик давлени | |
SU82401A1 (ru) | Мессдоза дл измерени касательных напр жений в грунтах | |
SU131124A1 (ru) | Устройство дл измерени давлени | |
SU1649314A1 (ru) | Тензорезисторный датчик силы | |
SU1166000A1 (ru) | Датчик тока | |
KR890004755Y1 (ko) | 스트레인 게이지를 이용한 수면 검출기 | |
SU1247693A1 (ru) | Полупроводниковое измерительное устройство | |
SU1627870A1 (ru) | Датчик давлени |