SU1605146A1

SU1605146A1 - Преобразователь давлени

Info

Publication number: SU1605146A1
Application number: SU884617982A
Authority: SU
Inventors: Владимир Николаевич Пухов
Original assignee: Ярославское научно-производственное объединение "Электронприбор"
Priority date: 1988-12-12
Filing date: 1988-12-12
Publication date: 1990-11-07

Abstract

Изобретение относитс к измерительной технике, в частности к полупроводниковым тензометрическим датчикам давлени , и позвол ет повысить точность измерени за счет уменьшени неоднородности пол напр жений. Преобразователь давлени содержит полупроводниковую пластину 1, в которой выполнены канавки 2, образующие по форме квадрат. В углах квадрата выполнены углублени . В середине канавки 2 закреплены тензорезисторы 4, соединенные в мостовую схему. Полупроводникова пластина 1 закреплена в корпусе 8 клеевым составом 9. В преобразователе давлени точность измерени не превышает 0,1% за счет выравнивани пол напр жений в полупроводниковой пластине 1. 2 ил.

Description

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к полупро- ^гводниковым тензометрическим датчикам давления, и может быть использовано в информационно-измерительных системах, в качестве первичного измерительного преобразователя давления жидкостей и газов. !

Целью изобретения является повышение точности преобразованйя за счет уменьшения'неоднородности поля напряжений .

На фиг.1 показан чувствительный элемент; на Фиг.2 - конструкция пре- 15 образователя цавления.

Преобразователь содержит полупроводниковую пластину 1, в которой выполнены четыре канавки-2 длиной I. с постоянным поперечным сечением W,o6- 20 разующие по форме квадрат. В углах квадрата, образованного канавками 2, выполнены углубления 3 длиной 1 в направлении канавок 2. В середине канавок. 2 закреплены тензорезисторы 4 25 длиной 1', которые проводниками 5 и 6 соединены между собой в мостовую схему и с внешней аппаратурой. Утолщенные секторы 7 выполняют роль концентраторов напряжений. Длина углублений 3 удовлетворяет соотношению W L-l^г — <_1 , а отношение глубины углублений 3 к толщине материала пластины 1 между поверхностью углубления 3^ и нижней поверхностью пластины V находится в пределах 1/4 - 3/4. Полупроводниковая пластина 1 закреплена в корпусе 8 с помощью клеевого состава 9.

Преобразователь давления работает ₄₀следующим образом.

Под действием измеряемого давления канавки 2 и углубления 3 пластины 1 упруго деформируются. Под воздействи ем деформаций тензорезисторы 4, расположенные попарно в областях одинаковых, но противоположных по знаку деформаций, меняют величины сопротивлений, что приводит к разбалансу мостовой схемы. Сигнал разбаланса мостовой схемы с помощью проводников 5 и 6 подается к внешней аппаратуре. Утолщенные секторы 7 не деформируются, а деформация углублений 3 не влияет на однородность деформации канавок 2. Ошибка преобразования (нелинейность) преобразователей давления с углублениями 3 не превышает 0,1% по сравнению с 0,250,30% для преобразователей без дополнительных углублений.

Claims

Формула изобретения

Преобразователь давления, выполненный в виде квадратной полупроводниковой пластины, в которой по главным кристаллическим осям на верхней поверхности пластины выполнены четыре канавки длиной L с постоянным поперечным сечением шириной W, образующие по форме квадрат, причем по крайней мере в двух из канавок в их середине закреплены тензорезисторы длиной 1, отличающийся тем, что, с целью повышения точности за счет уменьшения неоднородности поля напряжений, в углах квадрата, образованного канавками, на их поверхности выполнены углубления длиной 1 в направлении канавок, причем длина углублений W удовлетворяет соотношению у <1 а отношение глубины углублений к тол-| щине материала пластины между поверхностью углубления и нижней поверхностью пластины находится в пределах 1/4 - 3/4. .

о.

Фиг. /