SU135232A1 - Фотоэлектрический способ дл обнаружени дефектов оптических поверхностей - Google Patents
Фотоэлектрический способ дл обнаружени дефектов оптических поверхностейInfo
- Publication number
- SU135232A1 SU135232A1 SU650476A SU650476A SU135232A1 SU 135232 A1 SU135232 A1 SU 135232A1 SU 650476 A SU650476 A SU 650476A SU 650476 A SU650476 A SU 650476A SU 135232 A1 SU135232 A1 SU 135232A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- optical surfaces
- detecting defects
- photoelectric method
- controlled
- light
- Prior art date
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
Известны способы и устройстаа дл обнаружени дeфeктoI оптических .пОВерхностей, ссноза}П ые на .использовании фотоэффекта и темного пол . Недостаток подобных способов ;и устройств состоит в том, что чувствительность устройства, получаема артг малых геометрических размерах дефекта, мала.
В описываемом способе указанный .недостаток устранен тем, что исследуема пов-ерхность сканируетс оптической системой темного пол световым п тном, р-азмер которого соизмерим с размером дефекта исследуемой поверхности.
На чертеже изображена с.хема устройства по описываемому способу . Здесь: / - источник света; .2 - конденсор; 5 -д} афрагма с круглым отверстием; 4-микрообъектив; 5 - зеркало; 5 -конденсор с апертурой 0,8; 7 - ко-нтролдаруема поверхность; 5 -двигатель; 9, 10, 11, /2 .и / -шестерни редуктора; / -винт; /5 - гайк-а; /5-фотоумнож1итель .
Источник света 1 конденсором 2 проектируетс -в плоскость диа фрагмы 3, котора находитс в фокальной плоскости микрообъектива-/. Вышедший из Микрообъектива параллелы1ый света зеркалом 5 направл етс на конденсор 6, которьгй дает и: ображение, свет щегос отверсти диафрагмы 3 на контролируемой. поверхност1И 7. Пучок света , зеркально отраженный от контролируемой поверхности, во: зраш ,аетс обратно по прежнему направлению и не.попадает на катод фотоумножител . Свет, рассе нный дефектами контролируемой ловерхгх) .сти 7, в пределах апертуры /7 собираетс конденсором 6 и напрат ог с на катод фотоумножител 16. Диаметр овет -щегос п тна на KOiiTролируемой поверхности равен 0,2 мм. Развертка .кхжтролируемсГ; поверхности осуществл етс механическим путем по спирали Архимеда, так как дзигатель 8 пр.иводит во вращение контролируемую лета.1ь и
одиоирсмсано перемещает «е относительно части устройства.
Чувствительность описываемого устройства такова, что амллнтуда импульсо-Б от царалины шириной 3 мк превышает уровень шумоа фотоумножител 3-10 раз, в зависимости от микроструктуры царапины .
Предмет изобретени
Фотоэлектрический сггособ дл обнаружош дефектов оитичсскиХ поаерхностей путем измерени -коэффициента стр ажеин поверхности, отличающийс тем, что, с целью повышени чувствительности, исследуема поверхность сканируетс оптической системой темного пол световым п тном по размерам, соизмеркмЫМ с дефектами исследуемой поверхности..
///777777,
кеподБижной оптической
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU650476A SU135232A1 (ru) | 1960-01-13 | 1960-01-13 | Фотоэлектрический способ дл обнаружени дефектов оптических поверхностей |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU650476A SU135232A1 (ru) | 1960-01-13 | 1960-01-13 | Фотоэлектрический способ дл обнаружени дефектов оптических поверхностей |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU135232A1 true SU135232A1 (ru) | 1960-11-30 |
Family
ID=48291557
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU650476A SU135232A1 (ru) | 1960-01-13 | 1960-01-13 | Фотоэлектрический способ дл обнаружени дефектов оптических поверхностей |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU135232A1 (ru) |
-
1960
- 1960-01-13 SU SU650476A patent/SU135232A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10488348B2 (en) | Wafer inspection | |
| WO2019086550A3 (en) | Confocal scanning imaging systems with micro optical element arrays and methods of specimen imaging | |
| JPH0435026B2 (ru) | ||
| JP2002310848A5 (ru) | ||
| TWI673528B (zh) | 固態浸沒式透鏡保持器及圖像取得裝置 | |
| SU135232A1 (ru) | Фотоэлектрический способ дл обнаружени дефектов оптических поверхностей | |
| SE7901692L (sv) | Optisk anordning for bestemning av ljusuttredesvinkeln | |
| CN109470145A (zh) | 偏振调制高分辨力立体视觉测量系统与方法 | |
| JPH079406B2 (ja) | 半導体ウエハの表面検査装置 | |
| JPS5643539A (en) | Defect inspection device of face plate | |
| JPH0112187Y2 (ru) | ||
| JPS54101389A (en) | Foreign matter inspecting method | |
| Neumann et al. | 4c-4 a new designed schlieren system for the visualization of ultrasonic pulsed wave fields with high spatial and temporal resolution | |
| SU124191A1 (ru) | Двойной микроскоп с пол ризационной оптикой | |
| JP3259433B2 (ja) | 固体撮像素子の光学的特性測定・検査装置とそれを用いた測定・検査方法 | |
| JP6517734B2 (ja) | 散乱光検出ヘッド | |
| SU122307A1 (ru) | Фотометрическа насадка | |
| SU504081A1 (ru) | Устройство дл автоматического обнаружени дефектов на внутренних поверхност х труб | |
| JPS63184045A (ja) | 欠陥検出センサ | |
| SU373676A1 (ru) | ВОШОЮЗНАЯ I тт\111^[:т-'^'г1Ш | |
| SU135664A1 (ru) | Зеркальный умножитель с параллельными зеркалами | |
| SU1395946A1 (ru) | Прибор дл контрол шероховатости поверхности | |
| SU130700A1 (ru) | Способ определени качества поверхности, например бумаги | |
| CN115598105A (zh) | 拉曼检测的对焦方法及对焦系统 | |
| SU126300A1 (ru) | Фотоэлектрический прибор дл седиментометрического анализа суспензий |