CN115598105A - 拉曼检测的对焦方法及对焦系统 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及检测技术领域,具体提供一种拉曼检测的对焦方法及对焦系统。其中,所述拉曼检测的对焦方法包括:获取基准时间间隔;提供测试样品进行拉曼检测,激光器发射激光至所述测试样品后产生第二拉曼散射光,所述第二拉曼散射光被图像传感器接收;获取所述激光器发射激光至所述图像传感器接收所述第二拉曼散射光的时间间隔,并以该时间间隔作为测试时间间隔;根据所述测试时间间隔与所述基准时间间隔的关系对物镜进行对焦。本发明拉曼检测的对焦方法节省操作时间,提高对焦精准度。
Description
技术领域
本发明涉及检测技术领域,具体涉及一种拉曼检测的对焦方法及对焦系统。
背景技术
拉曼光谱是一种光的散射现象,光在传播的过程中光会在不同的物质上发生散射,波长越短的光散射现象越明显。光的波长不仅决定了光的颜色还决定了光的能量。波长短的光能量大,波长长的光能量小。当光发生散射时,光的波长也就是光的能量有可能会发生改变。如果光子散射以后没有丢失能量,也就是光子的波长没有改变,这种散射叫做瑞利散射或者弹性散射;如果光子散射以后丢失了部分能量,这种散射叫做拉曼散射或者非弹性散射。
观测拉曼散射需要四个主要的部件包括:激光器、瑞利滤光片、摄谱仪、CCD(电荷耦合器件)。观测拉曼散射的原理是:把激光器的激光聚焦到样品上,可以让大量的能量波长都相同的光子和样品发生作用,其中有一小部分的散射会是拉曼散射。然后通过瑞利滤光片过滤,让波长变长的拉曼散射光通过,同时挡住那些波长没有改变的瑞利散射光,这样就只剩下了拉曼散射光。之后摄谱仪把不同波长的光分开,根据光的波长把光分散到不同的角度上,最后拉曼散射的光子照射到CCD上的不同位置。根据光在CCD上的位置能够知道拉曼散射的波长,同时也可以知道拉曼散射的光子数量,光子数量越多,在CCD上的光点就越亮。CCD上探测到的发光强度也就越高。因此从CCD拍到的照片可以分析拉曼散射的情况。
目前,在拉曼信号采集的过程中调整物镜的方式多为手动对焦,手动对焦的方式极其花费时间,且对焦不够准确,尤其在测量透明的薄膜时容易出现对焦错误,容易人为的将物镜聚焦在玻璃表面而非薄膜样品表面。目前也出现采用摄像头通过位置图形算法进行自动对焦的方式,但是,图像识别对焦的方式需要复杂的算法调试,应用存在一定局限性。对焦慢且不准确,会导致拉曼信号采集的速度慢,影响测试效率。
可见,现有的拉曼检测的对焦方法亟需改进,以实现简单快速的操作,并提高对焦精准度。
发明内容
因此,本发明要解决的技术问题在于克服现有拉曼检测在对焦时花费时间长、精准度低或者需要复杂的算法调试的缺陷,进而提供一种拉曼检测的对焦方法及对焦系统。
本发明提供一种拉曼检测的对焦方法,包括:获取基准时间间隔;提供测试样品进行拉曼检测,激光器发射激光至所述测试样品后产生第二拉曼散射光,所述第二拉曼散射光被图像传感器接收;获取所述激光器发射激光至所述图像传感器接收所述第二拉曼散射光的时间间隔,并以该时间间隔作为测试时间间隔;根据所述测试时间间隔与所述基准时间间隔的关系对物镜进行对焦。
可选的,获取基准时间间隔的步骤包括:提供基准样品,将所述基准样品调整至所述物镜的焦点处,使所述激光器发射激光至所述基准样品后产生第一拉曼散射光,所述第一拉曼散射光被所述图像传感器接收;获取从所述激光器发射激光至所述图像传感器接收所述第一拉曼散射光的时间间隔,并以该时间间隔作为基准时间间隔。
可选的,使所述激光器发射激光至所述基准样品后还产生第一瑞利散射光;采用瑞利滤光片阻挡所述第一瑞利散射光且使所述第一拉曼散射光通过;获取基准时间间隔的步骤还包括:采用摄谱仪对通过所述瑞利滤光片的不同波长的所述第一拉曼散射光以不同角度进行折射,经过折射后的所述第一拉曼散射光到达所述图像传感器的不同位置并被接收。
可选的,使所述激光器发射激光至所述测试样品后还产生第二瑞利散射光,采用瑞利滤光片阻挡所述第二瑞利散射光且使所述第二拉曼散射光通过;获取发射激光至所述图像传感器接收所述第二拉曼散射光的时间间隔的步骤还包括:采用摄谱仪对通过所述瑞利滤光片的不同波长的所述第二拉曼散射光以不同角度进行折射,经过折射后的所述第二拉曼散射光到达所述图像传感器的不同位置并被接收。
可选的,根据所述测试时间间隔与所述基准时间间隔的关系对物镜进行对焦包括:若所述测试时间间隔大于所述基准时间间隔,则判定所述物镜距离所述测试样品的距离大于焦距,沿着朝向所述测试样品的方向移动所述物镜,直至所述测试时间间隔等于所述基准时间间隔;若所述测试时间间隔小于所述基准时间间隔,则判定所述物镜距离所述测试样品的距离小于焦距,沿着背离所述测试样品的方向移动所述物镜,直至所述测试时间间隔等于所述基准时间间隔;若所述测试时间间隔等于所述基准时间间隔,则判定所述物镜距离所述测试样品的距离等于焦距,无需移动。
本发明还提供一种拉曼检测的对焦系统,包括:拉曼光谱仪,所述拉曼光谱仪包括物镜、激光器和图像传感器;时间间隔获取单元,所述时间间隔获取单元适于记录从所述激光器发射激光开始,激光到达测试样品后产生第二拉曼散射光,所述图像传感器接收到所述第二拉曼散射光为止的时间间隔,为获取测试时间间隔;控制单元,所述控制单元适于根据所述测试时间间隔与基准时间间隔的关系产生控制信号;执行单元,所述执行单元适于根据所述控制单元的控制信号对物镜进行对焦。
可选的,所述时间间隔获取单元还适于记录从所述激光器发射激光开始,到激光到达基准样品后产生第一拉曼散射光,所述图像传感器接收到所述第一拉曼散射光为止的时间间隔,以获取所述基准时间间隔。
可选的,所述拉曼光谱仪还包括:瑞利滤光片,所述瑞利滤光片位于所述物镜的焦点至所述图像传感器之间的光路中,所述瑞利滤光片适于阻挡发射至所述瑞利滤光片的瑞利散射光且通过发射至所述瑞利滤光片的拉曼散射光。
可选的,所述拉曼光谱仪还包括:摄谱仪,所述摄谱仪位于所述瑞利滤光片和所述图像传感器之间的光路之间,所述摄谱仪适于将通过所述瑞利滤光片的不同波长的拉曼散射光以不同角度进行折射,经过折射后的拉曼散射光到达所述图像传感器的不同位置并被接收。
可选的,所述执行单元根据所述控制单元的控制信号对物镜进行对焦包括:若所述测试时间间隔大于所述基准时间间隔,则判定所述物镜距离所述测试样品的距离大于焦距,沿着朝向所述测试样品的方向移动所述物镜,直至所述测试时间间隔等于所述基准时间间隔;若所述测试时间间隔小于所述基准时间间隔,则判定所述物镜距离所述测试样品的距离小于焦距,沿着背离所述测试样品的方向移动所述物镜,直至所述测试时间间隔等于所述基准时间间隔;若所述测试时间间隔等于所述基准时间间隔,则判定所述物镜距离所述测试样品的距离等于焦距,无需移动。
本发明技术方案,具有如下优点:
本发明的拉曼检测的对焦方法,包括:获取基准时间间隔;提供测试样品进行拉曼检测,激光器发射激光至所述测试样品后产生第二拉曼散射光,所述第二拉曼散射光被所述图像传感器接收;获取所述激光器发射激光至所述图像传感器接收所述第二拉曼散射光的时间间隔,并以该时间间隔作为测试时间间隔;根据所述测试时间间隔与所述基准时间间隔的关系进行对焦。本发明拉曼检测的对焦方法相比于人工对焦方式节省操作时间,提高对焦精准度,无需复杂的算法调试,通过简单的工作原理实现拉曼检测的自动对焦。
本发明的拉曼检测的对焦系统,所述时间间隔获取单元适于记录从所述激光器发射激光开始,激光到达测试样品后产生第二拉曼散射光,所述图像传感器接收到所述第二拉曼散射光为止的时间间隔,为获取测试时间间隔,所述控制单元根据所述测试时间间隔与基准时间间隔的关系产生控制信号,利用该测试时间间隔与距离的等效关系,利用所述执行单元根据所述控制单元的控制信号对物镜进行对焦,实现对焦点位置的判断,加之控制单元驱动物镜,即可达到在拉曼检测时自动对焦的目的。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本发明的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例1的拉曼检测的对焦方法的流程示意图,
图2为本发明实施例2的拉曼检测的对焦系统的结构示意图。
附图标识:
1-激光器;2-干涉滤光片;3-功率衰减片;4-瑞利滤光片;5-物镜;6-样品;7-共聚焦针孔;8-狭缝;9-摄谱仪;10-图像传感器。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
此外,下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
本申请的技术构思在于:从激光器发射激光到CCD收集到拉曼信号的时间,其实是跟物镜到样品的距离相关的,物镜距离样品越近,CCD收集到的拉曼信号的时间越短;物镜距离样品越远,CCD收集到的拉曼信号的时间越长。基于这样的一个规律,发明人发现物镜到样品的距离和收集到的拉曼信号的时间长短其实是成比例对应的,这样在样品对焦的时候就不用再手动调整镜头来对焦。
实施例1
本实施例提供一种拉曼检测的对焦方法,如图1所示,包括如下步骤:
步骤S1:获取基准时间间隔;
步骤S2:提供测试样品进行拉曼检测,激光器发射激光至所述测试样品后产生第二拉曼散射光,所述第二拉曼散射光被图像传感器接收;
步骤S3:获取所述激光器发射激光至所述图像传感器接收所述第二拉曼散射光的时间间隔,并以该时间间隔作为测试时间间隔;
步骤S4:根据所述测试时间间隔与所述基准时间间隔的关系对物镜进行对焦。
本实施例提供的拉曼检测的对焦方法相比于人工对焦方式节省操作时间,提高对焦精准度,无需复杂的算法调试,通过简单的工作原理实现拉曼检测的自动对焦。
本实施例中,所述激光器发射激光至所述基准样品后同时产生第一瑞利散射光和第一拉曼散射光,所述激光器发射激光至所述测试样品后同时产生第二瑞利散射光和第二拉曼散射光。所述拉曼检测的对焦方法还包括:提供瑞利滤光片,所述瑞利滤光片位于所述物镜的焦点至所述图像传感器之间的光路中。当激光照射在所述基准样品之后到达所述瑞利滤光片处时,由于瑞利滤光片具有选择透过性,所述瑞利滤光片阻挡所述第一瑞利散射光且使所述第一拉曼散射光通过;当激光照射在所述测试样品之后到达所述瑞利滤光片处时,由于瑞利滤光片具有选择透过性,所述瑞利滤光片阻挡所述第二瑞利散射光且使所述第二拉曼散射光通过。
具体的,在步骤S1中获取基准时间间隔的步骤包括:提供基准样品,将所述基准样品调整至所述物镜的焦点处,使得所述激光器发射激光至所述基准样品后产生第一拉曼散射光,所述第一拉曼散射光被所述图像传感器接收;获取从所述激光器发射激光至所述图像传感器接收所述第一拉曼散射光的时间间隔,并以该时间间隔作为基准时间间隔。
在一个实施例中,使所述激光器发射激光至所述测试样品后还产生第二瑞利散射光,采用瑞利滤光片阻挡所述第二瑞利散射光且使所述第二拉曼散射光通过;获取发射激光至所述图像传感器接收所述第二拉曼散射光的时间间隔的步骤还包括:采用摄谱仪对通过所述瑞利滤光片的不同波长的所述第二拉曼散射光以不同角度进行折射,经过折射后的所述第二拉曼散射光到达所述图像传感器的不同位置并被接收。
具体的,在步骤S4中根据所述测试时间间隔与所述基准时间间隔的关系对物镜进行对焦包括:若所述测试时间间隔大于所述基准时间间隔,则判定所述物镜距离所述测试样品的距离大于焦距,沿着朝向所述测试样品的方向移动所述物镜,直至所述测试时间间隔等于所述基准时间间隔;若所述测试时间间隔小于所述基准时间间隔,则判定所述物镜距离所述测试样品的距离小于焦距,沿着背离所述测试样品的方向移动所述物镜,直至所述测试时间间隔等于所述基准时间间隔;若所述测试时间间隔等于所述基准时间间隔,则判定所述物镜距离所述测试样品的距离等于焦距,无需移动。
在一个实施例中,所述的拉曼检测的对焦方法还包括:提供控制单元,所述控制单元适于根据所述测试时间间隔与所述基准时间间隔的关系驱动所述物镜进行移动。最终实现自动化对焦依靠控制单元根据判定处理结果进行动作。在一个实施例中,使所述激光器发射激光至所述基准样品后还产生第一瑞利散射光;采用瑞利滤光片阻挡所述第一瑞利散射光且使所述第一拉曼散射光通过;获取基准时间间隔的步骤还包括:采用摄谱仪对通过所述瑞利滤光片的不同波长的所述第一拉曼散射光以不同角度进行折射,经过折射后的所述第一拉曼散射光到达所述图像传感器的不同位置并被接收。
本实施例中,所述的拉曼检测的对焦方法还包括:提供摄谱仪,所述摄谱仪位于所述瑞利滤光片和所述图像传感器之间的光路之间,其效果类似于三棱镜,不同波长的光会被导向不同的角度,对通过所述瑞利滤光片的不同波长的所述第一拉曼散射光以不同角度进行折射,经过折射后的所述第一拉曼散射光到达所述图像传感器的不同位置并被接收,在所述图像传感器上形成照片;所述摄谱仪对通过所述瑞利滤光片的不同波长的所述第二拉曼散射光以不同角度进行折射,经过折射后的所述第二拉曼散射光到达所述图像传感器的不同位置并被接收,在所述图像传感器上形成照片。从图像传感器拍到的照片可以分析拉曼散射的情况,例如根据光在图像传感器上的位置能够知道拉曼散射的波长,同时也可以知道拉曼散射的光子数量,光子数量越多,在图像传感器上的光点就越亮,图像传感器上探测到的发光强度也就越高。
实施例2
本实施例提供一种拉曼检测的对焦系统,包括:拉曼光谱仪,所述拉曼光谱仪包括物镜、激光器和图像传感器;时间间隔获取单元,所述时间间隔获取单元适于记录从所述激光器发射激光开始,激光到达测试样品后产生第二拉曼散射光,所述图像传感器接收到所述第二拉曼散射光为止的时间间隔,为获取测试时间间隔;控制单元,所述控制单元适于根据所述测试时间间隔与基准时间间隔的关系产生控制信号;执行单元,所述执行单元适于根据所述控制单元的控制信号对物镜进行对焦。
本实施例的拉曼检测的对焦系统,所述时间间隔获取单元适于记录从所述激光器发射激光开始,激光到达测试样品后产生第二拉曼散射光,所述图像传感器接收到所述第二拉曼散射光为止的时间间隔,为获取测试时间间隔,所述控制单元根据所述测试时间间隔与基准时间间隔的关系产生控制信号,利用该测试时间间隔与距离的等效关系,利用所述执行单元根据所述控制单元的控制信号对物镜进行对焦,实现对焦点位置的判断,加之控制单元驱动物镜,即可达到在拉曼检测时自动对焦的目的。
所述图像传感器可以是CCD传感器或者CMOS(全称:Complementary Metal OxideSemiconductor,中文:互补金属氧化物半导体)传感器,但由于CMOS传感器的每个象素都比CCD传感器复杂,其象素尺寸很难达到CCD传感器的水平,因此,当在比较相同尺寸的CCD与CMOS传感器时,CCD传感器的分辨率通常会优于CMOS传感器的水平。
本实施例中,所述拉曼光谱仪还包括:瑞利滤光片,所述瑞利滤光片位于所述物镜的焦点至所述图像传感器之间的光路中,所述瑞利滤光片适于阻挡发射至所述瑞利滤光片的瑞利散射光且通过发射至所述瑞利滤光片的拉曼散射光。
本实施例中,所述拉曼光谱仪还包括:摄谱仪,所述摄谱仪位于所述瑞利滤光片和所述图像传感器之间的光路之间,所述摄谱仪适于将通过所述瑞利滤光片的不同波长的拉曼散射光以不同角度进行折射,经过折射后的拉曼散射光到达所述图像传感器的不同位置并被接收。
在一个实施例中,示例性的,参考图2,所述拉曼光谱仪还包括:干涉滤光片2、功率衰减片3,激光器1发出的激光通过干涉滤光片2、功率衰减片3后,经若干反射镜反射后到达物镜5,物镜5将激光聚焦在样品6上,使得大量能量波长都相同的光子和样品6发生作用发生瑞利散射和拉曼散射。瑞利滤光片4可以让波长变长的拉曼散射光通过,同时挡住波长没有改变的瑞利散射光。拉曼散射光通过共聚焦针孔7和狭缝8后,由摄谱仪9把不同波长的光导向不同的角度,最后这些拉曼散射的光子落在图像传感器10的不同位置上。
本发明提供的拉曼检测的对焦方法及其对焦系统,基于检测到的拉曼信号的时间长短来调节焦距,可以实现自动高效准确对焦,省去中间测试人员手动再调节的环节,实现直接自动化,减少在调节过程中人为引入的误差,使得测试过程更快速准确甚至一键测量,保证测试精准高效。
显然,上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例,而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。
Claims (10)
1.一种拉曼检测的对焦方法,其特征在于,包括:
获取基准时间间隔;
提供测试样品进行拉曼检测,激光器发射激光至所述测试样品后产生第二拉曼散射光,所述第二拉曼散射光被图像传感器接收;
获取所述激光器发射激光至所述图像传感器接收所述第二拉曼散射光的时间间隔,并以该时间间隔作为测试时间间隔;
根据所述测试时间间隔与所述基准时间间隔的关系对物镜进行对焦。
2.根据权利要求1所述的拉曼检测的对焦方法,其特征在于,获取基准时间间隔的步骤包括:
提供基准样品,将所述基准样品调整至所述物镜的焦点处,使所述激光器发射激光至所述基准样品后产生第一拉曼散射光,所述第一拉曼散射光被所述图像传感器接收;
获取从所述激光器发射激光至所述图像传感器接收所述第一拉曼散射光的时间间隔,并以该时间间隔作为基准时间间隔。
3.根据权利要求2所述的拉曼检测的对焦方法,其特征在于,使所述激光器发射激光至所述基准样品后还产生第一瑞利散射光;
采用瑞利滤光片阻挡所述第一瑞利散射光且使所述第一拉曼散射光通过;
获取基准时间间隔的步骤还包括:采用摄谱仪对通过所述瑞利滤光片的不同波长的所述第一拉曼散射光以不同角度进行折射,经过折射后的所述第一拉曼散射光到达所述图像传感器的不同位置并被接收。
4.根据权利要求1所述的拉曼检测的对焦方法,其特征在于,使所述激光器发射激光至所述测试样品后还产生第二瑞利散射光,采用瑞利滤光片阻挡所述第二瑞利散射光且使所述第二拉曼散射光通过;
获取发射激光至所述图像传感器接收所述第二拉曼散射光的时间间隔的步骤还包括:采用摄谱仪对通过所述瑞利滤光片的不同波长的所述第二拉曼散射光以不同角度进行折射,经过折射后的所述第二拉曼散射光到达所述图像传感器的不同位置并被接收。
5.权利要求1-4任一项所述的拉曼检测的对焦方法,其特征在于,根据所述测试时间间隔与所述基准时间间隔的关系对物镜进行对焦包括:
若所述测试时间间隔大于所述基准时间间隔,则判定所述物镜距离所述测试样品的距离大于焦距,沿着朝向所述测试样品的方向移动所述物镜,直至所述测试时间间隔等于所述基准时间间隔;
若所述测试时间间隔小于所述基准时间间隔,则判定所述物镜距离所述测试样品的距离小于焦距,沿着背离所述测试样品的方向移动所述物镜,直至所述测试时间间隔等于所述基准时间间隔;
若所述测试时间间隔等于所述基准时间间隔,则判定所述物镜距离所述测试样品的距离等于焦距,无需移动。
6.一种拉曼检测的对焦系统,其特征在于,包括:
拉曼光谱仪,所述拉曼光谱仪包括物镜、激光器和图像传感器;
时间间隔获取单元,所述时间间隔获取单元适于记录从所述激光器发射激光开始,激光到达测试样品后产生第二拉曼散射光,所述图像传感器接收到所述第二拉曼散射光为止的时间间隔,为获取测试时间间隔;
控制单元,所述控制单元适于根据所述测试时间间隔与基准时间间隔的关系产生控制信号;
执行单元,所述执行单元适于根据所述控制单元的控制信号对所述物镜进行对焦。
7.根据权利要求6所述的拉曼检测的对焦系统,其特征在于,所述时间间隔获取单元还适于记录从所述激光器发射激光开始,到激光到达基准样品后产生第一拉曼散射光,所述图像传感器接收到所述第一拉曼散射光为止的时间间隔,以获取所述基准时间间隔。
8.根据权利要求7所述的拉曼检测的对焦系统,其特征在于,所述拉曼光谱仪还包括:瑞利滤光片,所述瑞利滤光片位于所述物镜的焦点至所述图像传感器之间的光路中,所述瑞利滤光片适于阻挡发射至所述瑞利滤光片的瑞利散射光且通过发射至所述瑞利滤光片的拉曼散射光。
9.根据权利要求8所述的拉曼检测的对焦系统,其特征在于,所述拉曼光谱仪还包括:摄谱仪,所述摄谱仪位于所述瑞利滤光片和所述图像传感器之间的光路之间,所述摄谱仪适于将通过所述瑞利滤光片的不同波长的拉曼散射光以不同角度进行折射,经过折射后的拉曼散射光到达所述图像传感器的不同位置并被接收。
10.根据权利要求6-9任一项所述的拉曼检测的对焦系统,其特征在于,所述执行单元根据所述控制单元的控制信号对物镜进行对焦包括:
若所述测试时间间隔大于所述基准时间间隔,则判定所述物镜距离所述测试样品的距离大于焦距,沿着朝向所述测试样品的方向移动所述物镜,直至所述测试时间间隔等于所述基准时间间隔;
若所述测试时间间隔小于所述基准时间间隔,则判定所述物镜距离所述测试样品的距离小于焦距,沿着背离所述测试样品的方向移动所述物镜,直至所述测试时间间隔等于所述基准时间间隔;
若所述测试时间间隔等于所述基准时间间隔,则判定所述物镜距离所述测试样品的距离等于焦距,无需移动。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106442467A (zh) * | 2016-10-31 | 2017-02-22 | 北京信息科技大学 | 空间自调焦激光共焦成像拉曼光谱探测方法与装置 |
CN106483114A (zh) * | 2015-08-31 | 2017-03-08 | 杜晨光 | 一种可见光辅助对焦的便携式拉曼光谱仪 |
CN211179538U (zh) * | 2019-11-28 | 2020-08-04 | 深圳市新阳唯康科技有限公司 | 一种用于拉曼光谱仪的对焦平台装置 |
CN113466209A (zh) * | 2021-07-21 | 2021-10-01 | 东莞市中科原子精密制造科技有限公司 | 一种远程变焦紫外拉曼与荧光光谱探测模组及光谱仪 |
CN113984204A (zh) * | 2021-10-27 | 2022-01-28 | 北京华泰诺安探测技术有限公司 | 一种拉曼光谱仪附件和拉曼光谱仪 |
KR102359863B1 (ko) * | 2021-12-22 | 2022-02-09 | 나노스코프시스템즈 주식회사 | 자동 초점거리 조절 라만 분광기 및 상기 라만 분광기를 이용한 측정방법 |
-
2022
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106483114A (zh) * | 2015-08-31 | 2017-03-08 | 杜晨光 | 一种可见光辅助对焦的便携式拉曼光谱仪 |
CN106442467A (zh) * | 2016-10-31 | 2017-02-22 | 北京信息科技大学 | 空间自调焦激光共焦成像拉曼光谱探测方法与装置 |
CN211179538U (zh) * | 2019-11-28 | 2020-08-04 | 深圳市新阳唯康科技有限公司 | 一种用于拉曼光谱仪的对焦平台装置 |
CN113466209A (zh) * | 2021-07-21 | 2021-10-01 | 东莞市中科原子精密制造科技有限公司 | 一种远程变焦紫外拉曼与荧光光谱探测模组及光谱仪 |
CN113984204A (zh) * | 2021-10-27 | 2022-01-28 | 北京华泰诺安探测技术有限公司 | 一种拉曼光谱仪附件和拉曼光谱仪 |
KR102359863B1 (ko) * | 2021-12-22 | 2022-02-09 | 나노스코프시스템즈 주식회사 | 자동 초점거리 조절 라만 분광기 및 상기 라만 분광기를 이용한 측정방법 |
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