SU1339100A1 - Раствор дл обработки изделий из стекла и кварца - Google Patents

Раствор дл обработки изделий из стекла и кварца Download PDF

Info

Publication number
SU1339100A1
SU1339100A1 SU853945360A SU3945360A SU1339100A1 SU 1339100 A1 SU1339100 A1 SU 1339100A1 SU 853945360 A SU853945360 A SU 853945360A SU 3945360 A SU3945360 A SU 3945360A SU 1339100 A1 SU1339100 A1 SU 1339100A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
quartz
glass
acid
solution
treatment
Prior art date
Application number
SU853945360A
Other languages
English (en)
Inventor
Элла Ивановна Пелихова
Инна Николаевна Аржаникова
Original Assignee
Московский авиационный технологический институт им.К.Э.Циолковского
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Московский авиационный технологический институт им.К.Э.Циолковского filed Critical Московский авиационный технологический институт им.К.Э.Циолковского
Priority to SU853945360A priority Critical patent/SU1339100A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1339100A1 publication Critical patent/SU1339100A1/ru

Links

Landscapes

  • Surface Treatment Of Glass (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к электронике и -радиотехнике дл  очистки подложек из кварца и стекла перед нанесением различных видов покрытий и может быть использовано в производстве СВЧ-микрозлектронных устройств и фотошаблонов. С целью очистки полированных изделий раствор дл  обработки изделий включает, г/л; фтористоводородную кислоту 10-20; аммоний фтористый кислый 3-5; уксусную кислоту 1-2; изопропиловый спирт 200-250; краситель метилеиовый голубой 0,001-0,01; вода - остальное. Обработку ведут в течение 1-4 мин, при этом класс чистоты поверхности изделий из стекла и кварца сохран етс . г (Л со 00 со

Description

10
Изобретение относитс  к алектро- нике и радиотехнике дл  очистки подложек из кварца и стекла перед нанесением различных видов покрытий и может быть использовано в производстве СВЧ- микроэлектронных устройств и фотошаблонов .
Целью изобретени   вл етс  очистка полированных изделий.
Фтористоводородна  кислота 10- 20 г/л и аммоний фтористый кислый 3-5 г/л, вз тые в таких соотношени х придают активные свойства поверхности стекла и кварца с поддержанием буферных свойств раствора, т.е. поддержание заданного рН в определенных пределах рН , 3-1,8, что обеспечива-- ет растворение окислов и неорганических загр знений.
Добавка изопропилового спирта в количестве 200-250 rln служит дл  растворени  органических загр знений , и см гчени  трав щего действи  фтористоводородной кислоты и ее соли - ам- 7ь 0,025 мкм (v 13); после обработки мони  фтористого кислого, т.е. сох- 0,025 мкм (у 13).
20
поверхностей в дистиллированной во де. При качественной очистке подлож полностью смачиваетс  дистиллирова ной водой.
Пример 1. Состав ингредие тов, г/л:
Кислота фтористоводородна 
Аммоний фтористый
кислый
Спирт изопропиловый
Кислота уксусна 
Краситель метиленовый голубой
Вода
Дл  стекл нных подложек врем  о работки 2 мин при Т 18-25 С. Шерох ватость поверхности до обработки 0,1 мкм (v 11); после обработки 0,1 мкм ( ч 11).
Дл  кварцевых подложек врем  об ботки 3 мин при Т 18-25°С. Шерохов тость поверхности до обработки
15
4
225 1,5
0,005 754,495
ранени  микрорельефа поверхности подложки без его изменени  по отношению к исходному состо нию (кварца у 13, стеклаvl1),
Уксусна  кислота в количестве 1/2 г/л в сочетании с красителем метиленовым голубым в количестве 0,001-0,01 г/л придает активные свойства поверхности стекла и кварца. с обеспечением адгезионных свойств поверхности к последуюидам металлическим покрыти м, наносимых например, при изготовлении металлизированных фотошаблонов и ьткросхем.
Раствор готовитс  последовательным растворением в 0,5-0,6 л воды фтористоводородной кислоты, аммони  фтористого кислог О, спирта изопропилового и красител  метиленового голубог о и только потом уксусной кислоты с последующим добавлением воды до 1 л,
Цвет полученного раствора светло- голубой. Подложки погружают в раствор при комнатно температуре 18- 25 с , выдердашают в нем в пределах 1-4 мин в зависимогти от материала подложки,
Затем промывают сначала в гор чп воде в течение 3 мпн, попом в холодной дистил:1ирот ап;ии | иоле в течение 1-2 мип Knii ipc Tb к.;1че(:тва ()чщ-т1:и
провод т С ((.М. ИИ (;--.,М МО(--1-И
0
7ь 0,025 мкм (v 13); после обработки 0,025 мкм (у 13).
Ь
0
поверхностей в дистиллированной воде . При качественной очистке подложка полностью смачиваетс  дистиллированной водой.
Пример 1. Состав ингредиентов , г/л:
Кислота фтористоводородна 
Аммоний фтористый
кислый
Спирт изопропиловый
Кислота уксусна 
Краситель метиленовый голубой
Вода
Дл  стекл нных подложек врем  обработки 2 мин при Т 18-25 С. Шероховатость поверхности до обработки 0,1 мкм (v 11); после обработки 0,1 мкм ( ч 11).
Дл  кварцевых подложек врем  обработки 3 мин при Т 18-25°С. Шероховатость поверхности до обработки
15
4
225 1,5
0,005 754,495
0
5
Г)
0
Пример 2„ Состав ингредиентов , г/л:
Кислота фтористоводородна 1 О Аммоний фтористый кислый3 Спирт изопропиловый 200 Кислота уксусна  1 Краситель метилено- вый голубой 0,001 Вода 785,999 Дл  стекл нных подложек врем  обработки 3 мин при Т 18-25 С. Шероховатость поверхности до обработки 0,1 мкм ( ll)j после обработки
О, 1 мкм ( 17 1 1 ) .
Дл  кварцевых подложек врем  обработки 4 мин при Т 18-25 С. Шероховатость поверхности до обработки 0,02 мкм (vl3); после обработки 0,02 мкм (V 13).
Пример 3, Состав и)1гредиен- тов, г/л:
Кислота фтористоводородна 20 Аммоний фторис1Ъ1Й кислый5 Спирт изопропиловый 250 Кислота уксус- 1К1Я 2
Краситель метиленовый голубой0,01
Вода722,99
Дл  стекл нных подложек врем  обработки 1 мин при Т 18-25 С. Шерохо- ватость поверхности до обработки О,1 мкм (v 1 I ; после обработки О,I мкм ( V 1 11„
Дл  кварцевых подложек врем  обработки 1,5 мин, при Т 18-25 С. Шерохо ватость поверхности до обработки 0,024 мкм (v 13 ); после обработки 0,025 мкм (vl3 ),
Пример А (известный ) дл  прототипа. Состав ингредиентов, г/л: Кислота фтористоводородна 21 ,8 Кислота уксусна  28 Аммоний фторис- тый кислый 18 Вода 32,2 Врем  обработки 3 мин при 25°С, Шероховатость поверхности стекла до обработки О,I мкм; после обработки 5,2 мкм„
Шероховатость поверхности кварца до обработки 0,02 мкм; после обработки 3,0 мкм.
Врем  обработки 30 мин при 2 5 С,.,
Раствор дл  обработки изделий из стекла и кварца, включающий фтори 30 товодородную кислоту, аммоний фтори тый кислый, уксусную кислоту и воду отличающийс  тем, что, целью очистки полированных изделий, он дополнительно содержит изопропиШероховатость поверхности кварца до обработки 0,02 мкм; после обработки 31 мкм о
Шероховатость поверхности стёкла 35 - ™Р краситель метиленовый до обработки 0,1 мкм; после обработ-голубой при следующем соотношении
ки 32 мкм о
Использование предлагаемого раствора исключает нарушение исходного
40
компонентов, г/л: Фтористоводородна  кислота
10-20
микрорельефа,, В примерах 1 - 3 шероховатость поверхности дл  стекла до обработки О,1 мкм ( 7 II); после обработки О,1 мкм ( v II); дл  кварца до обработки 0,02 мкм (у 13); после обработки 0,02 мкм ( V 13);
В примере 4 при травлении шероховатость поверхности сильно увелиАммоний фтористый кислый Уксусна  кислота Изопропиловый спирт
Краситель метиле- иовый голубой Вода
3-5 1-2
200-250
0,001-0,01 Остальное
Редактор Г.Волкова
Составитель О.Самохина Техред м. Ходанич
Заказ 4182/16 Тираж 427Подписное
ВНИНПИ Государственного комитета СССР
по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Д-35, Раушска  наб., д.А/5
Ирой ЯРО пет венио-полиграфическое предпри тие, г.Ужгород, ул .Прогч-- ти,1ч
391004
чиваетс  - до 3,5 и 30 мкм в зависимости от времени обработки 3 - 30 мии.
Предлагаемый раствор по сравнению с известным сохран ет класс чистоты поверхности i стекла и кварца, что необходимо дл  изготовлени  фотошаблонов и микросхемэ
При этом исключены операции предварительного обезжиривани  в органических растворител х и моющих составах при высокой температуре, что ведет к снижению трудоемкости.
Кроме того, предлагаемый раствор эффективно очищает при комнатной температуре, что дополнительно ведет к снижению энергозатрат.
Предлагаемый раствор стабилен, многоразового действи , регенерируетс  простым фильтрованием, что предусматривает его корректировку только на убыль состава

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Раствор дл  обработки изделий из стекла и кварца, включающий фторис- товодородную кислоту, аммоний фтористый кислый, уксусную кислоту и воду, отличающийс  тем, что, с целью очистки полированных изделий, он дополнительно содержит изопропи - ™Р краситель метилено голубой при следующем соотношени
    компонентов, г/л: Фтористоводородна  кислота
    10-20
    3-5 1-2
    200-250
    0,001-0,01 Остальное
    Корректор В.Бут га
SU853945360A 1985-08-21 1985-08-21 Раствор дл обработки изделий из стекла и кварца SU1339100A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU853945360A SU1339100A1 (ru) 1985-08-21 1985-08-21 Раствор дл обработки изделий из стекла и кварца

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU853945360A SU1339100A1 (ru) 1985-08-21 1985-08-21 Раствор дл обработки изделий из стекла и кварца

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1339100A1 true SU1339100A1 (ru) 1987-09-23

Family

ID=21194603

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU853945360A SU1339100A1 (ru) 1985-08-21 1985-08-21 Раствор дл обработки изделий из стекла и кварца

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1339100A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110510886A (zh) * 2019-09-18 2019-11-29 沈阳汉科半导体材料有限公司 石英表面化学粗糙处理方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110510886A (zh) * 2019-09-18 2019-11-29 沈阳汉科半导体材料有限公司 石英表面化学粗糙处理方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4628726B2 (ja) アルミニウム部材及びその製造方法と製造用薬剤
US4116714A (en) Post-polishing semiconductor surface cleaning process
BR9206700A (pt) Composição de matéria líquida aquosa e processo para a formação de um revestimento de conversão de fosfato sobre uma superfície de metal ativo
DK0938457T3 (da) Fremgangsmåde til fremstilling af materialer med højtemperatur- og UV-stabile, transparente, farvede belægninger, belægningssammensætning samt anvendelse
US20100297393A1 (en) Method for surface frosting of glass product
SU1339100A1 (ru) Раствор дл обработки изделий из стекла и кварца
JPS60255986A (ja) 鉄系素地処理用組成物及び方法
JPS62103373A (ja) 鉄鋼材の防錆処理方法
KR900000509A (ko) 알루미늄 및 알루미늄 알로이상에 양극 처리된 산화물층을 콤팩트하는 방법
US3625737A (en) Protective coating and method of making
US5476552A (en) Surface preparation for bonding titanium
US2976169A (en) Immersion deposition of tin
EP0635567A2 (en) Method and composition for facilitating the removal of soil contaminants from solid surfaces
CN102337573A (zh) 一种铝合金喷玻璃珠粉尘清洗剂及其去尘方法
ATE8512T1 (de) Reinigung von oberflaechen aus anodisch oxidiertem aluminium und dessen legierungen.
JP2002180264A (ja) 緑青色斑点模様の銅板及びその処理方法
JPH02305973A (ja) 燐酸塩皮膜処理用の組成物及び処理方法
JP3313333B2 (ja) 既設外装ガラス表面の汚染除去用水性組成物
BR9306357A (pt) Processo de limpeza de superfícies de alumínio e composição reabastecedora para abaixar o ph da solução de lavagem no estágio de pré-limpeza de um processo de lavagem
SU1328364A1 (ru) Травильный раствор
JPS6314038B2 (ru)
SU1685883A1 (ru) Способ обработки стеклоизделий
KR940001497B1 (ko) 칼라 브라운관용 판넬의 세정 또는 살베지 방법
CN110318064A (zh) 环保型金属表面光亮清洗剂
CA2237584A1 (en) Surface treatment solution and method of application