SU1339100A1 - Раствор дл обработки изделий из стекла и кварца - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к электронике и -радиотехнике дл  очистки подложек из кварца и стекла перед нанесением различных видов покрытий и может быть использовано в производстве СВЧ-микрозлектронных устройств и фотошаблонов. С целью очистки полированных изделий раствор дл  обработки изделий включает, г/л; фтористоводородную кислоту 10-20; аммоний фтористый кислый 3-5; уксусную кислоту 1-2; изопропиловый спирт 200-250; краситель метилеиовый голубой 0,001-0,01; вода - остальное. Обработку ведут в течение 1-4 мин, при этом класс чистоты поверхности изделий из стекла и кварца сохран етс . г (Л со 00 со

Description

10

Изобретение относитс  к алектро- нике и радиотехнике дл  очистки подложек из кварца и стекла перед нанесением различных видов покрытий и может быть использовано в производстве СВЧ- микроэлектронных устройств и фотошаблонов .

Целью изобретени   вл етс  очистка полированных изделий.

Фтористоводородна  кислота 10- 20 г/л и аммоний фтористый кислый 3-5 г/л, вз тые в таких соотношени х придают активные свойства поверхности стекла и кварца с поддержанием буферных свойств раствора, т.е. поддержание заданного рН в определенных пределах рН , 3-1,8, что обеспечива-- ет растворение окислов и неорганических загр знений.

Добавка изопропилового спирта в количестве 200-250 rln служит дл  растворени  органических загр знений , и см гчени  трав щего действи  фтористоводородной кислоты и ее соли - ам- 7ь 0,025 мкм (v 13); после обработки мони  фтористого кислого, т.е. сох- 0,025 мкм (у 13).

1Ь

20

поверхностей в дистиллированной во де. При качественной очистке подлож полностью смачиваетс  дистиллирова ной водой.

Пример 1. Состав ингредие тов, г/л:

Кислота фтористоводородна 

Аммоний фтористый

кислый

Спирт изопропиловый

Кислота уксусна 

Краситель метиленовый голубой

Вода

Дл  стекл нных подложек врем  о работки 2 мин при Т 18-25 С. Шерох ватость поверхности до обработки 0,1 мкм (v 11); после обработки 0,1 мкм ( ч 11).

Дл  кварцевых подложек врем  об ботки 3 мин при Т 18-25°С. Шерохов тость поверхности до обработки

15

4

225 1,5

0,005 754,495

ранени  микрорельефа поверхности подложки без его изменени  по отношению к исходному состо нию (кварца у 13, стеклаvl1),

Уксусна  кислота в количестве 1/2 г/л в сочетании с красителем метиленовым голубым в количестве 0,001-0,01 г/л придает активные свойства поверхности стекла и кварца. с обеспечением адгезионных свойств поверхности к последуюидам металлическим покрыти м, наносимых например, при изготовлении металлизированных фотошаблонов и ьткросхем.

Раствор готовитс  последовательным растворением в 0,5-0,6 л воды фтористоводородной кислоты, аммони  фтористого кислог О, спирта изопропилового и красител  метиленового голубог о и только потом уксусной кислоты с последующим добавлением воды до 1 л,

Цвет полученного раствора светло- голубой. Подложки погружают в раствор при комнатно температуре 18- 25 с , выдердашают в нем в пределах 1-4 мин в зависимогти от материала подложки,

Затем промывают сначала в гор чп воде в течение 3 мпн, попом в холодной дистил:1ирот ап;ии | иоле в течение 1-2 мип Knii ipc Tb к.;1че(:тва ()чщ-т1:и

провод т С ((.М. ИИ (;--.,М МО(--1-И

0

7ь 0,025 мкм (v 13); после обработки 0,025 мкм (у 13).

Ь

0

поверхностей в дистиллированной воде . При качественной очистке подложка полностью смачиваетс  дистиллированной водой.

Пример 1. Состав ингредиентов , г/л:

Кислота фтористоводородна 

Аммоний фтористый

кислый

Спирт изопропиловый

Кислота уксусна 

Краситель метиленовый голубой

Вода

Дл  стекл нных подложек врем  обработки 2 мин при Т 18-25 С. Шероховатость поверхности до обработки 0,1 мкм (v 11); после обработки 0,1 мкм ( ч 11).

Дл  кварцевых подложек врем  обработки 3 мин при Т 18-25°С. Шероховатость поверхности до обработки

15

4

225 1,5

0,005 754,495

0

5

Г)

0

Пример 2„ Состав ингредиентов , г/л:

Кислота фтористоводородна 1 О Аммоний фтористый кислый3 Спирт изопропиловый 200 Кислота уксусна  1 Краситель метилено- вый голубой 0,001 Вода 785,999 Дл  стекл нных подложек врем  обработки 3 мин при Т 18-25 С. Шероховатость поверхности до обработки 0,1 мкм ( ll)j после обработки

О, 1 мкм ( 17 1 1 ) .

Дл  кварцевых подложек врем  обработки 4 мин при Т 18-25 С. Шероховатость поверхности до обработки 0,02 мкм (vl3); после обработки 0,02 мкм (V 13).

Пример 3, Состав и)1гредиен- тов, г/л:

Кислота фтористоводородна 20 Аммоний фторис1Ъ1Й кислый5 Спирт изопропиловый 250 Кислота уксус- 1К1Я 2

Краситель метиленовый голубой0,01

Вода722,99

Дл  стекл нных подложек врем  обработки 1 мин при Т 18-25 С. Шерохо- ватость поверхности до обработки О,1 мкм (v 1 I ; после обработки О,I мкм ( V 1 11„

Дл  кварцевых подложек врем  обработки 1,5 мин, при Т 18-25 С. Шерохо ватость поверхности до обработки 0,024 мкм (v 13 ); после обработки 0,025 мкм (vl3 ),

Пример А (известный ) дл  прототипа. Состав ингредиентов, г/л: Кислота фтористоводородна 21 ,8 Кислота уксусна  28 Аммоний фторис- тый кислый 18 Вода 32,2 Врем  обработки 3 мин при 25°С, Шероховатость поверхности стекла до обработки О,I мкм; после обработки 5,2 мкм„

Шероховатость поверхности кварца до обработки 0,02 мкм; после обработки 3,0 мкм.

Врем  обработки 30 мин при 2 5 С,.,

Раствор дл  обработки изделий из стекла и кварца, включающий фтори 30 товодородную кислоту, аммоний фтори тый кислый, уксусную кислоту и воду отличающийс  тем, что, целью очистки полированных изделий, он дополнительно содержит изопропиШероховатость поверхности кварца до обработки 0,02 мкм; после обработки 31 мкм о

Шероховатость поверхности стёкла 35 - ™Р краситель метиленовый до обработки 0,1 мкм; после обработ-голубой при следующем соотношении

ки 32 мкм о

Использование предлагаемого раствора исключает нарушение исходного

40

компонентов, г/л: Фтористоводородна  кислота

10-20

микрорельефа,, В примерах 1 - 3 шероховатость поверхности дл  стекла до обработки О,1 мкм ( 7 II); после обработки О,1 мкм ( v II); дл  кварца до обработки 0,02 мкм (у 13); после обработки 0,02 мкм ( V 13);

В примере 4 при травлении шероховатость поверхности сильно увелиАммоний фтористый кислый Уксусна  кислота Изопропиловый спирт

Краситель метиле- иовый голубой Вода

3-5 1-2

200-250

0,001-0,01 Остальное

Редактор Г.Волкова

Составитель О.Самохина Техред м. Ходанич

Заказ 4182/16 Тираж 427Подписное

ВНИНПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Д-35, Раушска  наб., д.А/5

Ирой ЯРО пет венио-полиграфическое предпри тие, г.Ужгород, ул .Прогч-- ти,1ч

391004

чиваетс  - до 3,5 и 30 мкм в зависимости от времени обработки 3 - 30 мии.

Предлагаемый раствор по сравнению с известным сохран ет класс чистоты поверхности i стекла и кварца, что необходимо дл  изготовлени  фотошаблонов и микросхемэ

При этом исключены операции предварительного обезжиривани  в органических растворител х и моющих составах при высокой температуре, что ведет к снижению трудоемкости.

Кроме того, предлагаемый раствор эффективно очищает при комнатной температуре, что дополнительно ведет к снижению энергозатрат.

Предлагаемый раствор стабилен, многоразового действи , регенерируетс  простым фильтрованием, что предусматривает его корректировку только на убыль состава

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Раствор дл  обработки изделий из стекла и кварца, включающий фторис- товодородную кислоту, аммоний фтористый кислый, уксусную кислоту и воду, отличающийс  тем, что, с целью очистки полированных изделий, он дополнительно содержит изопропи - ™Р краситель метилено голубой при следующем соотношени

   компонентов, г/л: Фтористоводородна  кислота

   10-20

   3-5 1-2

   200-250

   0,001-0,01 Остальное

   Корректор В.Бут га