SU1330208A1

SU1330208A1 - Раствор дл травлени изделий из меди

Info

Publication number: SU1330208A1
Application number: SU853875303A
Authority: SU
Inventors: Элина Борисовна Хоботова; Сергей Дмитриевич Горобец; Василий Иванович Ларин; Дмитрий Никитич Грицан
Original assignee: Харьковский государственный университет им.А.М.Горького
Priority date: 1985-04-01
Filing date: 1985-04-01
Publication date: 1987-08-15

Abstract

Изобретение относитс к области химической обработки металлов, в частности к очистке меди путем травлени , и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности. Цель изобретени - снижение бокового под- травливани и улучшение качества изделий . Готов т трав щий раствор дл очистки, содержащий (м/л) хлорид меди (II) 0,4-0,8, хлорид натри 0,05- 0,2, ацетонитрил () 4,8-6,10. Обработку в растворе провод т при температуре 25&deg;С в течение 40 с. Очистка в данном растворе позвол ет снизить подтравливание кромки медных проводников и обеспечивает более равномерную очистку поверхности при травлении. 1 табл. с (О со со о ю о 00

Description

Изобретение относитс к химической обработке-металлов, в частности к очистке меди путем травлени , и может быть использовано в радиоэлектронной промьшленности.

Целью изобретени вл етс снижение бокового подтравливани и улучшени качества изделий.

П р и м.е р. Травильный раствор готов т смешением компонентов в предлагаемых соотношени х в мерной колбе при комнатной температуре. Затем берут 40 стекл нных подложек, выполненных из полированного оптического бор- 15 нецелесообразно, так как увеличиваетсиликатного стекла марки К-8. Методом напылени в вакууме (давление 5

40

-S

мм

рт.ст.) на подложки нанос т

Результаты сравнительных исп травлени в предлагаемом и изве

пленку хрома толпщной 0,1 мкм и меди 0,6 мкм. На металлизированные подлож-20 растворах приведены в таблице. ки центрифугированием нанос т защитный негативный фоторезист ФН-11. Затем по известной технологии пластины подготавливают к травлению. Травление

Уменьшение подтравливани пр работке в предлагаемом растворе сравнению с известными составл 60-70% .

.пластин производ т щего состава, м/л:

CuClj,

NaCl

CHjCN

HjO

в растворе следую

0,5 0,2 6,1 До

литра

Температура ошзгта 25° С, Врем травлени сло меди 40 с. При этом не наблюдаетс подтравливани медных проводников. Травление идет быстро и очень равномерно, поверхность чиста без следов шлама.

Скорость травлени определ ют гравиметрически- по убыли массы дисковых электродов с площадью рабочей поверхности 0,64 см, изготовленных из мед марки М-99, за опзэеделенный интервал времени при 25 С в услови х интенсивного перемешивани растворов.

Были приготовлены воднью растворы следующих составов, в м/л: 1-й - CuClj 0,80; NaCl 0,20; ацетонитрил CHjCN 6,10; 2-й - CuCl, 0,40; NaCl 0,05; CHjCN 4,80; 3-й - CuClj 0,60; NaCl 0,10; CHjCN 5,50.

Скорость травлени равн лась, в 1-м растворе - 6, (максимальное значение); во 2-м - 10,5-10 (минимальное значение); в 3-м - 13, (промежуточное значение ). Качество травлени во всех

растворах бьшо высокое. Повер-хность меди гладка ., чиста , без следов шлама .

Использование травильного раствора , в котором концентрации компонентов не укладываютс в пределы, нецелесообразно , так как при малом содержании CuClj и CHjCN (ацетонитрил) очень мала скорость травлени и, следовательно , увеличиваетс веро тность подтравливани .

Превышение же концентраций компонентов выше предлагаемого интервала

с расход реактивов, а скорость возрастает незначительно.

Результаты сравнительных испь5таний травлени в предлагаемом и известном

растворах приведены в таблице.

20 растворах приведены в таблице.

25

30

35

40

45

50 55

Уменьшение подтравливани при обработке в предлагаемом растворе по сравнению с известными составл ет 60-70% .

Как видно из данных испь1таний, предлагаемый раствор позвол ет повысить эффективность процесса травлени меди в результате увеличени скорости процесса, уменьшить подтравливание кромки медных проводников. Облегчились контроль и регулирование процесса травлени , так как исключена необходимость корректрфовки состава травильного раствора по компонентам. В результате использовани раствора . предлагаемого состава обеспечиваетс равномерное травление образцов при очистке.

Claims

Формула изобретени

Раствор дл травлени изделий из меди, содержащий хлорид меди (И)., хлорид щелочного металла, отличающийс тем, что, с целью снижени бокового подтравливани и улучшени качества изделий, он дополнительно содержит ацетонитрил, а в качестве хлорида щелочного металла - хлорид натри при следующем соотношении компонентов, м/л:.

Хлорид меди (II) 0,4-0,8 Хлорид натри 0,05-0,2 Ацетонитрил 4,8-6,10

22,8-10 120 10-

55-tO22 40

-4

64 -lO-t

30-10

-4Составитель В. Олейниченко Редактор Э. Слиган Техред м.Ходанич Корректор Л. Бескид

Заказ 3543/29 Тираж 936Подписное

ВНШШИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предпри тие, г. Ужгород, ул. Проектна , 4

При изготовлении печатных плат и микросхем наблюдаетс большое боковое под- травливание. Имеютс разрывы и протравы в .схемах печатных плат

То же

Качество печатных плат и микросхем хорошее. Боковое подтравливание незначительное