SU1323940A1

SU1323940A1 - Неразрушающий способ контрол адгезии металла к диэлектрику

Info

Publication number: SU1323940A1
Application number: SU864034711A
Authority: SU
Inventors: Софья Ароновна Зайдман
Original assignee: Томский политехнический институт им.С.М.Кирова
Priority date: 1986-03-07
Filing date: 1986-03-07
Publication date: 1987-07-15

Abstract

Изобретение относитс к способам контрол механической прочности соединений металл-диэлектрик и может быть использовано в микроэлектронике, полупроводниковой технике, кабельной промышленности и других област х. Способ позвол ет упростить процесс измерени . Образец с ассиметрией, заложенной в нем либо в процессе технологии изготовлени , либо в предварительно созданной анизатропии самого диэлектрика, подключают через переключатель пол рности к измерителю тока. Помещают образец в услови повышенной влажности и регистрируют изменение направлени тока при смене пол рности включени образца, что позвол ет судить об адгезии металла к диэлектрику . В услови х повышенной влажности происходит сорбци пленки на поверхности диэлектрика, при этом увеличиваетс ток, что повышает достоверность контрол адгезии металла к диэлектрику. 1 ил. Р 00 ГчЭ СО СО 1

Description

Изобретение относитс к способам определени прочности и может быть использовано в кабельной технике, микроэлектронике и полупроводниковой технике.

Целью изобретени вл етс упрощение процесса измерени .

На чертеже приведена принципиальна схема устройства дл осуществлени предлагаемого способа.

Диэлектрик 1, на который нанесены металлические электроды 2, зажимаютс между токоотвод щими электродами 3, которые подсоединены к измерительному прибору 4 через переключатель 5 пол рности при этом образец помещен в камеру 6 влажности.

Способ осуществл ют следующим образом .

Образец с асимметрией, заложенной в технологии изготовлени его или в предварительно созданной анизотропии самого диэлектрика 1, помещают в камеру 6 влажности , затем подсоедин ют его к регистратору тока и в замкнутой цепи образец-измерительный прибор 4 регистрируют генерируемый образцом ток. Далее производ т переключение пол рности образца, поворачива его на 180° или мен местами токоподвод щие проводники 3 измерительного прибора, что также можно сделать с помощью переключател 5, после чего регистрируют смену направлени тока, что вл етс гарантией генерации тока образцом, а следовательно, доказывает наличие хорошей адгезии металла к диэлектрику.

Контроль адгезии металлических покрытий на диэлектрическом основании данным способом можно проводить только дл асимметричных структур металл-диэлектрик-металл . Такие ассиметричные структуры имеютс в микроэлектронике, когда на

диэлектрическую подложку (ситалл, керамика , сапфир, брокерит и т. д.) нанос т резистивные пленки из алюмини или тантала , из золота или никел и т. д., а также осуществл ют многослойное покрытие с разным количеством слоев металла на каждой

из сторон диэлектрика, или, если имеетс градиент концентрации носителей зар да, вдоль самого диэлектрика.

Claims

Формула изобретени

Неразрущающий способ контрол адгезии металла к диэлектрику, при котором на образце измер ют электрические параметры, отличающийс тем, что, с целью упрощени процесса измерени ,

образец с асимметрией провод щих слоев или с анизотропией диэлектрика помещают в камеру влажности, регистрируют ток, генерируемый образцом, производ т переключение пол рности образца и по смене направлени генерируемого тока суд т об

адгезии металла с диэлектриком.

Составитель Е. Анисимов

Редактор А. ЛежнинаТехред И. ВересКорректор В Бут га

Заказ 2959/48Тираж 776Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

1 13035, Москва, Ж-35, Раушска наб., д. 4/5 Производственно-полиграфическое предпри тие, г. Ужгород, ул. Проектна , 4