SU1202858A1 - Микроманипул тор - Google Patents
Микроманипул тор Download PDFInfo
- Publication number
- SU1202858A1 SU1202858A1 SU843765450A SU3765450A SU1202858A1 SU 1202858 A1 SU1202858 A1 SU 1202858A1 SU 843765450 A SU843765450 A SU 843765450A SU 3765450 A SU3765450 A SU 3765450A SU 1202858 A1 SU1202858 A1 SU 1202858A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- drive
- parts
- output link
- cross
- shelves
- Prior art date
Links
Landscapes
- Micromachines (AREA)
- Manipulator (AREA)
Description
Изобретение относитс к робототехнике , в частности к пьезоэлектрическим устройствам точного позиционировани , и может быть использовано сканирующих и анализирующих устройствах оптико-механических и электронных приборов, а также в прецизионных сбо- ронных и технологических приборах дл разных областей техники.
Цель изобретени - улучшение динамических характеристик и обеспечение универсальности, за счет полу- ,чени дополнительньк степеней подвижности .
На фиг. 1 показана кинематическа схема микроманипул тора; на фиг. 2 - схема коммутации электродов лучей крестов частей привода дл получени угловых перемещений; на фиг. 3 - схема коммутации электродов лучей крестов частей привода дл получени линейных перемещений; на-фиг.4 - конструктивна схема микроманипул тора , на фиг. 5-7 - варианты возможных деформаций частей привода микроманипул тора .
Микроманипул тор (фиг. 1) содержит основание 1, выходное звено 2 дл установки исполнительного элемента (не показан). Привод перемещени выходного звена состоит из двух частей 3 и 4. Кажда часть выполнена из пьезоэлектрических биморфных пластин, пол ризованных по толщине и соединенных так, что образуют крест с взаимно перпендикул рными лучами. Лучи креста одной части привода параллельны лучами креста другой части. Части 3 и 4 жестко св заны между собой промежуточным звеном 5, закрепленным в центре крестов.
Лучи крестов частей 3.и 4 приво- ,да соединены соответственно с основанием 1 и выходным звеном 2 посредством упругих шарниров 6, выполненных , например, в виде карданного подвеса с упругими шарнирными элеметами , допускающими поворот частей
3 и 4 относительно их взаимно перг пендикул рных осей. Наружные и внутренние управл ющие электроды 7-18 расположены на лучах крестов частей 3 и 4, электрически разъеди-- нены друг от друга и подключены к источнику 19 напр жени через блок управлени (не показан), обеспечивающий требуемую коммутацию управ- л ющих электродов между собой и источником 19.
Микроманипул тор работает следующим образом.
i При подаче напр жени от источни- ка 19 через блок управлени (фиг,2) на управл ющие электроды 7-18 части диаметрально противоположные лучи изгибаютс в противоположные стороны, при этом выходное звено 2 поворачиваетс относительно осей X и у. При подаче напр жени от источника 19 через блок управлени (фиг. 3) на управл ющие электроды 7--18 части 3 все лучи изгибаютс в одном направлении, при этом выход- ное звено линейно перемещаетс вдоль оси Z. При подаче напр жени на управл ющие электроды 7-18 частей 3 и 4 (фиг. 3) линейные перемещени /частей 3 и 4 вдоль оси z складываютс , при этом линейные перемещени выходного звена 2 удваиваютс (фиг. 5). При подаче напр жени на управл ющие электроды 7-18 частей 3 и 4 (фиг. 2) угловые перемещени частей ЗиЛ складьюаютс , в результате угловые перемещени выходного звена 2 удваиваютс (фиг. 6).
В случа х отработки част ми привода микроманипул тора линейных и угловых (фиг. 7), а также только линейных (фиг. 6) перемещений выходного звена промежуточное звено, св зывающее центральные преобразователей , может быть установлено на дополнительных направл ющих пос- тупательного перемещени , например упругих мембранах, св занных с основанием микроманипул тора..
to ff tZ
Фиг.2
18
Фиг 3
Puf.S
Риг.
9иг
Риг. 7
Редактор А.Сабо
Составитель Техред М.Надь
Заказ 8366/19 Тираж t049 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР
цо делам изобретений и открытий . И ЗОЗЗ, Москва, Ж-35, Раушска наб., д. 4/5
Филиал Ш1П Патент, г. Ужгород, ул. Проектна , 4
Корректор Л.Патай
Claims (1)
- МИКРОМАНИПУЛЯТОР, содержащий основание, выходное звено и привод, состоящий из двух жестко связанных между собой частей, одна из · которых выполнена из пьезоэлектрических биморфных пластин и шарнирно связана с основанием, а вторая - с выходным звеном, отличающийся тем, что, с целью улучшения динамических характеристик и обеспечения дополнительных степеней подвижности, вторая часть привода выполнена также из пьезоэлектрических биморфных пластин, при этом пластины каждой части привода соединены так, что образуют в сечении крест с взаимно перпендикулярными полками, причем полки креста одной части привода параллельны полкам креста второй части привода и жесткая связь между частями привода расположена в центре крестов, а выходное звено шарнирно связано с концами полок креста второй части привода.Фиг.11 1202858 2
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU843765450A SU1202858A1 (ru) | 1984-07-06 | 1984-07-06 | Микроманипул тор |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU843765450A SU1202858A1 (ru) | 1984-07-06 | 1984-07-06 | Микроманипул тор |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1202858A1 true SU1202858A1 (ru) | 1986-01-07 |
Family
ID=21128565
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU843765450A SU1202858A1 (ru) | 1984-07-06 | 1984-07-06 | Микроманипул тор |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1202858A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2529126C1 (ru) * | 2013-04-25 | 2014-09-27 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный университет" (ФГАОУ ВО "СПбПУ") | Пьезоэлектрический схват |
-
1984
- 1984-07-06 SU SU843765450A patent/SU1202858A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР №410773, кл. G 02 В 21/32, 1972. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2529126C1 (ru) * | 2013-04-25 | 2014-09-27 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный университет" (ФГАОУ ВО "СПбПУ") | Пьезоэлектрический схват |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4213690B2 (ja) | 超精密位置制御システム | |
US5089740A (en) | Displacement generating apparatus | |
US6671975B2 (en) | Parallel kinematic micromanipulator | |
US5414565A (en) | Tilting kinematic mount | |
US4664487A (en) | Laser mirror positioning apparatus | |
US6246052B1 (en) | Flexure assembly for a scanner | |
JP6604377B2 (ja) | 多自由度調整機構 | |
JPH06303782A (ja) | 駆動装置 | |
Pei et al. | Design of compliant straight-line mechanisms using flexural joints | |
WO2005102909A1 (ja) | アクチュエータ | |
CN110065926B (zh) | 二自由度scott-russell柔性微纳定位平台 | |
US6380660B1 (en) | Vibration type actuator and vibration type driving apparatus | |
US6498892B1 (en) | Positioning device especially for assembling optical components | |
SU1202858A1 (ru) | Микроманипул тор | |
JPS60247108A (ja) | 直線型変位測定装置 | |
US6193381B1 (en) | Active mirror | |
US7393175B2 (en) | Actuator system for nanoscale movement | |
US5721616A (en) | Tilt free micromotion translator | |
JP2000009867A (ja) | ステージ移動装置 | |
JPS6187110A (ja) | 微動移動機構 | |
SU651296A1 (ru) | Устройство дл перемещени изображени | |
Deshmukh et al. | Conceptual design of a compliant pantograph | |
SU1118810A1 (ru) | Электромеханический преобразователь гидроусилител | |
JPS6334995A (ja) | レ−ザ集光装置 | |
EP1549458B1 (en) | Two-dimensional displacement apparatus |