SU1202858A1 - Микроманипул тор - Google Patents

Микроманипул тор Download PDF

Info

Publication number
SU1202858A1
SU1202858A1 SU843765450A SU3765450A SU1202858A1 SU 1202858 A1 SU1202858 A1 SU 1202858A1 SU 843765450 A SU843765450 A SU 843765450A SU 3765450 A SU3765450 A SU 3765450A SU 1202858 A1 SU1202858 A1 SU 1202858A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
drive
parts
output link
cross
shelves
Prior art date
Application number
SU843765450A
Other languages
English (en)
Inventor
Генрик Гайкович Габриелян
Арташес Ваграмович Кочикян
Саркис Рачикович Овакимян
Михаил Гарегинович Саркисян
Казимерас Миколо Рагульскис
Original Assignee
Ереванский политехнический институт им.К.Маркса
Предприятие П/Я А-1376
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ереванский политехнический институт им.К.Маркса, Предприятие П/Я А-1376 filed Critical Ереванский политехнический институт им.К.Маркса
Priority to SU843765450A priority Critical patent/SU1202858A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1202858A1 publication Critical patent/SU1202858A1/ru

Links

Landscapes

  • Micromachines (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Description

Изобретение относитс  к робототехнике , в частности к пьезоэлектрическим устройствам точного позиционировани , и может быть использовано сканирующих и анализирующих устройствах оптико-механических и электронных приборов, а также в прецизионных сбо- ронных и технологических приборах дл  разных областей техники.
Цель изобретени  - улучшение динамических характеристик и обеспечение универсальности, за счет полу- ,чени  дополнительньк степеней подвижности .
На фиг. 1 показана кинематическа  схема микроманипул тора; на фиг. 2 - схема коммутации электродов лучей крестов частей привода дл  получени  угловых перемещений; на фиг. 3 - схема коммутации электродов лучей крестов частей привода дл  получени  линейных перемещений; на-фиг.4 - конструктивна  схема микроманипул тора , на фиг. 5-7 - варианты возможных деформаций частей привода микроманипул тора .
Микроманипул тор (фиг. 1) содержит основание 1, выходное звено 2 дл  установки исполнительного элемента (не показан). Привод перемещени  выходного звена состоит из двух частей 3 и 4. Кажда  часть выполнена из пьезоэлектрических биморфных пластин, пол ризованных по толщине и соединенных так, что образуют крест с взаимно перпендикул рными лучами. Лучи креста одной части привода параллельны лучами креста другой части. Части 3 и 4 жестко св заны между собой промежуточным звеном 5, закрепленным в центре крестов.
Лучи крестов частей 3.и 4 приво- ,да соединены соответственно с основанием 1 и выходным звеном 2 посредством упругих шарниров 6, выполненных , например, в виде карданного подвеса с упругими шарнирными элеметами , допускающими поворот частей
3 и 4 относительно их взаимно перг пендикул рных осей. Наружные и внутренние управл ющие электроды 7-18 расположены на лучах крестов частей 3 и 4, электрически разъеди-- нены друг от друга и подключены к источнику 19 напр жени  через блок управлени  (не показан), обеспечивающий требуемую коммутацию управ- л ющих электродов между собой и источником 19.
Микроманипул тор работает следующим образом.
i При подаче напр жени  от источни- ка 19 через блок управлени  (фиг,2) на управл ющие электроды 7-18 части диаметрально противоположные лучи изгибаютс  в противоположные стороны, при этом выходное звено 2 поворачиваетс  относительно осей X и у. При подаче напр жени  от источника 19 через блок управлени  (фиг. 3) на управл ющие электроды 7--18 части 3 все лучи изгибаютс  в одном направлении, при этом выход- ное звено линейно перемещаетс  вдоль оси Z. При подаче напр жени  на управл ющие электроды 7-18 частей 3 и 4 (фиг. 3) линейные перемещени  /частей 3 и 4 вдоль оси z складываютс , при этом линейные перемещени  выходного звена 2 удваиваютс  (фиг. 5). При подаче напр жени  на управл ющие электроды 7-18 частей 3 и 4 (фиг. 2) угловые перемещени  частей ЗиЛ складьюаютс , в результате угловые перемещени  выходного звена 2 удваиваютс  (фиг. 6).
В случа х отработки част ми привода микроманипул тора линейных и угловых (фиг. 7), а также только линейных (фиг. 6) перемещений выходного звена промежуточное звено, св зывающее центральные преобразователей , может быть установлено на дополнительных направл ющих пос- тупательного перемещени , например упругих мембранах, св занных с основанием микроманипул тора..
to ff tZ
Фиг.2
18
Фиг 3
Puf.S
Риг.
9иг
Риг. 7
Редактор А.Сабо
Составитель Техред М.Надь
Заказ 8366/19 Тираж t049 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР
цо делам изобретений и открытий . И ЗОЗЗ, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д. 4/5
Филиал Ш1П Патент, г. Ужгород, ул. Проектна , 4
Корректор Л.Патай

Claims (1)

  1. МИКРОМАНИПУЛЯТОР, содержащий основание, выходное звено и привод, состоящий из двух жестко связанных между собой частей, одна из · которых выполнена из пьезоэлектрических биморфных пластин и шарнирно связана с основанием, а вторая - с выходным звеном, отличающийся тем, что, с целью улучшения динамических характеристик и обеспечения дополнительных степеней подвижности, вторая часть привода выполнена также из пьезоэлектрических биморфных пластин, при этом пластины каждой части привода соединены так, что образуют в сечении крест с взаимно перпендикулярными полками, причем полки креста одной части привода параллельны полкам креста второй части привода и жесткая связь между частями привода расположена в центре крестов, а выходное звено шарнирно связано с концами полок креста второй части привода.
    Фиг.1
    1 1202858 2
SU843765450A 1984-07-06 1984-07-06 Микроманипул тор SU1202858A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU843765450A SU1202858A1 (ru) 1984-07-06 1984-07-06 Микроманипул тор

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU843765450A SU1202858A1 (ru) 1984-07-06 1984-07-06 Микроманипул тор

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1202858A1 true SU1202858A1 (ru) 1986-01-07

Family

ID=21128565

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU843765450A SU1202858A1 (ru) 1984-07-06 1984-07-06 Микроманипул тор

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1202858A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2529126C1 (ru) * 2013-04-25 2014-09-27 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный университет" (ФГАОУ ВО "СПбПУ") Пьезоэлектрический схват

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР №410773, кл. G 02 В 21/32, 1972. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2529126C1 (ru) * 2013-04-25 2014-09-27 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный университет" (ФГАОУ ВО "СПбПУ") Пьезоэлектрический схват

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4213690B2 (ja) 超精密位置制御システム
US5089740A (en) Displacement generating apparatus
US6671975B2 (en) Parallel kinematic micromanipulator
US5414565A (en) Tilting kinematic mount
US4664487A (en) Laser mirror positioning apparatus
US6246052B1 (en) Flexure assembly for a scanner
JP6604377B2 (ja) 多自由度調整機構
JPH06303782A (ja) 駆動装置
Pei et al. Design of compliant straight-line mechanisms using flexural joints
WO2005102909A1 (ja) アクチュエータ
CN110065926B (zh) 二自由度scott-russell柔性微纳定位平台
US6380660B1 (en) Vibration type actuator and vibration type driving apparatus
US6498892B1 (en) Positioning device especially for assembling optical components
SU1202858A1 (ru) Микроманипул тор
JPS60247108A (ja) 直線型変位測定装置
US6193381B1 (en) Active mirror
US7393175B2 (en) Actuator system for nanoscale movement
US5721616A (en) Tilt free micromotion translator
JP2000009867A (ja) ステージ移動装置
JPS6187110A (ja) 微動移動機構
SU651296A1 (ru) Устройство дл перемещени изображени
Deshmukh et al. Conceptual design of a compliant pantograph
SU1118810A1 (ru) Электромеханический преобразователь гидроусилител
JPS6334995A (ja) レ−ザ集光装置
EP1549458B1 (en) Two-dimensional displacement apparatus