SU1154527A1 - Многолучевой интерферометр - Google Patents
Многолучевой интерферометр Download PDFInfo
- Publication number
- SU1154527A1 SU1154527A1 SU833635545A SU3635545A SU1154527A1 SU 1154527 A1 SU1154527 A1 SU 1154527A1 SU 833635545 A SU833635545 A SU 833635545A SU 3635545 A SU3635545 A SU 3635545A SU 1154527 A1 SU1154527 A1 SU 1154527A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- angle
- mirror
- grating
- splitting plate
- interferometer
- Prior art date
Links
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
МНОГОЛУЧЕВОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР , содержащий расположенные под угло.м одно к другой зеркало и светоделительную пластинку, отличающийс тем, что, с целью повышени селективности, в нем по другую сторону светоделительной пластинки и под смежным углом к ней расположена поворотна дифракционна решетка , причем ось поворота решетки находитс в вершине угла, образованного решеткой и светоделительной платстинкой. сг ел N сд 1чЭ
Description
Изобретение относитс к оптико-интерференционным средствам измерений и может быть использовано при создании спектральных приборов.
Известны интерферометры, содержащие колопрозрачную пластину и дифракционную решетку 1.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к изобретению вл етс многолучевой интерферометр , содержащий расположенные под углом друг к другу зеркало и светоделительную пластину. В устройстве используетс многолучева интерференци , получаема в пространстве между двух зеркал, имеющих почти 100%-е отражение, работающих совместно с пластинкой светоделител , имеющей среднее значение коэффициента отражени и пропускани , причем последн параллельна одному из зеркал 2.
Недостатком известного устройства вл етс низка селективность, обусловленна тем, что лучи всех длин волн при имеющейс интерференционной разности хода на выходе прибора налагаютс друг на друга.
Целью изобретени вл етс увеличение селективности многолучевого интерферометра .
Поставленна цель достигаетс тем, что в многолучевом интерферометр, содержащем расположенные под углом друг к другу зеркало и светоделительную платстинку, по другую сторону светоделительной пластинки и под смежным углом к ней расположена поворотна дифракционна решетка, причем ось поворота решетки расположена в вершине угла, образованного решеткой и светоделительной пластинкой.
На фиг. представлена схема устройства многолучевого интерферометра.
Интерферометр содержит зеркало 1, светоделительную пластину 2, дифракционную решетку 3.
Устройство работает следующим образом.
Луч света, падающий на светоделительную пластинку 2, расщепл етс на два луча, один из которых проходит ее, далее в автоколлимации отражаетс от зеркала 1 и снова проходит светоделительную пластинку 2 на выход. Луч света длины волны X, отразившийс от пластинки 2, падает на дифракционную решетку 3 под углом i и дифрагирует под углом 1 так, что выполн етс условие
d(sini+sini)K,
где d - посто нна дифракционной решетки 3;
К - пор док дифракций.
Далее луч этой длины волны падает на светоделительную платстинку 2, частично про ходит ее и отражаетс снова в направлении к дифракционной решетке 3 и т. д. Прошедший луч в автоколлимации отражаетс обратно зеркалом 1 в направлении к выходу, где он интерферирует с лучом длины волны К, ранее, отразившимс от зеркала 1 в автоколимации . Лучи других длин волн дифракционной решеткой развод тс в пространстве и не интерферируютс с ранее отразившимис от зеркала 1 лучами остальных длин волн. С другой стороны интерферирующий поток лучей длины волны К усиливаетс за счет повтор ющегос процесса дифракции на решетке 3 и отражени света в автоколлимации от зеркала 1. В результате происходит многократное вление интерференции, вследствие чего увеличиваетс разрешающа способность устройства и повышаетс почти на пор док точность сканировани спектра , так как используетс поворот только одного элемента - дифракционной решетки 3 дл всех лучей сразу.
Применение предлагаемого устройства позвол ет с более высокой точностью (на пор док) записывать спектры. Поскольку инструментальна функци такого интерферометра вл етс в пределе сверткой дифракционной функции с функцией Эры, а последн не имеет побочных максимумов, и поэтому в нем инструментальна функци будет иметь побочные максимумы меньше чем на пор док по сравнению с дифракционной . Поэтому спектры можно записывать с минимальными искажени ми.
Таким образом, предлагаемое устройство обладает преимуществами дифракционного спектрометра и многолучевого интерферометра типа Фабри-Перо, но без пор дков интерференции , которые имеютс у интерферометра Фабри-Перо. Предлагаемое устройство относитс к приборам принципиально нового типа.
Claims (1)
- МНОГОЛУЧЕВОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР, содержащий расположенные под углом одно к другой зеркало и светоделительную пластинку, отличающийся тем, что, с целью повышения селективности, в нем по другую сторону светоделительной пластинки и под смежным углом к ней расположена поворотная дифракционная решетка, причем ось поворота решетки находится в вершине угла, образованного решеткой и светоделительной платстинкой.1 154527
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU833635545A SU1154527A1 (ru) | 1983-08-05 | 1983-08-05 | Многолучевой интерферометр |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU833635545A SU1154527A1 (ru) | 1983-08-05 | 1983-08-05 | Многолучевой интерферометр |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1154527A1 true SU1154527A1 (ru) | 1985-05-07 |
Family
ID=21079331
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU833635545A SU1154527A1 (ru) | 1983-08-05 | 1983-08-05 | Многолучевой интерферометр |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1154527A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111197959A (zh) * | 2018-11-20 | 2020-05-26 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种光栅测量系统及光刻机 |
-
1983
- 1983-08-05 SU SU833635545A patent/SU1154527A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
1. Авторское свидетельство СССР по за вке № 3592700/25, кл. G 01 В 9/02, 1983. 2. Мазурепко Ю. Т., Рубинова Ю. Л. «Квантова электроника, 1983, 10, № 2, с. 283-389. * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111197959A (zh) * | 2018-11-20 | 2020-05-26 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种光栅测量系统及光刻机 |
CN111197959B (zh) * | 2018-11-20 | 2021-09-17 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种光栅测量系统及光刻机 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7898656B2 (en) | Apparatus and method for cross axis parallel spectroscopy | |
US4142797A (en) | Common path interferometer | |
US3791737A (en) | Spectrometer in which a desired number of spectral lines are focused at one fixed output slit | |
US4632553A (en) | Silicon beamsplitter | |
US3749498A (en) | Double-pass type double monochromator | |
JP3239512B2 (ja) | 2段式分光器 | |
JPS6138405A (ja) | 干渉計及びそれを含むフーリエ変換分光計 | |
SU495945A1 (ru) | Спектрометр с интерференционной селективной амплитудной модул цией | |
SU1154527A1 (ru) | Многолучевой интерферометр | |
US4684253A (en) | Apparatus for carrying out spectral analysis | |
Brault | Fourier transform spectrometry in relation to other passive spectrometers | |
SU706711A1 (ru) | Монохроматор | |
US11821791B1 (en) | Techniques for reducing optical ghosts in a gratings-based optical spectrum analyzer (OSA) | |
JP3278257B2 (ja) | 複単色計 | |
JP3274035B2 (ja) | モノクロメータ | |
SU1700386A1 (ru) | Дифракционный полихроматор | |
SU1099303A1 (ru) | Интерференционный фильтр | |
SU754221A1 (ru) | Интерференционный фильтр с селективной амплитудной модуляцией1 | |
JPH07113583B2 (ja) | ファブリーペロー干渉計を用いた広波長域同時測定型分光器 | |
SU1651111A1 (ru) | Интерференционный спектрометр | |
SU979884A1 (ru) | Спектрометр с интерференционной селективной амплитудной модул цией | |
SU854123A1 (ru) | Интерференционный спектрометр | |
SU939933A1 (ru) | Многолучевой интерферометр с боковым входом лучей | |
SU1200139A1 (ru) | Двойной дифракционный монохроматор | |
SU1132148A1 (ru) | Многолучевой интерферометр |