SU1154527A1 - Многолучевой интерферометр - Google Patents

Многолучевой интерферометр Download PDF

Info

Publication number
SU1154527A1
SU1154527A1 SU833635545A SU3635545A SU1154527A1 SU 1154527 A1 SU1154527 A1 SU 1154527A1 SU 833635545 A SU833635545 A SU 833635545A SU 3635545 A SU3635545 A SU 3635545A SU 1154527 A1 SU1154527 A1 SU 1154527A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
angle
mirror
grating
splitting plate
interferometer
Prior art date
Application number
SU833635545A
Other languages
English (en)
Inventor
Виктор Михайлович Архипов
Original Assignee
Предприятие П/Я Р-6681
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я Р-6681 filed Critical Предприятие П/Я Р-6681
Priority to SU833635545A priority Critical patent/SU1154527A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1154527A1 publication Critical patent/SU1154527A1/ru

Links

Landscapes

  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Abstract

МНОГОЛУЧЕВОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР , содержащий расположенные под угло.м одно к другой зеркало и светоделительную пластинку, отличающийс  тем, что, с целью повышени  селективности, в нем по другую сторону светоделительной пластинки и под смежным углом к ней расположена поворотна  дифракционна  решетка , причем ось поворота решетки находитс  в вершине угла, образованного решеткой и светоделительной платстинкой. сг ел N сд 1чЭ

Description

Изобретение относитс  к оптико-интерференционным средствам измерений и может быть использовано при создании спектральных приборов.
Известны интерферометры, содержащие колопрозрачную пластину и дифракционную решетку 1.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к изобретению  вл етс  многолучевой интерферометр , содержащий расположенные под углом друг к другу зеркало и светоделительную пластину. В устройстве используетс  многолучева  интерференци , получаема  в пространстве между двух зеркал, имеющих почти 100%-е отражение, работающих совместно с пластинкой светоделител , имеющей среднее значение коэффициента отражени  и пропускани , причем последн   параллельна одному из зеркал 2.
Недостатком известного устройства  вл етс  низка  селективность, обусловленна  тем, что лучи всех длин волн при имеющейс  интерференционной разности хода на выходе прибора налагаютс  друг на друга.
Целью изобретени   вл етс  увеличение селективности многолучевого интерферометра .
Поставленна  цель достигаетс  тем, что в многолучевом интерферометр, содержащем расположенные под углом друг к другу зеркало и светоделительную платстинку, по другую сторону светоделительной пластинки и под смежным углом к ней расположена поворотна  дифракционна  решетка, причем ось поворота решетки расположена в вершине угла, образованного решеткой и светоделительной пластинкой.
На фиг. представлена схема устройства многолучевого интерферометра.
Интерферометр содержит зеркало 1, светоделительную пластину 2, дифракционную решетку 3.
Устройство работает следующим образом.
Луч света, падающий на светоделительную пластинку 2, расщепл етс  на два луча, один из которых проходит ее, далее в автоколлимации отражаетс  от зеркала 1 и снова проходит светоделительную пластинку 2 на выход. Луч света длины волны X, отразившийс  от пластинки 2, падает на дифракционную решетку 3 под углом i и дифрагирует под углом 1 так, что выполн етс  условие
d(sini+sini)K,
где d - посто нна  дифракционной решетки 3;
К - пор док дифракций.
Далее луч этой длины волны падает на светоделительную платстинку 2, частично про ходит ее и отражаетс  снова в направлении к дифракционной решетке 3 и т. д. Прошедший луч в автоколлимации отражаетс  обратно зеркалом 1 в направлении к выходу, где он интерферирует с лучом длины волны К, ранее, отразившимс  от зеркала 1 в автоколимации . Лучи других длин волн дифракционной решеткой развод тс  в пространстве и не интерферируютс  с ранее отразившимис  от зеркала 1 лучами остальных длин волн. С другой стороны интерферирующий поток лучей длины волны К усиливаетс  за счет повтор ющегос  процесса дифракции на решетке 3 и отражени  света в автоколлимации от зеркала 1. В результате происходит многократное  вление интерференции, вследствие чего увеличиваетс  разрешающа  способность устройства и повышаетс  почти на пор док точность сканировани  спектра , так как используетс  поворот только одного элемента - дифракционной решетки 3 дл  всех лучей сразу.
Применение предлагаемого устройства позвол ет с более высокой точностью (на пор док) записывать спектры. Поскольку инструментальна  функци  такого интерферометра  вл етс  в пределе сверткой дифракционной функции с функцией Эры, а последн   не имеет побочных максимумов, и поэтому в нем инструментальна  функци  будет иметь побочные максимумы меньше чем на пор док по сравнению с дифракционной . Поэтому спектры можно записывать с минимальными искажени ми.
Таким образом, предлагаемое устройство обладает преимуществами дифракционного спектрометра и многолучевого интерферометра типа Фабри-Перо, но без пор дков интерференции , которые имеютс  у интерферометра Фабри-Перо. Предлагаемое устройство относитс  к приборам принципиально нового типа.

Claims (1)

  1. МНОГОЛУЧЕВОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР, содержащий расположенные под углом одно к другой зеркало и светоделительную пластинку, отличающийся тем, что, с целью повышения селективности, в нем по другую сторону светоделительной пластинки и под смежным углом к ней расположена поворотная дифракционная решетка, причем ось поворота решетки находится в вершине угла, образованного решеткой и светоделительной платстинкой.
    1 154527
SU833635545A 1983-08-05 1983-08-05 Многолучевой интерферометр SU1154527A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833635545A SU1154527A1 (ru) 1983-08-05 1983-08-05 Многолучевой интерферометр

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833635545A SU1154527A1 (ru) 1983-08-05 1983-08-05 Многолучевой интерферометр

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1154527A1 true SU1154527A1 (ru) 1985-05-07

Family

ID=21079331

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU833635545A SU1154527A1 (ru) 1983-08-05 1983-08-05 Многолучевой интерферометр

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1154527A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111197959A (zh) * 2018-11-20 2020-05-26 上海微电子装备(集团)股份有限公司 一种光栅测量系统及光刻机

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Авторское свидетельство СССР по за вке № 3592700/25, кл. G 01 В 9/02, 1983. 2. Мазурепко Ю. Т., Рубинова Ю. Л. «Квантова электроника, 1983, 10, № 2, с. 283-389. *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111197959A (zh) * 2018-11-20 2020-05-26 上海微电子装备(集团)股份有限公司 一种光栅测量系统及光刻机
CN111197959B (zh) * 2018-11-20 2021-09-17 上海微电子装备(集团)股份有限公司 一种光栅测量系统及光刻机

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7898656B2 (en) Apparatus and method for cross axis parallel spectroscopy
US4142797A (en) Common path interferometer
US3791737A (en) Spectrometer in which a desired number of spectral lines are focused at one fixed output slit
US4632553A (en) Silicon beamsplitter
US3749498A (en) Double-pass type double monochromator
JPS6138405A (ja) 干渉計及びそれを含むフーリエ変換分光計
SU495945A1 (ru) Спектрометр с интерференционной селективной амплитудной модул цией
SU1154527A1 (ru) Многолучевой интерферометр
US4684253A (en) Apparatus for carrying out spectral analysis
Brault Fourier transform spectrometry in relation to other passive spectrometers
SU706711A1 (ru) Монохроматор
JP2755958B2 (ja) ダブルグレーティング型分光装置
US11821791B1 (en) Techniques for reducing optical ghosts in a gratings-based optical spectrum analyzer (OSA)
JP3274035B2 (ja) モノクロメータ
SU1700386A1 (ru) Дифракционный полихроматор
SU1099303A1 (ru) Интерференционный фильтр
SU754221A1 (ru) Интерференционный фильтр с селективной амплитудной модуляцией1
JPH07113583B2 (ja) ファブリーペロー干渉計を用いた広波長域同時測定型分光器
SU1651111A1 (ru) Интерференционный спектрометр
SU979884A1 (ru) Спектрометр с интерференционной селективной амплитудной модул цией
JP3278257B2 (ja) 複単色計
SU854123A1 (ru) Интерференционный спектрометр
EP4312006A1 (en) Diffraction grating monochromator
SU939933A1 (ru) Многолучевой интерферометр с боковым входом лучей
SU1200139A1 (ru) Двойной дифракционный монохроматор