SU1121492A1

SU1121492A1 - Vacuum unit

Info

Publication number: SU1121492A1
Application number: SU833562283A
Authority: SU
Inventors: Владимир Алексеевич Печенкин; Юрий Геннадьевич Баженов
Original assignee: Предприятие П/Я А-7873
Priority date: 1983-03-09
Filing date: 1983-03-09
Publication date: 1984-10-30

Abstract

ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА, содержаща последовательно подключенные к откачиваемому объекту посредством затвора криогенный насос-ловушку, выеоковакуумный и форвакуумный,насосы , отличающа с тем, что, с целью повышени скорости откачки , насос-ловушка закреплен на затворе. A VACUUM INSTALLATION containing a cryogenic trap pump, a vacuum and fore vacuum pump, sequentially connected to the pumped object through a shutter, characterized in that, in order to increase the pumping speed, the trap pump is fixed on the shutter.

Description

Изобретение относитс к вакуумной технике.The invention relates to vacuum technology.

Известна вакузгмна установка, содержаща последовательно подключенные к откачиваемому объему посредством затвора криогенный насос, ловушку высоковакуумный и форвакуумный насосы 1J,A known vacuum installation, containing a cryogenic pump connected in series to the pumped volume by means of a shutter, a high vacuum and fore vacuum pump 1J,

Однако така установка характеризуетс недостаточно высокой скорость откачки, так как отверстие, соедин ющее рабочую камеру с откачной системой , понижает быстроту действи криогенного насоса-ловушки из-за своей ограниченной проводимости. However, such an installation is characterized by an insufficiently high pumping rate, since the hole connecting the working chamber to the pumping system reduces the speed of the cryogenic trap pump due to its limited conductivity.

Цель изобретени - повьшзение скорости откачки.The purpose of the invention is to increase the pumping speed.

Указанна цель достигаетс тем, что в вакуумной установке, содержащей .последовательно подключенные к откачиваемому объему посредством затвора криогенный насос-ловушку, высоковакуумный и форвакуумный насосы , насос-ловушка закреплен на затво ре.This goal is achieved by the fact that in a vacuum unit containing, successively connected to the pumped volume, by means of a shutter, a cryogenic trap pump, high vacuum and foreline vacuum pumps, the trap pump is fixed to the shutter.

На чертеже изображена предлагаема установка.The drawing shows the proposed installation.

Вакуумна установка содержит последовательно подключенные к откачиваемому объему 1 посредством затвора 2 криогенный насос-ловушку 3, высоковакуумный . и форвакуумный насосы 4The vacuum unit contains serially connected to the pumped-out volume 1 by means of the shutter 2 a cryogenic trap pump 3, a high-vacuum one. and backing pumps 4

и 5. Насос-ловушка 3 закреплен на затворе 2.and 5. The trap pump 3 is fixed on the gate 2.

Насос-Ловушка 3 установлен на заворе 2 через теплоизол тор 6. Через гибкие трубопроводы 7 к насосу-ловушке 3 подводитс и отводитс хладагент . На затворе 2 имеютс огранич тели 8 и 9.Pump-Trap 3 is installed in the brew house 2 through the heat insulator 6. Through the flexible pipes 7 to the pump-trap 3, the refrigerant is supplied and discharged. Gate 2 has a limit of 8 and 9.

Вакуумна установка работает следующим образом.Vacuum installation works as follows.

Запускают форвакуумный насос 5 и после достижени определенной степени вакуума запускают высоковакуумнь1й насос 4. Затем откачивают объем 1 до давлени , через один из трубопроводов 7 заполн ют криогенный насос-ловушку 3 хладагентом. Затем открьшают затвор 2, и насословушка 3 вноситс в объем 1, пони .жа давление в нем с высокой скоростью .. Теплоизол тор 6 предохран ет запорный орган затвора 2 от переохлаждени . Ограничители 8 и 9 позвол ют избежать чрезмерного качани затвора 2, предотвраща касание насоса-ловушки о внутренние поверхности объема .1.The backing pump 5 is started and, after reaching a certain degree of vacuum, the high vacuum pump 4 is started. Then the volume 1 is pumped out to pressure, and the cryogenic trap 3 is filled with refrigerant through one of the pipes 7. Then the shutter 2 is opened, and the pump-trap 3 is introduced into the volume 1, ponya. The pressure in it is high-speed. The thermal insulator 6 prevents the shut-off organ of the shutter 2 from overcooling. Limiters 8 and 9 avoid over-swinging of gate 2, preventing the trap pump from touching the internal surfaces of the volume .1.

Таким образом, предлагаема установка позвол ет повысить скорость откачки за счет повьштение проводимости в процессе высоковакуумной откачки .Thus, the proposed installation allows to increase the pumping rate due to the increase in conductivity in the process of high vacuum pumping.

Claims

VACUUM INSTALLATION, containing cryogenic trap pump, high vacuum and forevacuum pumps connected in series to the pumped object through the shutter, characterized in that, in order to increase the pumping speed, the trap pump is fixed to the shutter.

t

I