(54) ВЫСОКОВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА - - 1 , . , Изобретение относитс к области вакуумной техники.. Известны высоковакуумные установ ки , содержащие откачиваемь1й объем И откачную систему,включакйдуш высок вакуумный и форвакуумный насОсы, по ключенные к объему посредством охла даемой ловушки l. . В известных установка:х защита от миграции масла механического Лорвакуумного насоса в высрковакуумный насос осуществл етс путем создани потока атмосферного воздуха на вход форвакуумного насоса.Влага из атмосферного воздуха, попада в масло насоса, отрицательно вли ет на характеристи ,$си насоса. Целью изобретени в.п ет,с предот враццение миграции маслабёз ухудаени характеристик вакуумного механи ческого насоса. Указанна це.пь достигаетс , что полость ловушки посредством трубопровода с регулирующим вентилем сообщена со входом форвакуумного насоса. На чертеже показана схема описываемой установки.. Высоковакуумна установка содержи откачиваемый объем 1 и откачную систему, включающую высЬковакуумный и форвакуумный насосы 2 и 3, подключённые к объему 1 посредством охлаждаемой ловушки 4. Полость ловушки 4 посредством трубопровода 5 с ретулирукедим вентилем 6 сообгчена с входом форвакуумного насоса 3. Высоковакуумна установка имеет также дополнительный форвакуумный насос 7 с вентилем 8. Описанна установка работает следующим образом. Производитс предварительна откачка объема 1 и охлаждаема ловушка 4 заливаетс хладагентом. При этом на вход форвакуумного насоса 3 по трубопроводу 5 через вентиль 6 подаетс поток пара хладагента из ловушки 4, практически не содержащий влаги . Затем включаетс в;работу высоковакуумный насос 2. В этом случае , если пр едварительна откачка объема производитс дополнительным форвакуумным насосом 7, попадание масла в объём 1 из насоса 7 может быть предотзвращейо напуском пара хладагента из ловушки 4 на вход насоса 7 через вентиль 8. Г , Подача.Пара хладагента, имеющего Низкую температуру, в форвакуумный(54) HIGH QUALITY INSTALLATION - - 1,. , The invention relates to the field of vacuum technology. High vacuum installations are known, containing a pumped volume and a pumping system, including high vacuum and vacuum boilers, connected to the volume by means of a cooled trap l. . In the well-known installation: x protection against the migration of mechanical oil pump to the vacuum pump into the vacuum pump is carried out by creating a stream of atmospheric air at the inlet of the foreline pump. Moisture from the atmospheric air, entering the pump oil, adversely affects the characteristics of the pump. The aim of the invention is to prevent the migration of mash-demeshing of the characteristics of a vacuum mechanical pump. Said circuit is achieved that the cavity of the trap is in communication with the inlet of the foreline pump through a pipeline with a regulating valve. The drawing shows the scheme of the installation being described .. The high-vacuum installation contains a pumped-out volume 1 and an evacuation system including high-vacuum and forevacuum pumps 2 and 3 connected to volume 1 by means of a cooled trap 4. The cavity of the trap 4 by means of pipeline 5 with a valve with a retractormed valve 6 is connected to the input of the vacuum one pump 3. The high vacuum installation also has an additional foreline vacuum pump 7 with a valve 8. The described installation works as follows. A pre-pumping of volume 1 is made and the cooled trap 4 is filled with refrigerant. At the same time, to the inlet of the foreline pump 3, the pipeline 5, through the valve 6, is supplied with a flow of refrigerant vapor from the trap 4, which contains almost no moisture. Then, the high-vacuum pump 2 is turned on. In this case, if the volume is preliminarily pumped out by an additional fore pump 7, oil entering volume 1 from pump 7 can be prevented by letting in refrigerant vapor from trap 4 to pump 7 input through valve 8. , Flow. Low temperature refrigerant vapor in forevacuum
насос позвол ет избежать перегрева насоса.the pump avoids overheating of the pump.
Такое выполнение установки дает возможность уменьшить содержание паров рабочей жидкости насоса в. рртаточном газе и улучшить стабильность работы насоса путем предотвращени его перегрева.Such an installation makes it possible to reduce the vapor content of the pump working fluid. dilute the gas and improve the stability of the pump by preventing it from overheating.