SU1016571A1

SU1016571A1 - Vacuum system

Info

Publication number: SU1016571A1
Application number: SU813311479A
Authority: SU
Inventors: Георгий Георгиевич Левченко; Геннадий Николаевич Манянин; Александр Кириллович Прокопенко
Original assignee: Донецкий физико-технический институт АН УССР
Priority date: 1981-06-29
Filing date: 1981-06-29
Publication date: 1983-05-07

Description

Изобретение относится к вакуумной технике.The invention relates to vacuum technology.

• Известна вакуумная система, содержащая подсоединенный к откачиваемому объему вакуум-провод с последователь- 5 но установленными на нем диффузионным и форвакуумным насосами и форбаллоном £l J.• A vacuum system is known which comprises a vacuum wire connected to a pumped volume with 5 diffusion and forevacuum pumps and a phallon £ l J. installed thereon.

Согласование рабочих характеристик форвакуумного и диффузионного ¹⁰насосов в значительной мере усложняется при откачке паров, например, криогенных жидкостей с изменяющимися скоростями испарения, а также при проверке на течь вакуумных систем. ¹⁵ Coordination of the operating characteristics of the forevacuum and diffusion ¹⁰ pumps is significantly complicated when pumping out vapors, for example, cryogenic liquids with varying evaporation rates, as well as when checking for leakage of vacuum systems. ^fifteen

В этом случае возможны режимы, когда быстрота откачки установленного форвакуумного насоса при опре,-_л. деленном давлении перед диффузионным насосом меньше необходимой бы- 20 строты откачки, вызванной испарением откачиваемой жидкости. Известная схема не позволяет обеспечить возможность включения диффузионного насоса на давление, превышающее его на- 25 чальное давление в 5-10 раз.In this case, the modes are possible when the pumping speed of the installed fore-vacuum pump during operation, - _l . the divided pressure in front of the diffusion pump is less than the required pumping speed, caused by evaporation of the pumped liquid. The known scheme does not allow providing the possibility of switching on the diffusion pump to a pressure that is 5-10 times higher than its initial pressure.

В известной системе согласование режимов достигается за счет установки более мощного форвакуумного насоса, а также за счет установ- 30 ί ки диффузионных насосов с большим начальным давлением.In the known system, mode matching is achieved by installing a more powerful fore-vacuum pump, as well as by installing 30 ί diffusion pumps with a large initial pressure.

Целью изобретения является расширение диапазона работы и повышение экономичности. 35The aim of the invention is to expand the range of work and increase efficiency. 35

Указанная цель достигается тем, что в вакуумной системе , содержащей подсоединенный к откачиваемому объему вакуум-провод с последовательно установленными на нем диффу- до зионным и форвакуумным насосами и форбаллоном, форбаллон установлен . перед диффузионным насосом, а вакуум-провод снабжен затворами, распо¹ ложенными на входе и выходе форбал- 45 лона, и подсоединенным к вакуумпроводу параллельно первому по хо ду откачиваемого газа затвору обводным трубопроводом с регулирующим вентилем.This goal is achieved by the fact that in the vacuum system, containing a vacuum wire connected to the pumped volume, with diffusion and forevacuum pumps and a pre-cylinder installed in series, a pre-cylinder is installed. before diffusion pump, a vacuum line is provided with a gate, Raspaud ¹ false input and output forbal- womb 45 and connected to vakuumprovodu parallel to the first row of ho pumped gas gate bypass line with control valve.

На чертеже изображена схема рписываемой вакуумной системы.The drawing shows a diagram of a painted vacuum system.

Вакуумная система содержит под соединенный к откачиваемому объему 1 вакуум-провод 2 с последовательно установленными на нем диффузионным и форвакуумным насосами 3 и 4 и форбаллоном 5. Форбаллон 5 установлен перед диффузионным насосом 3, а вакуум-провод 2 снабжен затворами би 7, расположенными на входе и выходе форбаллона 5, и подсоединенным к вакуумупроводу 2 параллельно первому по ходу откачиваемого газа затвору 6 обводным трубопроводом 8 с регулирующим вентилем 9.The vacuum system contains a vacuum wire 2 connected to the pumped volume 1, with diffusion and forevacuum pumps 3 and 4 and a forballon 5 installed in series on it. Forballon 5 is installed in front of the diffusion pump 3, and the vacuum wire 2 is equipped with bi 7 valves located at the inlet and the output of the pre-ballon 5, and connected to the vacuum conduit 2 parallel to the first along the pumped gas shutter 6 bypass pipe 8 with a control valve 9.

Кроме того, вакуумная система снабжена вентилями 10-12.In addition, the vacuum system is equipped with valves 10-12.

Описываемая система работает следующим образом.The described system operates as follows.

Сначала форвакуумным насосом 4 производится предварительная откачка диффузионного насоса 3 и форбаллона 5. Затем при закрытом затворе 7 откачивается объем 1. При достижеп нии насосом 4 предельного давления закрываются вентили 10 и 11, и открывается вентиль 12, затвор 7 и регулирующий вентиль 9.First, the forevacuum pump 4 preliminarily pumps out the diffusion pump 3 and forballon 5. Then, with the shutter 7 closed, the volume 1 is pumped out. When pump 4 reaches the maximum pressure, valves 10 and 11 are closed, and valve 12, shutter 7, and control valve 9 open.

Вентиль 9 открывается так, что на входе в диффузионный насос 3 поддерживается постоянное давление, равное начальному.The valve 9 opens so that at the inlet to the diffusion pump 3 a constant pressure is maintained equal to the initial pressure.

После того, как в объеме 1 будет достигнуто давление, равное начальному ,· открывается затвор 6, и откачка производится обычным образом .After the pressure equal to the initial pressure is reached in volume 1, the shutter 6 opens and pumping is carried out in the usual way.

Описываемая система позволяет расширить диапазон использования диффузионных и форвакуумных насосов и применять их при откачке объемов с давлением,превышающим начальное давление диффузионных насосов.The described system allows you to expand the range of use of diffusion and forevacuum pumps and apply them when pumping volumes with a pressure exceeding the initial pressure of diffusion pumps.

Claims

A VACUUM SYSTEM containing a vacuum wire connected to the pumped-out volume with diffusion and forevacuum pumps and a pre-cylinder installed in series, characterized in that, in order to expand the operating range and increase the economy, the pre-cylinder is installed in front of the diffusion pump, and the vacuum wire is equipped with valves located at the inlet and outlet of the forballon, and connected to the vacuum wire parallel to the first in the direction of the pumped gas shutter bypass pipeline with a control valve.