SU1052972A1 - Датчик дл определени концентрации газов - Google Patents
Датчик дл определени концентрации газов Download PDFInfo
- Publication number
- SU1052972A1 SU1052972A1 SU772537785A SU2537785A SU1052972A1 SU 1052972 A1 SU1052972 A1 SU 1052972A1 SU 772537785 A SU772537785 A SU 772537785A SU 2537785 A SU2537785 A SU 2537785A SU 1052972 A1 SU1052972 A1 SU 1052972A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- sensor
- gas concentration
- gas
- transducer
- concentration
- Prior art date
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
Изобретение относитс к технике измерени концентраций веществ, а точнее к датчикам, служащим дл измерени концентрации газов, и может быть использовано, например, в химической промышленности. Известны полупроводниковые датчики дл определени концентраци газов, представл квдие собой /.слои полупроводниковых окислов с припа ными к ним омическими контактами Cl Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому вл етс датчик, представл ющий собой полупроводниковую окисную пленку с припа нЕ 1ми к ней омическими контактами расположенную на подложку. Омические контакты подключены .к источнику посто нного напр жени и через полу 1роводниковую-пленку течет ток. При внесении датчика в газовую среду на поверхности пленки адсорбируютс молекулы газа, что приводит к изменению поверхностного потенциала пле ки и изменению тока., протекающего через нее. По изменени м тока определ ют концентрацию газа 2. Однако в области малых концентра ций измер емого газа поверхность пленки обладает малой адсорбционной способностью. Это приводит к тому, что этот датчик, как и все остальны не может быть использован дл определени малых концентраций газов вследствие низкой чувствительности. Дл повышени чувствительности используют подогрев датчика до нескольких сот градусов, что исключае его применение во многих, средах, в частности во взрьшоопасных. Цель изобретени - увеличение чувствительности датчика при комнат ных температурах. Поставленна цель достигаетс тем, что датчик, снабжен электрическим конденсатором, обкладки которог размещены с зазором с каждой сторон полупроводниковой окисной пленки. На фиг. 1 изображен предлагаемый датчик, вид спереди; на фиг. 2 вид А на фиг. 1, разрез; на фиг. 3 схема включени . Между обкладками 1 электрического конденсатора на подложке 2, выполненной из диэлектрического материала , размещен датчик 3, выполненный в виде полупроводниковой окисной пленки с припа нными к ней омическими контактами 4. К обкладкам конденсатора припа ны электроды 5 дл подключени его к источнику посто нного напр жени . Подложка 2 выполнена таким образом, чтобы между обкладкой конденсатора и датчиком имелс воздушный зазор дл доступа к датчику измер емого газа. Конденсатор подключен к источнику б посто нного напр жени , через ключ 7 датчик через нагрузочное сопротивление 8 .и источник 9 питани подключен к измерительному прибору 10. Устройство работает следующим образом. . При помещении датчика в газовую среду с низкой .концентрацией измер емого газа молекулы газа адсорбируютс поверхностью полупроводниковой пленки, однако их концентраци на поверхности недостаточна дл точного определени концентрации газа . При включении конденсатора 1 происходит смещение уровн Ферми полупроводниковой пленки и увеличиваетс ее адсорбционна способность . Это приводит к тому, что поверхность пленки адсорбирует больше молекул измер емого газа, что вызывает большие изменени тока, текущего через пленку, и позвол ет точно определ ть концентрацию измер емого газа. Испытани показывают, что предлагаемый датчик может быть использован дл определени различных, в том числе и очень малых, концентраций газов в различных средах.
V.
8
d
Фиг.3
Claims (1)
- 754 ) (57 ) ДАТЧИК ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОНЦЕНТРАЦИИ ГАЗОВ, содержащий полупроводниковую окисную пленку, отличающийся тем, что, с целью увеличения его чувствитель ности при комнатных температурах, он снабжен электрическим конденсатором, обкладки которого размещены с зазором с каждой стороны полупро водниковой окисной пленки.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU772537785A SU1052972A1 (ru) | 1977-11-01 | 1977-11-01 | Датчик дл определени концентрации газов |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU772537785A SU1052972A1 (ru) | 1977-11-01 | 1977-11-01 | Датчик дл определени концентрации газов |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1052972A1 true SU1052972A1 (ru) | 1983-11-07 |
Family
ID=20730539
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU772537785A SU1052972A1 (ru) | 1977-11-01 | 1977-11-01 | Датчик дл определени концентрации газов |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1052972A1 (ru) |
-
1977
- 1977-11-01 SU SU772537785A patent/SU1052972A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
1. Патент DE 2016388, кл. 42 Е 4/16, опублик. 1972. 2. Патент JP 50-22435, кл. 113 3 1, опублик, 1975 (прототип). * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4350660A (en) | Ammonia gas sensors | |
US2965842A (en) | Detection of ambient components by semiconductors | |
US3255324A (en) | Moisture responsive resistance device | |
JPH09210963A (ja) | 固体ガスセンサー | |
US3742475A (en) | Gaseous impurity detector employing corona discharge phenomenon | |
US4548680A (en) | Method for determining the partial pressure of oxygen in an atmosphere | |
SU1052972A1 (ru) | Датчик дл определени концентрации газов | |
RU2132551C1 (ru) | Способ эксплуатации газового датчика | |
Mishra et al. | Effect of electrode material on sensor response | |
JPH0829387A (ja) | 電気化学素子及び窒素酸化物濃度測定装置 | |
JP3447341B2 (ja) | ガスセンサ | |
RU192819U1 (ru) | Газовый сенсор | |
FR2438271A1 (fr) | Dispositif de detection de gaz | |
JPH0711498B2 (ja) | ガス検出方法 | |
EP0086415B1 (en) | Humidity sensitive device | |
SU1133537A1 (ru) | Гигрометрический датчик | |
RU2525172C2 (ru) | Сенсорное устройство | |
JPH03249555A (ja) | 多成分ガスセンサ | |
Kim et al. | Solid state water vapor sensor for robotics applications | |
RU93005234A (ru) | Измерительный пробник | |
RU94020474A (ru) | Газоанализатор | |
JPH08152423A (ja) | 匂いセンサ | |
Guillet et al. | The influence of the electrode size on the electrical response of a potentiometric gas sensor to the action of oxygen | |
SU862684A1 (ru) | Способ определени состава газа | |
RU2065159C1 (ru) | Способ определения концентрации газа |