SU1029268A1 - Устройство дл поддерживани деталей при обработке - Google Patents

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДДЕРЖИВАНИЯ ДЕТАЛЕЙ ПРИ ОБРАБОТКЕ, преимуществен-, но полупроводниковых монокристаллов, содержащее корпус, установленный в поперечных направл ющих и шарнирно соединенный со станиной, гидроцилиндр. размещенный в корпусе и соединенный с источником гидравлического давлени , поршень, установленный в гидроцилиндре со сквозной осевой расточкой, в ко-торой подвижно установлен шток с закрепленным на его конце вакуумным присосом , и оправку дл  закреплени  заготовки , о т л и ч а ю щ. е 6 с   тем, что, с целью повышени  качества отрезаемых пластин и расширени  технологических возможностей устройства, оправка дл  закреплени  заготовки снабжена приводом вращательного движени  и размещена соосно с гидроцилиндром , который установлен с возможностью осевого вращени .

Description

ic

со to

Од

(Х Устройство относитс  к полупровод никовому производству и предназначен дл  поддержани  монокристаллов полупроводниковых материалов в процессе резки и съема отрезанных пластин. Известно устройство дл  поддерживани  деталей при обработке, содержащее корпус, установленный в попере ных направл ющих и шарнирно соединен ный со станиной, гидроцилиндр, разме щенный в корпусе и соединенный с источником гидравлического давлени , поршень, установленный в гидроцилинд со сквозной осевой расточкой, в кото рой подвижно установлен шток с закрепленным на его конце вакуумным пр сосом и оправку дл  закреплени  заготовки Cl D . Однако данное устройство не обеспечивает высокого качества изделий. Цель изобретени  - повышение качества обрабатываемых пластин и расширени  технологических возможностей устройства. Цель достигаетс  тем, что оправка дл  закреплени  заготовки снабжена приводом вращательного движени  и раз мещена соосно с гидроцилиндром, кото рый установлен с возможностью осевого ,вращени . . На фиг.1 изображено устройство, общий вид; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.I. Устройство содержит корпус 1 с за прессованной втулкой 2 и гидроцилинд 3, который установлен во втулке 2 с зазором 4. В зазор k через штуцер 5 и жиклеры 6 подведен сжатый воздух. Полученный подшипник скольжени  с га зовой смазкой обеспечивает чрезвымайнод легкое практически без трени  осевое вращение гидроцилиндра 3 в корпусе. Дл  осевой фиксации гидроци линдра передн   крышка 7 гидроцилиндра 3 имеет фланец, который входит в щель, образованную проточкой во втулке 2 и накладкой 8, с шириной на 0,1-0,7 мм больше толщины фланце крышки 7 Внутри гидроцилиндра 3 расположен поршень 9, в осевой расточке которог находитс  шток 10, имеющий возмож . ноеть осевого перемещени  относительно поршн . На свободном конце штока 10 установлен вакуумный присос 11.Внутри штока 10 выполнен канал 12,который одним концом сообщаетс  с вакуумным присосом, а другим - с кольцевой выточкой 13, соединенной каналом через трубопровод И с вакуумной установкой (не показана). Сброс отрезанной пластины а накопитель 15 с вакуумного присоса 11 осуществл етс  сжатым воздухом, дл  подвода которого от источника (не показан ) к вакуумному присосу 11 служит трубопровод 16, канал 17, кольцева  выточка 18, с которой, при крайнем левом положении штока 10 (во врем  отвода ) соедин етс  канал 12 в штоке. Канал 17 выполнен меньшим диаметром, чем канал 12, что уменьшает пневматический удар при действии сжатого воздуха на отрезанную пластину. Полость 19 гидроцилиндра 3 сообщаетс  через трубопровод 20 с полостью рабочего хода силового цилиндра стола станка, а полость 21 - трубопроводом 22 с полостью обратного хода стола станка. На штоке 10 выполнен паз, в кото .рый своим гладким концом входит винт 23, ограничивающий осевое перемещение штока 10 в расточке поршн  9. Корпус 1 установлен на верхнем столе станка в поперечных направл ющих 2 и шарнирно св зан с неподвижно закрепленной на станине станка направл ющей линейкой 25 посредством планки 26, свободно скольз щей по линейке в шариковых подшипниках 27. Заготовка 28 закреплена с помощью гидропласта на оправке 29, котора  установлена соосно с гидроцилиндром в шариковых подшипниках 30. Дл  сообщени  вращени  заготовке на стойке 31 закреплен электродвигатель 32 оправкой 29 ременной передачей 33. Редуктор св зан ременной передачей 33. К торцу заготовки 28 прикреплена технологическа  приставка З с цилиндрическим стержнем дл  базировки и закреплени  в оправке 29. Устройство работает следующим образом . При включении рабочей подачи станка жидкость под давлением поступает в рабочую полость силового цилиндра подачи стола станка и одновременно чере трубопровод 20 в полость 19 гидроцилиндра 3. При этом вакуумный присос 11 получает два последовательных перемещени : первое - быстрое вместе с поршнем 10 до упора в крышку 7 под действием жидкости, при этом рассто ние между торцами присоса и заготовки составл ет 0,5-1 мм, и второе - медленное, обеспечивающее безударный контакт с торцом заготовки 28 путем создани  вакуума между торцами присоса 11 и заготовки от посто нно включенной вакуумной линии через трубопровод I и кольцевую выточку 13. В процессе резани  вакуумный присос 11 посредством вакуума находитс , в посто нном контакте с отрезаемой пластиной, тем самым увеличива  ее прочность.

При отрезании пластин методом вращающегос  кристалла заготовка, закрепленна  на оправке 29, получает дополнительное вращение от электродвигател  32 с встроенным редуктором через ремейнуй передачу 33. Вращение от заготовки через отрезаемую пластину , вакуумный насос 11 и винт 23, вход щий в выточку .на.штоке 10, передаетс  гидроцилиндру 3, представл ющему совместно с втулкой 2 подшипник скольжени  с газовой смазкой, в смазочный зазор k которого через штуцер 5 и жиклеры 6 подведен сжатый воздух.

После отрезки пластина надежно . удерживаетс  на присосе 11 вакуумом, В это врем  срабатывает концевой переключатель столастанка, ижидкосты начинает поступать в полость обратного хода цилиндра подачи стола станка и далее через трубопровод 22 в полость 21 гидроцилиндра 3- При этом поршень 9 перемещаетс  до упора в левую стенку гидррцилиндра 3, одног временно с помощью винта 23 передвига  в том же направлении шток 10 и присос с отрезаемой пластиной.

При движении штока 10 канал 12, пройд  кольцевую выточку 13, отключаетс  от линии вакуума и соедин етс  через выточку 18, канал 17 и трубопровод 16 с магистралью сжатого воздуха. Сжатый воздух, попада  из I канала 17 с малым сечением в канал 9 большого сечени , снижает свое

давление и обеспечивает легкое отделение пластины от присоса и сброс ее в накопитель 15.

При повторном включении рабочей подачи станка цикл повтор етс  автоматически .

Использование изобретени  позво л ет практически обеспечить разрезание слитков полупроводниковых материалов методом вращающегос  кристалла , т.е. расшир ет технологические возможности устройства, а также получать шароховатость поверхности не более R 0,5-0,6 мкм, отклонение от геометрической 3Ц мкм, что улучшает качество отрезаемых пластин в среднем в 2,5 раза.

Claims (1)

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДДЕРЖИВАНИЯ ДЕТАЛЕЙ ПРИ ОБРАБОТКЕ, преимущественно полупроводниковых монокристаллов, содержащее корпус, установленный в поперечных направляющих и шарнирно соединенный со станиной, гйдроцилиндр, размещенный в корпусе и соединенный с источником гидравлического давления, поршень, установленный в гидроцилиндре со сквозной осевой расточкой, в которой подвижно установлен шток с закрепленным на его конце вакуумным при сосом, и оправку для закрепления заготовки, о т л и чающееся тем, что, с целью повышения качества отрезаемых пластин и расширения технологических возможностей устройства, оправка для закрепления заготовки снабжена приводом вращательного движения и размещена соосно с гидроцилиндром, который установлен с возможностью осевого вращения.