SU1019520A1 - Растровый электронный микроскоп-микроанализатор - Google Patents
Растровый электронный микроскоп-микроанализатор Download PDFInfo
- Publication number
- SU1019520A1 SU1019520A1 SU823381991A SU3381991A SU1019520A1 SU 1019520 A1 SU1019520 A1 SU 1019520A1 SU 823381991 A SU823381991 A SU 823381991A SU 3381991 A SU3381991 A SU 3381991A SU 1019520 A1 SU1019520 A1 SU 1019520A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- ray
- detector
- unit
- information
- microanalyzer
- Prior art date
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
РАСТРОВЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРО-СКОП- МИКР0АНАЛИЗАТОР , содержащий систему формированк 9JieKTpoHHoro зонда. -i.OiaA5f ; :«fдтаг-гс. . тt:;: i; П(;:.дg 10 5. ;.v ;отклон ющую систему схему отображени информации, вклшчаюиило первый канал, содержащий детектор рентгеновскогю излучени , счётчик шлтульСов. и блок регист|рации, второй канал, содержащий детектор вторичнБК электронов и инйикаторннй блок, а также генера-тор развеp-poic, соединенный с отклон ющей системой и индикаторны
Description
Изобретение относитс к технике электронной микроскопии и может быть использовано в приборостроительной промышлейности при производстве электронных микроскопов. .
Известны электронные микроскопымикроанализаторы 1J.
Однако электронные микроскопы-микроанализаторы ,, в которых осуществл етс ренТгеноспектральный анализ, обладают относительно малыми функцио- нальными возможност ми.
Наиболее близким по технической сущности к предлагаемом;, вл етс растровый электронный микроскоп-микроанализатор (РЭММА), содержащий сие- 15 тему формировани .электронного зонда , отклон ющую систему, схему ртображени информации, включающую первый канал, содержащий детектор рентге-новского излучени , счетчик импуль-20 оов и блок регистра1|ии, второй канал , содержащий детектор вторичных, электронов и индикаторный блок, а также генератор разверток, соединениый с от.клон юией системой и индика- 25 торным блоком 2 .
Однако на изображении поверхности объекта в рентгеновских лучах отсутст;вуюТ градации серого в промежутке между двум крайними градаци ми (ep-jQ ного и Целого). Така информаци дает возмож ность установить только сам факт наличи рентгеновского излучени в данной точке исследуемой поверхности , при этом изображение представл етсобой совокупность свет щихс с одинаковой ркостью точек, которые соответствуют точкам поверхности, содержащим данньй химический элемент. Это обусловлено импульсным характеромвидеосигнала , сформированного в кана- О ле получени рентгеновского изображени ,. koTOpHM модулируетс по ркости .электронный Луч в электроннолучевой трубке индикаторного блока. , , - , . ... . 45
При совмещении рентгеновских и лектронных- изображений отсутствует нформаци о количественном распреелении элемента. Это св зано с тем, то в формировании совмещенного изоб-50 ажени используетс импульсный сигал , несущий информацию о рентгеновком излучении, наложение которого а аналоговый видеосигнал с последуюей модул цией комбинированным видео-55
сигналом электронного луча по ркости в электроннолучевой трубке индикаторного блока не позвол ет по совмещен НОМУ изображению визуально получить более полную информацию кроме опре- 60 елени наличи в данной точке рентгеновского излучени (элемента). В целом известный прибор обеспечивает недостат,очную информативность анализа .65
Кроме того, канал регистрации характеристического рентгеновского излучени обладает недостаточно высокой чувствительностью и линейног стью преобразовани импульсной информации , поступающей с выхода детектора рентгеновского излучени , а амплитуду аналогового сигнала из-за погрешностей, вносимых интегратором с R,S элементами и усилителем посто нного тока. Это приводит к снижению точности анализа.
Целью изобретени вл етс повышение точности анализа и повышение его информативности путем увеличени градаций серого на изображении, сформированном в рентгеновских лучах, И обеспечени .возможности получени количественной информации о .распределении химических элементов по сов-, мещенным изображени м в рентгеновских лучах и во вторичных электронах.
.Указаннна цель достигаетс тем, что в РЭММА, содержащем систему формировани электронного зонда, отклон ющую систему, схему отображени информации, включающую первый канал, содержащий;детектор рентгеновского излучени , счетчик импульсов и блок регистрации, ВТОРО.Й канал, содержащий детектор вторичных электронов и индикаторный блок, а также генератор разверток,.соединенный с отклон ющей систег/юй и индикаторным блоком, схема отображени информации, снабжёи Цифро-аналоговым преобразователь с. блоком управлени и гюдул тором, которые включены последовательно между .дете.ктором рентгёновского излучени и индикаторным блоком, при этом модул тор соединен с детектором вторичных электронов. :
На чертеже представлена блок-схем предлагаемого устройства.
РЭММА содержит электронную пушку 1 и блок 2 электромагнитных линз, образующих систему формировани элек:тронного зонда, отклон ющую систему 9, исследуемый объект 4. Схема отображени информации содержит первый канал, включающий детектор рентгеновского излучени с кристалл- анализатором 5 и преобразователем 6, цифроаналоговый преобразователь (ЦАП) 7 с блоком 8 управлени и блок регистрации , выполненный, например, в виде счетчика 9 импульсов с цифровым табло . Второй канал схемы отображени информации содержит детектор 10 вторичных электронов, соединенный с модул тором 11, и индикаторный блок 12. Генератор 13 разверток соединён с индикаторным блоком 12 и с отклон ющей .системой 3. Схема содержит переключатели 14 и 15, обеспечивающие выбор вида записи информации, а также самописец 16, соединенный с 1ДАП 7. Устройство работает следующим о6- разом. В результате взаимодействи электронного луча с поверхностью объекта возникают рентгеновское излучение и вторичные электроны, несущие информацию о поверхностном слое объекта. Вторичные электроны, попада на де тектор 10 вторичных электронов, преоб разуютс в видеосигнал, котоЕий создает на экране электроннолучевой трубки индикаторного блока 12 изображение поверхности объекта 4. Площадь растра на поверхности исследуемого объекта регулируетс изменением амплитуды пилообразного тока генератора 13 разверток, подаваемого в отклон ющую систему 3. Рентгеновское излучение, несущее информацию об элементном составе поверхности объеката 4, попадает на кристалл-анализатор 5, настроенный на определенный элемент таблицы Менделеева . С выхода преобразовател 6 поступают испульсы с частотой, пропорци ональной интенсивности рентгеновского излучени . Импульсы считаютс счетчиком 9 или попадают через переключатель 15 непосредственно в индикаторный блок 12 дл формировани изображени в рентгеновских лучах. При этом, модул ци электронного луча по ркости в электроннолучевой трубке индикаторного блока 12 осущест вл етс аналоговым сигналом, который формируетс с помощью цифро-аналогового преобразовател 7 и блока 8 управлени . Амплитудй аналогового сигнала пропорциональна частоте импульсов, поступающих с выхода детектора рентгеновского излучени . В ПАП 7 осуществл етс преобразовани только того количества импульсов , которое приходитс на заданный интервал-времени. Временные интервалы между импульсами, которые задаютс блоком 8 управлени , равным между со бой в режиме формировани изображени в рентгеновских лучах. Осуществление гюдул ции электронного луча по ркости в электроннолучевой трубке индикаторного блока аналоговым сигналом, полученным с помощью ПАП, обеспечивает возможность получе- ни изображени в рентгеновских лучах с количеством гргшаций серого, определ емом наличием количества неравных значений интенсивности рентгеновского изображени , несущего информацию не только о пространственном распределении элементов, но и количественных соотношени х при формировании совмещенных изображений. i - . ./- . - В то же врем это позвол ет с более высокой чувствительностью и линейностью преобразовать импульсную информацию в аналоговый сигнал, т. е. с большей точностью зарегистрировать и записать рентгеновский спектр.
Claims (1)
- ) РАСТРОВЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП-МИКРОАНАЛИЗАТОР, содержащий систему формирования электронного зонда..отклоняющую систему, схему отображения информаций, включающую первый канал, содержащий детектор рентгеновского излучения, счётчик импульсов, и блок регистрации, второй канал, содержа- 1 щий детектор вторичных электронов и индикаторный блок, а также генератор разверток, соединенный с отклоняющей системой и индикаторным блоком, о т л и ч а ю щ н й с я тем, что, с целью повышения точности анализа и повышения его информативности,, схема отображения информации снабжена цифро-аналоговым преобразоватером, которые включены последовательно между детектором рентгеновского $ излучения и индикаторным блоком, при этом модулятор соединен с . вторичных электронов детектором l/l
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU823381991A SU1019520A1 (ru) | 1982-01-05 | 1982-01-05 | Растровый электронный микроскоп-микроанализатор |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU823381991A SU1019520A1 (ru) | 1982-01-05 | 1982-01-05 | Растровый электронный микроскоп-микроанализатор |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1019520A1 true SU1019520A1 (ru) | 1983-05-23 |
Family
ID=20992416
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU823381991A SU1019520A1 (ru) | 1982-01-05 | 1982-01-05 | Растровый электронный микроскоп-микроанализатор |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1019520A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007024155A1 (en) * | 2005-08-24 | 2007-03-01 | Zakrytoe Aktzionernoe Obschestvo 'nt-Mdt' | Scanning probe microscope combined with an object surface modifying device |
-
1982
- 1982-01-05 SU SU823381991A patent/SU1019520A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| . 1. Биркс Л,С. Ре зтеновскийни роанализ С; 1ГОмощью электрического эонда. М., Металлурги г 1966, .с. Sp-ei ,-..,-;- , , --,.-;-. 2.Дерк«ч B.II. и др. Электроннозондбвые устррвства. Киев., Иаукова Думка, , с. 176 (прЬтртип). 1 * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007024155A1 (en) * | 2005-08-24 | 2007-03-01 | Zakrytoe Aktzionernoe Obschestvo 'nt-Mdt' | Scanning probe microscope combined with an object surface modifying device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3314182B2 (ja) | 試験体のｘ線レスポンスの視覚画像を表示するための装置および方法 | |
| US3626184A (en) | Detector system for a scanning electron microscope | |
| US4385317A (en) | Specimen image display apparatus | |
| US2745985A (en) | Pulse amplitude analysers | |
| US4399360A (en) | Transmission electron microscope employing sequential pixel acquistion for display | |
| US4034220A (en) | Process and apparatus for the elementary and chemical analysis of a sample by spectrum analysis of the energy of the secondary electrons | |
| US2982814A (en) | Apparatus for determining the composition and condition of a specimen of material | |
| SU1019520A1 (ru) | Растровый электронный микроскоп-микроанализатор | |
| EP0121309B1 (en) | Scan line type dynamic observation apparatus | |
| US3820898A (en) | Multi channel radiation analyzer | |
| US3866044A (en) | Apparatus for determining concentration profile of an element | |
| SU399937A1 (ru) | Электронный микроскоп-анализатор | |
| JP2775928B2 (ja) | 表面分析装置 | |
| US3920890A (en) | Graphic display of raster scanning system output signals | |
| KR830002861Y1 (ko) | 주사전자 현미경 및 그의유사장치의 주사상 관찰장치 | |
| SU1118921A1 (ru) | Осциллографический измеритель амплитудных параметров электрических сигналов | |
| KR830002860Y1 (ko) | 주사전자현미경 및 그 유사장치의 주사상 관찰장치 | |
| JPS56141156A (en) | Sample image display device | |
| SU682967A1 (ru) | Растровый электронный микроскоп | |
| SU746623A1 (ru) | Устройство дл отображени информации на экране электронно-лучевой трубки | |
| SU911343A1 (ru) | Электронно-лучевой осциллограф | |
| SU1003197A1 (ru) | Способ индикации участка изображени , анализируемого диссектором | |
| SU651428A1 (ru) | Электроннолучевой коммутатор | |
| JPH0696711A (ja) | 走査電子顕微鏡像の表示方法 | |
| US3343082A (en) | Raster scanning spectrum analyzer |