SU1014072A1 - Устройство дл сортировки полупроводниковых приборов по электрическим параметрам - Google Patents

Abstract

1 .УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОРТИРОВКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ ПО ЭЛЕКТ- . РИЧЕСКИМ ПАРАМЕТРАМ преимущественно на групповом держателе, содержащее соединенные с приводом механизм загрузки , манипул тор, транспортер-накопитель , контактный механизм, электрически соединенные с измерительным блоком механизм отделени  полупроводниковых приборов от группового держател ,и механи зм рассортировки с приемной тарой, отличающеес   тем, что, с целью повышени  достоверности измерени  электрических параметров и производительности в работе,.оно снабжено проходной климатической камерой и дополнительными манипул тором и контактным механизмом , причем транспортер-накопитель, дополнительный манипул тор и контактный механизм расположены в проходной климатической камере, а механизм отделени  полупроводниковых приборов от группового держател  расположен между проходной климатической камерой и механизмом рассортировки и выполнен в виде барабана с зажимными губками дл  групповых держателей полупроводниковых приборов и дисковых фрез, закрепленных на салазках, кинематически соединенных с бара баном, при этом каждый контактный механизм кинематически соединен с одним из манипул торов. 2. Устройство по п. 1, о т л и чающеес  тем, что механизм отделени  полупроводниковых приборов от группового держател  снабжен фиксатором зажимных губок;барабана, выполненным в виде закрепленной на can лазках подпружиненной планки с okном , имеющим форму профил  занммных губок.

Description

Изобретение относитс  к техноло гическому оборудованию дл  производства полупроводниковых приборов и может быть использовано,на предп  ти х полупроводниковой промышленности , выпускающих транзисторы и т ристоры групповым способом дл  испытани  и рассортировки их по клас сификационным группам. Известен полуавтомат разбраковки транзисторов по параметрам, содержащий загрузочное и подключающе устройства, расположенные на карус ли, совершающей старт-стопное движение , измерительный пост и пост разгрузки, отсекатель и распредели тельный вал с системой кулачков и электропривод U П. Однако такой полуавтомат имеет относительно низкую производитель ность и предназначен, в основном, дл  разбраковки транзисторов в металлических корпусах поштучно. Наиболее близким по технической сущности к изобретению  вл етс  устройство дл  сортировки полупроводниковых приборов по электрическим Т1араметрам, преимущественно на групповом держателе, содержащее соединенные с приводом механизм загрузки, манипул тор, контактный механизм, электрически соединенный с измерительным блоком, механизм отделени  полупр водниковых приборов от группового держател  и механизм рассортировки с приемной тарой 2 . Однако известное устройство мал производительно и не позвол ет . осуществл ть комплексную проверку электрических параметров полупроводниковых приборов одновременно в климатической камере и в нормальных услови х. Цель изобретени  - повышение до товерности измерени  электрических параметров и производительности в боту . 1 Указанна  цель достигаетс  тем , что устройство дл  сортировки полу проводниковых приборов по электрич ким параметрам преимущественно на групповом держателе, содержащее соединенные с приводом механизм за рузки, электрически соединенные с измерительным блоком механизм отделени  полупроводниковых приборов группового держател  и механизм рассортировки с приемной тарой, снабжено проходной климатической камерой и дополнительными манипул тором и контактным механизмом, при| чем транспортер-накопитель, дополнительные манипул тор и контактный механизм расположены в проходной климатической камере, а механизм отделени  полупроводниковых приборов от группового держател  расположен между проходной климатической камерой и механизмом рассортировки и выполнен в виде барабана с зажимными губками дл  групповых держателей полупроводниковых приборов и дисковых фрез, закреплен-i ных на салазках, кинематически соединенных с барабаном, -при этом каждый контактный механизм кинематически соединен с одним из манипул торов . Кроме того, механизм отделени  полупроводниковых приборов от группового держател  снабжен фиксатором зажимных губок барабана, выполненным в виде закрепленной на салазках подпружиненной планки с окном, имеющим форму профил  зажимных губок. На фиг. 1 представлено уоройство , общий вид; на фиг. 2- кинематическа  схема устройства; на фиг.3механизм отделени  полупроводниковых приборов от группового держател ; на фиг. - вид А на фиг. 3; на фиг. 5 - контактно-зажимной групповой механизм; на фиг. 6 - транспортер накопител  с захватом манипул тора; на фиг. 7- транспортер накопител , разрез Б-Б на фиг. 6; на фиг. 8- захват манипуп тора , разрез В-В на фиг. 7; на фиг. 9- группа приборов на групповом держателе, подлежаща  классификации (указаны места контактировани  и перемычки, подлежащие удалению). Устройство содержит механизм загрузки в виде транспортера 1, на который устанавливаютс  кассеты 2 с группами приборов 3. Механизм перемещени  приборов, состо щий из двух засинхронизированных манипул торов и f с четырьм  парами захватов 6 каждый. Захваты 6 имеют подпружиненные губки 7 и 8, эксцентрик 9, соединенный с рычагом 10, взаимодействующий с упором 11 (фиг.8). Губка 8 имеет фиксаторы 12 в виде плавающих шариков. Контактный меха3

ниэм состоит из двух контактных зажимных групповых механизмов 13 и И с общим приводом, имеющих подвижные пружинные контакты 15 и 1б (фиг.5) в количестве, необходимом дл  одновременного контактировани  общего а да управл ющих электродов и катодов у всей группы приборов. Контакты 15 располагаютс  на каретке 17 при- водимой в движение от рычага 18 и через т гу 19.

Накопитель 20 состоит из цепного транспортера 21 с захватом 22 в вид пластин V-образной формы. За счет такой формы захватов происходит фиксаци  и равномерный зажим группы приборов при перемещении их по направл ющим 23 в проходную климатическую камеру 2 (фиг. 1) .

Механизм отделени  полупроводниковых приборов от группового держател  25 (фиг. 3) содержит зажимной барабан 26 с подвижной 27 и неподвижной 28 губками.. Подвижна  губка взаимодействует через рычаг 29 с кулаком 30.

Дисковые фрезы 31 (фиг.) расположены на державке 32 с индивидуальным электроприводом 33 через ременную 3 и зубчатую 35 передачи. Державка 32 с фрезами 31 и приводом 33 находитс  на салазках 36, взаимодействующих через рычаг с купаком на главном валу.

На салазках 36 между фрезами и зажимным барабаном 2б имеетс  фиксирующа  планка 37 с пр моугольным окном Г, имеющим профиль губок 27 и 28 барабана 26.

Дл  транспортировани  группы приборов в зажимной барабан 26 имеетс  направл ющий лоток 38.

Механизм рассортировки 39 шахтного типа выполнен групповым.. От-, деленные приборы по направл ющим kQ попадают в шахты. 1 и раздел ютс  по  щикам 2 флажками k3, соединенп ными с электромагнитами f, получающими команды от ОЗУ блока управлени  5, который имеет св зь с блоком логики 6 (выполненным, например, на базе МСВМ-ТЗ 1б). Измерительной блок соединен с контактами 15 и 16 контактных механизмов 13 и И, а блок управлени  А5 имеет св зь с блоком электромагнитной муфты .

Работу устройства обеспечивает электродвигатель 49 через ременную

0724

передачу 50 и редуктор 51, выходной вал которого соединен с главным валом 52 и блоком из двух, электромагнитных муфтЛВ. 5 На главном валу 52 расположены кулаки 53, взаимодействующие с роликами 5 рычагов 18 контактных механизмов; кулаки 55, взаимодействующие с роликами 56 манипул торов i

0 и 5; кулаки 55 и 57, взаимодействующие с рычагом 58, механизма отделени  35, и поводок 59, который взаимодействует с мальтийским крестом 60 и передает прерывистое враще-

5 ние валу 61 (с циклом мальтийского механизма). На валу б1 расположены конические шестерни 62, передающие вращение через цилиндрические передачи 63 манипул торам и 5, коническа  шестерн  6,передающа  прерывистое вращение через вал б5 и цепные перёН , дачи 66 и б7 соответственно на загрузочный транспортер 1 и транспортер 21 накопител  20..

5 Устройство работает следующим образом .

Кассеты 2 с группами приборов 3 устанавливаютс  на загрузочный транспортер 1 механизма загрузки, который,

Q соверша  прерывистое (старт-стопное) движение, подводит их на позицию захвата манипул тора Ц устройства перемещени  .

Подпружиненные губки 7 и 8 захвата

6, в исходном положении разжаты, при опускании манинул тора 4 сжимаютс  , так как рычаг 10 эксцентрика 9 взаимодействует с клином (не показан ) , при этом плавающие шарики фиксаторов 12 попадают в отверсти , имеЮ1циес  в приборах, и фиксируют их в определенном положении. При дальнейшем вращении главного вала 50 манипул тор поднимаетс  (вынимает

группу приборов из кассеты), повора иваетс  на , а затем, опуска сь , устанавливает группу прибора в контактно-зажимной механизм 12,каретка 17 которого совершает поступвтельное движение через т гу 19 от рычага 18.Пружинные контакты 15 прижиг мают выводы группы приборов к неподвижным контактам 16, и происхо/ т контактирование всех необходимых

5 выводов (места контактировани  пока- заны на фиг. 9).

В момент контактировани  в блок логики выдаетс  сигнал Внешний запуск от бесконтактного датчика (не показан),.св занного с валом 52. По этому сигналу реализуетс  программа Измерение, заложенна  в пам ти блока логики и основанна  на срав нении контролируемых параметров полу проводниковых приборов с заданными уставками. . Токи и напр жени  определенной дл каждого режима измерени  величины обеспечиваютс  генераторами измерительного блока 45. Измерени  параметров , по которым производитс  конт роль и классификаци  полупроводниковых приборов, осуществл етс  цифровы ми измерительными приборами и анало говыми схемами (компараторами) измерите/fbHoro блока , Длительность работы программы Из мерение зависит от конкретной прина лежности каждого полупроводникового прибора к одной из классификационных групп: приборы отбракованные (или переведенные в низшую группу ) поодному из параметров последующему контролю не подвергаютс . Таким образом, на различные группы приборов может быть использовано разное врем  на измерение параметров. Длительность контактировани  выражаетс  формулой t-i-t посто нное пеуеменио  Величина t посто нна  равна минип мальному промежутку времени, необходимому дл  измерени  параметров полупроводниковых приборов (случай, когда все приборы - брак) и задаетс  цик лом (узлами 58 и 59) мальтийского механизма. Величина tпepe eнжi5lЗздaeтc  программно дл  каждого конкретного случа  и определ етс  временем отключени  блока электромагнитных муфт 47, который отключаетс  по сигналу от блока управлени  kk в том случае, если необходимое 2. TiocTo$ v Moe и находитс  в этом состо нии до тех пор, пока не кончитс  контроль параметров последнего полупроводникового прибора в группе приборов, наход щихс  в первом контактно-зажимном механизме .12. Далее по сигналу блока управлени  45 включаетс  блок электромагнитных муфт tS, вал 52 поворачиваетс , рычаг 18 освобождает т гу 19, и каретка 17 с подпружиненными контактами 13 отходит от выводов группы приборов . При этом манипул тро 4 поднимаетс , поворачиваетс  на и снова опускаетс ,, устанавлива  группу приборов на направл ющие 23 накопител  20. В этот момент кулак 10 взаимодей ствует с упором 11, эксцентрик 9 поворачиваетс  и разжимает подпружиненные губки 7 и 8, освобожда  группу приборов (в это( врем  на позици х захвата и контактировани  операции повтор ютс ). При следующем цикле манипул тор снова поднимаетс  и поворачиваетс  на 90®, а транспортер, 21 накопител  20 делает один шаг, при этом группа приборов на направл ющих 23 зажимаетс  V-образными пластинами (или захватами V-образной формы) 22. Таким образом, при последующих циклах узлов 59 и 60 мальтийского механизма группа приборов перемещаетс  в климатическую камеру 24. Длина транспортера 21 накопител  20 и размеры климатической камеры 24 позвол ют группе приборов достичь необходимой температуры и выдержать при ней заданное (необходимое) врем . Когда транспортер 21 накопител  20 по направл ющим 23 подводит зажатую /-образными пластинами 22 группу приборов 3 на позицию захвата второго манипул тора 5, температурные исытани  уже закончены. На позиции захвата манипул тора 5 захваты 22 V-образной формы ослабл ют усилие прижима за счет того, что цепной трансформатор поворачиваетс  по звездочке, и манипул тор 5, производ  операции аналогично первому, переносит группу приборов с транспортера 21 накопител  20 в контактный механизм 14, где происходит контактирование выводов групп приборов аналогично первому. После измерени  контролируемых параметров в климатической камере 24 может произойти переход одного или нескольких приборов в низшую квалификационную группу (или брак). Переход в более высокую группу запрещаетс  программой работы блока логики и схемно в блоке управлени  45. Количество переходов в более низкую классификационную группу после испытаний в климатической камере подсчитываетс  и выводитс  на индикацию дл  статистического анализа с целью последующего совершенствовани  технологического процесса. Таким образом, после окончательного присвоени  каждому прибору соответствующей классификационной группы по результатам двух измерений требуетс  операци  раскладки их по этим классификационным группам , дл  чего необходимо их раздели т.е. отделить от соедин ющих их перемычек (рис .9) . ИтаКу при следующем цикле манипу л тор 5 поднимаетс  , поворачиваетс на 90 и опускаетс , при этом губки 7 и 8 захвата разжимаютс  и груп па приборов по лотку 38 направл етс в захват зажимного барабана 2б меха низма 25 отделени . Поворачива сь на УсР , барабан вы водит группу приборов из зоны клима тической камеры 2, при этом подвиж на  губка 28 взаимодействует через рычаг 29 с кулаком 30 и зажимает группу приборов 3., Далее салазки Зб, на которых-нах дитс  набор дисковых фрез 31 на дер жавке 32 с электроприводом 33 и фи сирующа  планка 37, взаимодействуют через рычаг 5В с кулаком 57 на валу 52 и совершают поступательное движе ние, при этом фиксирующа  планка Зб своим пр моугольным окном, имеющим скосы, повтор ющие профиль губок барабана 26, охватывает губки 33 че рез ременную З и зубчатую 35 передачи , фрезы 31 производ т фрезерование перемычек, т.е. разделение группы приборов на отдельные приборы. При этом опилки отвод тс  по лотку в специальный  щик (не показан ) . Когда салазки Зб возвращаютс  в исходное положение, зажимной барабан 26 снова поворачиваетс  на 90°, и разделенные приборы поступают на позицию сортиро- вки, где подвижна  губка 28 через рычаг 29взаимодействует с кулаком 30 и, разжима сь,, освобождает приборы , которые под собственным весом , падают на направл ющие лотки 40 и далее в шахты k механизма рассортировки 39, при этом происходит считывание скорректированной информации о классификационной принадлежности каждого полупроводникового прибора в регистр управлени  , выходы которого подключены к электромагнитам k3 сортировки 38. Электромагниты tk взаимодействуют с флажками 3, которые открывают путь приборам в необходимые  щики 2. Так как механизм рассортировки шахтного типа выполнен групповым, т.е. количество шахт выполнено по числу приборов, то сортировка (pac-j кладка по типам) производитс  одновременно дл  всех приборов, что позвол ет резко увеличить производительность и повысить достоверность измерени  электрических параметров . Дл  уменьшени  1исла электромагнитов управление осуществл етс  двоичным кодом номера классификационной группы Э типа, при этом число электромагнитов равно m-log n- , где m - число приборов в группе; п - число классификационных групп. Классификатор предложенной конструкции позвол ет резко повысить про-, изводительность на контрольных операци х (в 4-5 раз) за счет использовани  группового контрол  приборов, изготовленных прогрессивными групповым .методом. Введение дополнительного контактно-зажимного механизма позвол ет контактировать группу приборов как в климатической камере, так и в нормальных услови х, что замен ет одну единицу оборудовани . Введение механизма перемещени  в виде двух засинхронизированных манипул торов позвол ет одновременно перемещать одну группу приборов из кассеты в контактный механизм 13, а другую из накопител  в контактный механизм k устройства дл  контактировани . Блок муфт позвол ет проводить скольа щий режим работы устройств, что также, повышает производительность . Механизм отделени  позвол ет осуществл ть контроль группы приборов одновременно и раздел ть их перед сортировкой,а не при изготовлении, что создает удобство обращени  с приборами .

«ч|

S;.

пппплл

I

4

uiiiiii

n n n n n n n П n

Г+ + 4- + + +Г

..ш11Щ1Л11Л 1Л11ЛПЛМ

i

У

K

rts

:s

to

CsSNFo

.

I

«o

и

«

NNN

Фиг. 6

Claims (2)

1.УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОРТИРОВКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ ПО ЭЛЕКТРИЧЕСКИМ ПАРАМЕТРАМ преимущественно на групповом держателе, содержащее соединенные с приводом механизм загрузки, манипулятор, транспортер-накопитель, контактный механизм, электрически соединенные с измерительным блоком механизм отделения полупроводниковых приборов от группового держателя,и механизм рассортировки с приемной тарой, отличающеес я тем, что, с целью повышения достоверности измерения электрических параметров и производительности в работе, оно снабжено проходной климатической камерой и дополнительными манипулятором и контактным механизмом, причем транспортер-накопитель, дополнительный манипулятор и контактный механизм расположены в проходной климатической камере, а механиам отделения полупроводниковых приборов от группового держателя расположен между проходной климатической камерой и механизмом рассортировки и выполнен в виде барабана с зажимными губками для групповых держателей полупроводниковых приборов и дисковых фрез, закрепленных на салазках, кинематически соединенных с барабаном, при этом каждый контактный механизм кинематически соединен с одним из манипуляторов.

2. Устройство по п. ^отличающееся тем, что механизм отделения полупроводниковых приборов от группового держателя снабжен фиксатором зажимных губок;барабана, выполненным в виде закрепленной на сап лазках подпружиненной планки с окном, имеющим форму профиля зажимных губок.

SU .... 1014072