SE505079C2 - Maskin för tillverkning av t ex CD-skivor - Google Patents
Maskin för tillverkning av t ex CD-skivorInfo
- Publication number
- SE505079C2 SE505079C2 SE9504226A SE9504226A SE505079C2 SE 505079 C2 SE505079 C2 SE 505079C2 SE 9504226 A SE9504226 A SE 9504226A SE 9504226 A SE9504226 A SE 9504226A SE 505079 C2 SE505079 C2 SE 505079C2
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- manipulator
- vacuum
- manufacturing process
- arms
- manufacturing
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Permanent Magnet Type Synchronous Machine (AREA)
Description
505 079 2 torarm samt vakuumsluss.
Fönsonrisan uTFönmGsFonM l Fig 1 visas en centralmanipulator X med ett antal (5) radiellt utåtriktade manipulatorar- mar A, B, C, D, E. Centralmanipulatorn är anordnad för genomföring av fram- (medurs) och åter- (moturs) gående vridrörelser, se heldragen pil 10 resp. streckad pil 11, lett första plan h (horisontellt) samt lyft- och sänkrörelser i ett mot det första planet vinkelrätt andra plan v (vertikalt) i enlighet med på förhand bestämt och en tillverkningsprocess för CD-skivor styrande program. Manipulatorarmarna A-E är anordnade för successiv för- flyttning av skivor från position till position till på förhand genom programmet bestämda arbetslagen erforderliga för successiv genomföring av tillverkningsmoment ingående i tillverkningsprocessen. De olika positionerna är betecknade 4, 5, 6,7 , 8, 9, 12, 14, 16, och 18. En del av tillverkningsmomenten skall nu något beröras.
Manipulatorarmen A, som i Fig 1 befinner sig i position 4, ”indexeras” till position 5 med- förande från position 4 med hjälp av sugkoppar ett ämne till CD-skiva till position 5, där ämnet avlämnas. Armen har i denna position5 även en funktion i samband med en vakuumsluss 21-22-23 till en vakuumkammare 25, vilket skall beskrivas närmare i an- slutning till Fig 2.
Medan armen A förflyttas från position 4 till position 5 förflyttas: o armen B från position 5 till position 9, medförande en med aluminium beskiktad ski- va; o armenCfrån position9 till position 12, medförande en med skyddslack över alu- miniumskiktet beskiktad skiva; o armenDfrån position 12till position 14, medförande en i position 12 med starkt UV-ljus härdad skiva; o armen E från position 14 till position 16, medförande en i position 14 avsynad skiva med avseende på fel, skador och/eller kosmetiska brister. Skivan har härvid be- funnits godkänd. Har skivan däremot befunnits icke godkänd svänger armen E ut till position 18 med hjälp av en pneumatisk cylinder monterad på centralmanipula- torn X.
Som framgår av Fig 2 har manipulatorarmen A i sin yttre ände en övre, lösbart anordnad del 21 av en vakuumsluss 21-22-23 och är anordnad att i en på förhand bestämd posi- tion, nämligen positionen 5, och efter en sänkrörelse avlämna den övre delen 21 på en mellandel 22 av vakuumslussen, vilken mellandel utgör en integrerande del i ett kam- marlock 250 till vakuumkammaren 25. l denna kammare finns en intern manipulator 20 för genomförande av ett vakuumkrävande tillverkningsmoment i den kompletta tillverk- ningsprocessen. Manipulatorn 20 är fyrklöverformad (har fyra armar) och har en arm 201, vars yttre ände är utformad med en fast del 23. som utgör nedre rörlig del i vaku- umslussen 21-22-23. 3 505 079 Med ett system av ventiler för vakuumpumpning resp. tryckökning i vakuumslussen 21- 22-23 uppnås att armen A avger en skiva i mellandelen 22, armen 201 fångar upp och transporterar skivan till en väntstation i position 6 i kammaren 25, vidare till en position 7 för beskiktning med aluminium genom katodförstofftning , vidare till en väntstation 8 och slutligen tillbaka till position 5, där armen B nu befinner sig och tar skivan till positionen 9, se Fig 1.
Som redan tidigare antytts är en av centralmanipulatorns X armar, nämligen armen E, anordnad att, förutom att deltaga i centralmanipulatorns X vridrörelse åt ett håll till en viss position, nämligen position 16, dessutom utföra en individuell vridrörelse ett stycke till en efterföljande position 18, detta under förutsättning att särskild impuls kommer från det nämnda programmet, indikerande att skivan ifråga icke befunnits godkänd vid avsy- ningen i positionen 14.
Claims (2)
1. Maskin för tillverkning av t.ex. CD-skivor, anordnad för genomföring av ett antal till- verkningsmoment ingående i en komplett tillverkningsprocess, omfattande en central- manipulator (X) med ett antal radiellt utåtriktade manipulatorarmar (A, B, C,.,,E), varvid centralmanipulatorn (X) är anordnad för genomföring av fram- och återgående vridrörel- ser i ett första plan (h) samt lyft- och sänkrörelser i et mot det först nämnda planet vinkel- rätt andra plan (v) i enlighet med på förhand bestämt och tillverkningsprocessen styran- de program, och varvid manipulatorarmarna (A, B, C, ...E) är anordnade för successiv förflyttning av skivor från position (t.ex. 4) till position (5) till på förhand genom program- met bestämda arbetslagen erforderliga för successiv genomföring av tillverkningsmo- ment ingående i tillverkningsprocessen. kännetecknad därav, att en (A) av manipulatorarmarna (A-E) i sin yttre ände har en övre, lösbart anordnad del (21) av en vakuumsluss (21-22-23) och är anordnad att i en på förhand bestämd posi- tion (5) och efter en sänkrörelse avlämna den övre delen (21) på en mellandel av vaku- umslussen (21-22-23), vilken mellandel (22) utgör en integrerande, fast del i ett kam- marlock (250) till en vakuumkammare (25), i vilken är placerad en flerarmad, inre mani- pulator (20), som i en (24) av sina manipulatorarmars yttre ände (241) har placerad en nedre del (23) av vakuumslussen (21-22-23), och som är anordnad för genomförande av ett vakuumkrävande tillverkningsmoment i den kompletta tillverkningsprocessen.
2. Maskin enligt patentkravet 1, kännetecknad därav, att en (E) av centralmanipulatorns (X) manipulatorarmar (A-E) är anordnad att, förutom att deltaga i centralmanipulatorns (X) vridrörelse åt ett håll till en viss position (16), dess- utom utföra en individuell vridrörelse ytterligare ett stycke till en efterföljande position (18) under förutsättning av särskild impuls från det nämnda programmet
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE9504226A SE505079C2 (sv) | 1995-11-27 | 1995-11-27 | Maskin för tillverkning av t ex CD-skivor |
| DE69622426T DE69622426T2 (de) | 1995-11-27 | 1996-11-26 | Maschine zur herstellung von z.b. compact discs |
| PCT/SE1996/001542 WO1997020313A1 (en) | 1995-11-27 | 1996-11-26 | A machine for manufacturing compact discs, for instance |
| EP96940222A EP0864151B1 (en) | 1995-11-27 | 1996-11-26 | A machine for manufacturing compact discs, for instance |
| AT96940222T ATE220819T1 (de) | 1995-11-27 | 1996-11-26 | Maschine zur herstellung von z.b. compact discs |
| US09/996,810 US6702540B2 (en) | 1995-11-27 | 2001-11-30 | Machine and method for manufacturing compact discs |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE9504226A SE505079C2 (sv) | 1995-11-27 | 1995-11-27 | Maskin för tillverkning av t ex CD-skivor |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SE9504226D0 SE9504226D0 (sv) | 1995-11-27 |
| SE9504226L SE9504226L (sv) | 1997-05-28 |
| SE505079C2 true SE505079C2 (sv) | 1997-06-23 |
Family
ID=20400367
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SE9504226A SE505079C2 (sv) | 1995-11-27 | 1995-11-27 | Maskin för tillverkning av t ex CD-skivor |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0864151B1 (sv) |
| AT (1) | ATE220819T1 (sv) |
| DE (1) | DE69622426T2 (sv) |
| SE (1) | SE505079C2 (sv) |
| WO (1) | WO1997020313A1 (sv) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE29816588U1 (de) | 1998-09-16 | 1998-12-24 | Leybold Systems GmbH, 63450 Hanau | Vorrichtung zum Trocknen von mit Lack überzogenen Substraten, beispielsweise für schutzlackierte Compact Disks innerhalb einer Fertigungslinie |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3629045A1 (de) * | 1986-08-27 | 1988-03-10 | Keil D J Kg | Handhabungs- und foerdereinrichtung fuer compact-disk-rohlinge o.dgl. |
| DE3720525A1 (de) * | 1987-06-20 | 1988-12-29 | Pav Praezisions Apparatebau Ag | Belackungsanlage fuer compact-discs |
| NL9201065A (nl) * | 1992-06-16 | 1994-01-17 | Od & Me Bv | Inrichting voor het bewerken van schijfvormige registratiedragers. |
| DE4235676C2 (de) * | 1992-10-22 | 1997-08-28 | Balzers Hochvakuum | Vakuumkammer zum Transport scheibenförmiger Werkstücke in einer Vakuumanlage |
-
1995
- 1995-11-27 SE SE9504226A patent/SE505079C2/sv not_active IP Right Cessation
-
1996
- 1996-11-26 AT AT96940222T patent/ATE220819T1/de not_active IP Right Cessation
- 1996-11-26 DE DE69622426T patent/DE69622426T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1996-11-26 WO PCT/SE1996/001542 patent/WO1997020313A1/en active IP Right Grant
- 1996-11-26 EP EP96940222A patent/EP0864151B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0864151A1 (en) | 1998-09-16 |
| SE9504226L (sv) | 1997-05-28 |
| DE69622426T2 (de) | 2003-04-24 |
| SE9504226D0 (sv) | 1995-11-27 |
| EP0864151B1 (en) | 2002-07-17 |
| ATE220819T1 (de) | 2002-08-15 |
| WO1997020313A1 (en) | 1997-06-05 |
| DE69622426D1 (de) | 2002-08-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6231716B1 (en) | Processing chamber with rapid wafer exchange | |
| CN104570622B (zh) | 一种光刻机的接近式间隙曝光工件台 | |
| TWI794475B (zh) | 用於接收多個基板以進行處理之保持裝置、處理系統及方法 | |
| US20060054494A1 (en) | Physical vapor deposition apparatus for depositing thin multilayer films and methods of depositing such films | |
| CN206068844U (zh) | 铭牌上料机构 | |
| US6264804B1 (en) | System and method for handling and masking a substrate in a sputter deposition system | |
| CN105887036A (zh) | 一种工件装夹夹具 | |
| US5993556A (en) | Vacuum treatment system for depositing thin coatings | |
| SE505079C2 (sv) | Maskin för tillverkning av t ex CD-skivor | |
| CN102110592A (zh) | 用于干法刻蚀的蓝宝石衬底表面加工前期生产方法 | |
| US6702540B2 (en) | Machine and method for manufacturing compact discs | |
| DE19705394A1 (de) | Vorrichtung zum Halten eines flachen Substrats | |
| CN111781805A (zh) | 一种光刻机用吸附区域可调的真空吸盘 | |
| CN108043907B (zh) | 一种循环式免停留导风板整形设备 | |
| US20230223294A1 (en) | Ejector pin structure, semiconductor processing device, and method for using semiconductor processing device | |
| US6573520B1 (en) | Electron beam lithography system | |
| CN106711080A (zh) | 承载装置及半导体加工设备 | |
| CN1291061C (zh) | 在一个基底上进行至少一种工艺作业的设备和组件 | |
| US6733829B2 (en) | Anti-binding deposition ring | |
| CN221192294U (zh) | 硅圆基片电子束蒸镀辅助装置 | |
| CN109623858B (zh) | 一种夹取磁瓦的机器人抓手 | |
| CN221297033U (zh) | 一种可镀多规格镜片的镀膜治具 | |
| CN214880057U (zh) | 一种针对异型高盖表面的多定位点式的高盖旋转定位装置 | |
| CN214923743U (zh) | 一种带有真空吸盘的旋转台 | |
| CN101213603B (zh) | 用于涂覆光学数据载体的片状衬底的装置和方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| NUG | Patent has lapsed |