SE463766B - Anordning foer och saett att pyrolytiskt bilda en metallfoereningsbelaeggning paa glas - Google Patents

Description

766 användes för förglasningsändamål bär ha en hög och jämn optisk kvalitet. Emedan beläggningarna vanligen anbringas till en tjocklek av mellan omkring 30 nm och 1200 nm, beroende på ar- ten av beläggníngsmaterial och erforderliga egenskaper kan variationer i en beläggnings tjocklek ge anledning till miss- hagliga interferenseffekter, varför en enhetlig tjocklek är viktig för god optisk kvalitet. Men det är också särskilt vik- tigt att beläggningarna bör vara fria från fläckar och andra lokaliserade defekter och att de bör ha en fin och jämn kristallstruktur.

Det är ej ens lätt att bilda pyrolytiska beläggningar. som är i överensstämmelse med god optisk kvalitet, särskilt vid gans- ka höga avsättningshastigheter som kräves för att bilda tjocka beläggningar på sig snabbt rörande glassubstrat, t.ex. en 750 nm tjock beläggning av tennoxid på ett just bildat band av float-glas, som rör sig med en hastighet av över 8 m/min. Fel i tjockleksjämnhet, sammansättning och/eller struktur är mycket benägna att förekomma i industriell skala i en belägg- ningsanläggning och mycken forskning har ägnats åt att finna en lösning på detta problem.

Sådan forskning har utforskat möjligheterna att använda anord- ningar för att utföra två tekniker vid beläggningsavsättning, nämligen avsättning från beläggningsmaterial i ångfas och avsättning från beläggningsmaterial i flytande fas.

Vid ångfasavsättníng har forskningen lett till en teknik där beläggningsmaterialet i ångfasen bringas att inträda i en beläggningskammare och strömma såsom en jämn, väl reglerad, icke turbulent och enhetlig ström i kontakt med substratet som belägges. Under det att vi har funnit att en sådan teknik kan resultera i bildning av en beläggning med en fin och jämn , struktur har vi emellertid ej varit istånd att uppnå en till- fredsställande regelbundenhet i tjocklek för att uppfylla lö- , pande kommersiella krav särskilt för förglasningar av stora storlekar såsom i ökande grad erfordras i modern arkitektur.

Det har helt enkelt ej varit möjligt att konstruera anordning- 76-6 ar, som medger den erforderliga utövningen av regleringsgrad när det gäller införandet av beläggningsmaterialet i be- läggningskammaren, så att det strömmar enhetligt och jämnt i kontakt med glaset i kommersiell driftskala, med resultat att oförutsebara tjockleksvariationer förekommer i de bildade be- läggningarna och en andel av det framställda belagda glaset har ej en acceptabel kvalitet. Vidare är det nödvändigt att använda ett ganska flyktigt beläggningsmaterial och detta representerar en icke önskvärd begränsning i valet av till- gängliga material. Även kända ångfasbeläggningsförfaranden lämpar sig ej för bildning av beläggningar med en tjocklek av mer än omkring 400 nm, särskilt då glaset rör sig ganska snabbt såsom kan föreskrivas av annan anläggning som användes vid det industriella produktionsprogrammet.

För att bilda tjockare beläggningar, är det vanligt att använ- da en flytande fas eller duschbeläggningsanordning för att duscha en ström av små droppar av beläggningslösning över till substratet. Sådan anordning förenklar hantering av stora mängder erforderligt beläggningsmaterial, men det lider av ett antal nackdelar. För det första föreligger en allvarlig risk att kontakten mellan de vanligen ganska stora mängder beläggningslösning som duschas på det varma glassubstratet kommer att ge anledning till branta värmegradienter inom gla- set med resultat att vid kylning efter beläggningsoperationen glaset utsättes för höga spänningar. Detta kan göra det mycket svårt att skära glaset till skivor eller mindre skivor om detta skulle erfordras och det gör glaset lätt bräckskört. För det andra är det mycket svårt att uppnå en beläggning med hög och jämn kvalitet.

Vid sökandet efter förbättringar i kvalitet, har uppmärksamhet hittills primärt varit koncentrerade på förhållandena vid och i den omedelbara närheten av zonen där de små dropparna av duschat material slår an mot glaset. Beläggningsdefekter har en tendens att inträffa i detta område antingen på grund av medbringandet av reaktionsprodukter från den gasformiga omgiv- ningen av den duschade strömmen av små droppar eller på grund . p. 4 ?É>b v\ C av stänk av de små dropparna vid anslag mot glaset. För att undvika sådana fel har olika förslag gjorts innebärande alst- ring av spolande gasströmmar för att svepa potentiellt skad- ligt material från omgivningen i omedelbar närhet av anslags- zonen. vid ett känt sätt transporteras ett kontinuerligt band av glas genom en beläggningskammare. där det duschas med en förbeläggningslösning från ett sig i tvärled fram- och åter- gående rörande duschhuvud. Duschhuvudet regleras så att det uppnår en jämn avsättning av små droppar i anslagszonen och en spolande gasström blåses utmed glaset genom den kammaren, för att så rengöra omgivningen i den tvärgående vägen före ström- men av små droppar. Den spolande gasströmmen kan vara kontinu- erlig i vilket fall den oundvikligen anslår mot den duschade strömmen av små droppar. Men i det fallet iakttages omsorg att begränsa den spolande gasströmmens hastighet, så att den ej stör de jämna och stabila förhållandena vid anslagszonen.

Den jämna och försiktiga avsättningen av små droppar som er- fordras beror av villkoret på en tillräckligt låg kinetisk energi hos den duschade lösningens små droppar. Därför är an- vändningen av anordningen begränsad med avseende på belägg- ningshastigheterna som kan uppnås.

I avsikt att bilda goda kvalitetsbeläggningar snabbare, har man föreslagit att använda en dusch med mycket högre energi och samtidigt blåsa kraftiga gasströmmar mot och omkring den duschade strömmen av små droppar i närheten av anslagszonen. så att de små dropparna, som oundvikligen kommer att stänka eller studsa från glaset omedelbart medbringas bort därifrån.

Ehuru snabbare beläggningsbildningshastigheter är möjliga ge- nom detta förfarande kräver undvikandet av falska avsättningar till följd av de små dropparnas stänk att spolgasfläkten (fläktarna) omsorgsfullt måste riktas och regleras. Spolgasen måste levereras från munstycken. som är nära förbundna med duschhuvudet och rör sig som en enhet därmed utmed dess tvär- gående väg. Då man använder högenergiduschningsförfarandet är glaset särskilt benäget att bli utsatt för höga spänningar och vidare har man funnit att fel inom beläggningen förekommer med li-óš 76k» oacceptabel frekvens även efter de mest omsorgsfulla juste- ringar av duschhuvudet och tillhörande spolgasstrålfläktar.

Vi har funnit att då man driver de kända duschningsanordning- arna, trots omsorgsfull reglering av duschomgivningen, belägg- ningarna ofta ej har de strukturella egenskaper som är nödvän- diga för en hög optisk kvalitet och det är svårt att erhålla dessa egenskaper på ett pålitligt och reproducerbart sätt. varvid svårigheten är större ju högre den eftersträvade be- läggningshastigheten är. Särskilt har vi funnit att de resul- terande beläggningarna har höga disighetsfaktorer, men vad som är ännu mísshaglígre är att disighetsfaktorn är oregelbunden över beläggningens yta.

Det är ett ändamål med föreliggande uppfinning att tillhanda- hålla anordningar, som kan användas för att bilda beläggningar med hög optisk kvalitet och jämn struktur pålitligt och repro- ducerbart. även vid höga beläggningsavsättningshastigheter och utan att framkalla sådana höga värmespänningar i glassub- Stratet.

Enligt föreliggande uppfinning avses en anordning för att py- rolytiskt bilda en beläggning av en metallförening på en övre yta av ett varmt glassubstrat i skiv- eller bandform omfattan- de transportanordning för att transportera ett sådant substrat i en snedströmsriktning utmed en väg, en beläggningsstation omfattande en takkonstruktion begränsande en beläggníngskam- maröppning nedåt över till vägen och anordningar för att duscha beläggningsmaterial in i kammaren, nedåt mot substra- tet, och utmärkes av att: duschanordningen är placerad för att duscha beläggningslösningen in i en duschzon till beläggnings- kammaren från en höjd ovanför substratvägen av åtminstone 75 cm; uppvärmníngsanordningar finnes för att tillföra värme till duschzonen; takkonstruktionen begränsar en passagedel till be- läggníngskammaren. som leder nedströms från duschzonen och ger beläggníngskammaren en total längd av åtminstone 2 m; och an- ordningar finnes för att alstra sugkrafter på atmosfärískt material inom sådan passage för att underlätta för sådant z '" ' 5 465 7Öb material att strömma utmed substratvägen till nedströmsänden av passagen och inträda i avgasledning för att leda sådant material bort från substratvägen.

En anordning enligt uppfinningen är mera ekonomisk att driva än en vanlig ångbeläggningsanordning i vilken allt belägg- ningsmaterial måste förångas före kontakt med glaset och den är enklare att konstruera än kända duschanordningar särskilt emedan problemen i samband med stänk och medbringning av stora mängder sprutad beläggningslösning bort från zonen, där be- läggningen bildas. undvikes.

Då man använder en anordning enligt uppfinningen såsom ovan definierats har vi funnit det mycket lättare att bilda belägg- ningar med hög optisk kvalitet och jämn struktur pålitligt och reproducerbart även vid höga beläggningshastigheter och utan att framkalla höga värmespänningar i glaset. Särskilt har vi funnit det mycket lättare att bilda beläggningar, som har en låg och jämnt låg disighetsfaktor.

Givetvis bör för att uppnå sådan reproducerbar hög belägg- ningskvalitet, anordningen användas på ett lämpligt sätt, men kombinationen av särdrag hos anordningen såsom beskrivits ovan är särskilt gynnsam för att underlätta reglering av förhållan- den inom beläggningskammaren. För att uppnå dessa goda resul- tat har vi funnit att om man använder anordningen det är bäst att reglera förhållandena så att en väsentlig andel av belägg- ningslösningen förångas före den kommer i kontakt med substra- tet, så att atmosfären inom duschningszonen blir laddad med förbeläggningsånga, som sedan drages utmed passagen, där den täcker och förblir i kontakt med substratet.

Detta representerar faktiskt ett radikalt avsteg från den inom detta område kända teknikens läror. Man har hitintills ansett det nödvändigt att reglera förhållandena så att så litet be- läggningsmaterial som möjligt förångas för att förhindra det att reagera med atmosfären inom duschningszonen och bilda reaktionsprodukter, som skulle kunna avsätta sig på substratet 7 . . lëâzš '2766 och bilda effekter i beläggningen. Man har även ansett det nödvändigt att avsuga överskottsförbeläggningsmaterial och reaktionsprodukter bort från substratet så snart som möjligt, återigen för att förhindra falsk avsättning på substratet och beläggningszonlängder på 60 cm till 100 cm är representativa inom den tidigare kända tekniken.

Skälen varför användningen av en sådan anordning bör gynna bättre beläggningskvalitetstandard är ej helt klara. men fak- tum kvarstår att med hjälp av en sådan anordning är vi istând att bilda beläggningar med en mera jämn och lägre disighets- faktor än som varit möjligt tidigare. De bildade beläggningar- na kan ha en hög optisk kvalitet och en regelbunden och förut- sebar tjocklek. Genom att använda en sådan anordning är vi vi- dare istånd att bilda dessa beläggningar på glassubstrat snab- bare och därför till större tjocklekar eller över till sig snabbare rörande substrat än vi hittills varit istånd till.

En särskild viktig användning för anordningen enligt uppfin- ningen är vid bildning av tennoxidbeläggningar med användning av tenn(II)klorid som beläggningsmaterial. Tennoxidbelägg- ningar, som minskar utstrålningen med avseende på infraröd strålning med lång våglängd från glasskivornas ytor på vilka de anbringas, användes i stor utsträckning för att minska vär- meöverföring från förglasade konstruktioner. Detta är givetvis endast ett exempel på ändamålet för vilket anordningen kan an- vändas. Som ett annat exempel kan anordningen användas för att bilda en beläggning av titandioxid eller en blandning av oxi- der såsom en blandning av kobolt. järn och kromoxider.

Anordningen är särskilt gynnsam för snabb beläggningsbildning såsom t.ex. kräves för att bilda relativt tjocka beläggningar, t.ex. en beläggning av 500 nm till 1000 nm tjocka på ett just bildat glasband, som förflyttas med flera meter per minut från en float-Vanna eller annan anläggning för bildning av plant glas.

Företrädesvis har en sådan beläggningskammare en längd av åt- 'Ii-Bb minstone 5 m. Man har funnit att detta är särskilt gynnsamt för bildning av relativt tjocka beläggningar, t.ex. de på 500 nm eller mera i tjocklek, på grund av att för en given hastighet på substratet den medger en längre kontakttid mellan förbeläggningsånga och substratet, för avsättning av ytterli- gare beläggningsmaterial och/eller för konditionering av redan avsatt material.

I särskilt föredragna utföringsformer av uppfinningen är duschanordningen placerad för att duscha beläggningsmaterialet från en källa som är åtminstone l m, och företrädesvis åtmins- tone l,2 m ovanför substratvägen. Detta medger en lång bana för det duschade materialet så att materialet ges mera tid att bli förångat före kontakt med glaset och det medför en hög duschningszon, som sedan kan tjäna som en reservoar för det förångade materialet från vilket materialet kan dragas ned- ströms in i passagen. En anordning inbegripande detta före- dragna särdrag kan kontrasteras med tidigare kända duschanord- ningar i vilken en duschutmatningshöjd på 30 cm eller mindre är vanlig. vid särskilda fördelaktiga utföringsformer av uppfinningen i nedströmsänden på duschzonen går takkonstruktionen väsentligen vertikalt nedåt för att begränsa en utträdesspringa som leder in till passagen. Detta ger mycket viktiga fördelar. Reser- voareffekten i duschningszonen förbättras. så att det är lät- tare att draga atmosfäriskt material. som är jämnt bemängt med beläggningsånga in i passagen och vidare att ångbemängd atmos- fär därvid nödgas strömma nedåt mot substratet.

Företrädesvis är höjden på utträdesspringan högst hälften av höjden mellan duschkällan och substratvägen. Detta befinnes medge rum för god blandning av atmosfäriskt material i den övre halvan av duschningszonen ur linje med utträdesspringan och det befordrar vidare enhetligheten och jämnheten med vil- ken atmosfären däri kan bemängas med beläggningsångor.

Med fördel har åtminstone en del av passagens längd mindre 453 yëå höjd än duschningszonen. Atmosfäriskt material, som strömmar utmed sådan mindre hög passagelängd nödgas därvid fysiskt att strömma relativt nära substratet, så att beläggningsångan som medbringas däri kan verka på beläggningen.

Vid vissa föredragna utföringsformer av uppfinningen konverge- rar takkonstruktionen mot substratvägen i nedströmsriktningen över passagens längd. Detta förbättrar det nedåtgående tvånget på atmosfäriskt material inom passagen, trots någon utarmning i materialets volym då det går i nedströmsriktningen.

Vid andra föredragna utföringsformer av uppfinningen inbegri- per takkonstruktionen en bryggvägg över substratvägen begrän- sande en utträdesspringa från duschningszonen och som skiljer den zonen och en sådan passage, när passagen har en höjd som är större än den hos utträdesspringan. vid sådana konstruk- tioner kommer atmosfäriska strömmar som inträder i passagen från utträdesspringan naturligtvis att sakta ner och det är möjligt att åtminstone delvis förlita sig på beläggnings- ångornas höga täthet för att hålla dem i kontakt med ett sub- strat som rör sig genom anordningen.

Vid särskilt fördelaktiga utföringsformer av uppfinningen är duschanordningen så anordnad att duscha beläggningsmateria- let nedåt och i nedströmsriktningen. Detta underlättar utmat- ningen av beläggningsmaterialet under det att ett allmänt nedströmsflöde i beläggningskammaren upprätthålles, det för- länger det sprutade materialets bana jämfört med vertikal duschning från samma höjd och ger så längre tid för förångning från lösningen och det underlättar placeringen av uppvärm- ningsanordningarna i duschningszonen, så att sådana anordning- ar kan ha en direkt verkan på det sprutade materialet.

Företrädesvis finnes anordning för att utmata beläggnings- material och åtminstone en gasström in i duschningszonen i skärande riktningar. Detta är ett mycket enkelt medel för att säkerställa blandning av materialen, som kommer att införas i duschningszonen under anordningens användning, utan att kräva 10 lš-éš Wlé några särskilda blandningsanordningar, som skulle vara istånd att motstå den varma och korrosiva atmosfären, som skulle alstras í den zonen.

Med fördel finns det åtminstone en sådan gasutmatningsanord- ning, som uppvisar ett utmatningsmunstycke placerat i den övre hälften av höjden mellan duschkällan och substratytan. Använd- ning av en sådan anordning är högst verksam för att befordra blandning utan alltför mycket störning från atmosfären omedel- bart ovanför substratvägen. vid särskilda föredragna utföringsformer av uppfinningen fin- nes en anordning för att förvärma åtminstone en sådan gas- ström. Detta förhindrar kondensation av det sprutade materia- let. Det är önskvärt att undvika kondensation av beläggnings- ångor på väggarna eller taket i kammaren eftersom detta ofta skulle leda till korrosion och det föreligger en risk att något sådant kondenserat material sedan skulle kunna droppa ned på substratet och fläcka en beläggning som bildas.

I vissa föredragna utföringsformer av uppfinningen finns åt- minstone en sådan gasutmatningsanordníng anordnad att utmata en sådan gasström från uppströms om beläggningsduschutmat- ningsaxeln. Utmatning av gas från sådan anordning befordrar en gynnsam cirkulation av gasströmmar inom beläggningskammaren.

Företrädesvis finnes en nedåt riktad strålningsvärmningsanord- ning ovanför duschzonen. Detta är ett mycket enkelt sätt att åstadkomma värme för förångníng av den sprutade beläggnings- lösningen. Sådan uppvärmningsanordning är även nyttig för att öka temperaturen inom duschningszonen, så att beläggningsbild- ningen kan åtminstone initieras vid en högre temperatur, och ge fördelar i utbytet och varaktigheten av den bildade belägg- ningen och för att förhindra kondensation på taket till dusch- níngszonen.

Företrädesvis finnes en anordning för att värma passagen ovan- ifrån. En sådan värmeanordning är nyttig för att öka tempera- 11 465 vas turen inom passagen, så att beläggningen kan avslutas eller konditioneras vid en högre temperatur, vilket ger fördelar i hårdhet och varaktighet hos den bildade beläggningen och för att förhindra kondensation på taket till passagen.

Vid vissa föredragna utföringsformer av uppfinningen finns uppströms om utmatningsaklen till duschanordningen för be- läggningsmaterial, anordningar för att utmata en gasstråle nedåt i närheten av utmatningsaxeln för att avskärma det utsprutade beläggningsmaterialet. Detta hjälper till att förhindra medbringande av något oönskat material, t.ex. beläggningsreaktionsprodukter i den bakre delen av strömmen.

Företrädesvis omfattar beläggningsduschanordningen ett duschmunstycke och anordning för att upprepade gånger förflyt- ta sådant munstycke utmed en väg tvärs för substratets väg.

Detta befordrar blandning av förångat beläggningsmaterial i atmosfären inom beläggningskammarens duschningszon.

Med fördel finnes anordningar för att upprepat förflytta sådan avskärmande gasstråleutmatningsanordning utmed en väg tvärs för substratvägen i tandem med beläggningsduschmunstycket.

Detta medger en effektiv avskärmning under det att man inför relativt små mängder avskärmande gas. vid vissa föredragna utföringsformer av uppfinningen finnes en anordning för att blåsa gas uppåt förbi varje sida om sub- stratvägen i duschningszonen. Sådana blåsanordníngar kan an- vändas för att bilda gasskärmar mot sidoväggarna i duschnings- zonen i beläggningskammaren, som tjänar till att skydda dessa väggar mot de korrosiva verkningarna av det sprutade materia- let och dess reaktionsprodukter. Sådana gasskärmar kan även förhindra att det sprutade materialet, särskilt då relativt små mängder sprutas,.från att passera under substratvägen där det skulle vara tillgängligt för att bilda en icke önskvärd beläggning på den undre ytan av ett substrat.

Företrädesvis är en avgasledning lokaliseerad i nedströmsänden _ _ 12 ÅÉ- i' f] *Ö t'- på beläggningskammaren, och har en eller flera inlopp placera- de över substratvägen och sträckande sig tvärs över åtminstone huvuddelen av dess bredd. Sådan avgasledning är av enkel konstruktion och är mycket lätt att placera och medger en ef- fektiv avsugning av material bort från substratvägen. Använd- ningen av sådan ledning är särskilt lämplig för att förorsaka det utsugna materialet att gå i huvudsak i nedströmsriktning till dess att det inträder i ledningen och detta ger minst störning till flödesmönstret inom passagen. Anammandet av det- ta särdrag är högst önskvärt då mycket stora mängder belägg- ningslösning duschas in i kammaren.

Med fördel finnes en krökt avgassamlare vid ett avgasinlopp över vägen. Man har funnit att detta arrangemang medger en högeffektiv sugning av beläggningsreaktionsprodukter och oan- vänt beläggningsmaterial, eftersom sådant atmosfäriskt ma- terial därvid kan bringas att strömma mera jämnt in i avgas- ledningen. Detta ger mycket viktiga praktiska fördelar. sär- skilt om man bildar relativt tjocka beläggningar och kan t.ex. resultera i bildning av en tennoxidbeläggning med minskad ut- strålning. Det föredrages att avgassamlaren är rörlig för att justera spelet mellan dess nederdel och vägen utmed vilken glaset förflyttas, t.ex. medelst en vridbar montering, för att så uppnå maximal stängning av nedströmsänden i beläggningssta- tionen.

Beroende på tryckförhållanden ovanför och nedanför substratet vid beläggníngskammaren kan det finnas en tendens för den med material bemängda atmosfären att strömma under substratet, där det kommer att avsätta en icke önskvärd beläggning på dess undre yta. Beroende på atmosfäriska strömmars flödesmönster i och under beläggningskammaren, kan denna icke önskvärda be- läggning vara mer eller mindre regelbunden, men så tunn så att den ger upphov till i hög grad icke önskvärda interferens- effekter, t.ex. kan den utgöra en mer eller mindre regelbunden beläggning, vars tjocklek minskar mot substratets mitt eller den kan vara en ganska oregelbunden beläggning i ett mönster, av en del påminnande om markeringarna på ett backgammon-bräde. 13 465 ?@s Denna tendens motverkas i viss utsträckning genom förekomsten av uppåt riktade blåsanordningar vid duschningszonens sidor såsom förut nämnts. Men det kan alternativt vara en tendens för atmosfärmaterial att strömma uppåt underifrån substratvä- gen och utspäda koncentrationen av beläggningsânga särskilt vid sidorna av beläggningskammaren. Detta är icke önskvärt ef- tersom det kan leda till otillräcklig ångfasavsättning på sub- stratets kanter eller till otillräcklig konditionering de be- lagda kanterna på ett sådant substrat och därmed finns i sär- skilt fördelaktiga utföringsformer av uppfinningen anordningar för att förhindra atmosfäriskt materialflöde förbi substratvä- gens sidor och mellan zoner vertikalt ovanför och vertikalt under den vägen över åtminstone del av beläggningskammarens längd.

Företrädesvis innefattar sådan flödesförhindrande anordning skärmar, eftersom de är ett mycket enkelt sätt att uppnå det önskade resultatet. Sådana skärmar kan vara placerade för att skapa en i huvudsak sluten beläggningskammare, så att atmo- sfären däri ej påverkas av yttre gasströmmar. Ett mycket en- kelt och föredraget sätt att uppnå sådan väsentlig inneslut- ning är att åstadkomma transportanordningar omfattande rullar, som är falsade över varje kant på substratvägen för att be- gränsa ett utrymme för att bereda plats för skärmar mellan rullarna och kanterna på substratvägen. Detta medger att hela övre ytan på substratet kan beläggas.

Vi har omnämnt anordnandet av avgasledning placerad tvärs över substratvägen i nedströmsänden på beläggningskammarens passa- ge. Att anordna anordningar för att utöva sugkrafter vid den placeringen enbart kan emellertid ge anledning till en högre koncentration av beläggníngsånga utmed passagens centrum än över kanterna på substratvägen. Detta är en annan möjlig orsak till otillfredsställande beläggningar på substratets kanter.

För att minska denna tendens och för att öka den användbart belagda bredden på substratet, föredrages det särskilt att an- ordningar finnes för att alstra sugkrafter i sidoavgasledning placerad för att förorsaka atmosfäriskt material ovanför sub- 1.4 stratvägen att strömma utåt bort från den vägens mitt över åt- minstone en del av passagen. Anpassningen till detta föredrag- na särdrag ger fördelar, som anses vara av särskild vikt. Det befordrar en god spridning på den med behandlingsmaterial bemängda atmosfären över hela bredden på substratet, varigenom sålunda den välbelagda bredden på substratet ökas. Detta hjäl- per även till att avlägsna överskottsbeläggningsmaterial och beläggningsreaktionsprodukter i ett stadium före det att de når slutet på passagen, varigenom risken för korrosion på väggarna i passagen minskas. Dessutom möjliggör det avlägsnan- de av beläggningsreaktionsprodukter och överskottsbelägg- ningsmaterial, som skulle kunna avsätta sig på beläggningen för att fläcka den. Även om det finns någon tendens för atmo- sfären från underifrån substratvägen att strömma uppåt förbi dess sidor, förhindras denna tendens i zonen genom utåtgående sugning. Dessa fördelar befordras om såsom det föredrages så- dan sidoavgasledning placeras för att suga atmosfäriska mate- rialet utåt över en zon sträckande sig i huvudsak utmed hela pâßåêgelfl. vid vissa föredragna utföringsformer av uppfinningen har sido- avgasledningen inträden som är placerade under nivån för vä- gen. Detta är gynnsamt emedan det underlättar visuell inspek- tion av förhållanden inom passagen genom öppningar. som kan vara anordnade i dess sidoväggar och vid drift underlättar det färdigställning av beläggningen genom att hålla ned ett skikt av täta beläggningsångor mot substratytan, som belägges.

En anledning till defekter i en pyrolytiskt bildad beläggning är partiklar av yttre material, som kommer att ingå i belägg- ningen under dess bildning. Det är uppenbart att under belägg- ningsoperationen beläggningskammaren blir bemängd med oanvänt beläggningsmaterial och beläggningsreaktionsprodukter, in- begripande mellanreaktionsprodukter_ Man har lagt märke till att dessa och andra föroreningar såsom damm (för beläggnings- materialet anses självt som förorening över allt där det kan komma i kontakt med det varma glaset utanför beläggningskamma- ren) har en tendens att sprida sig uppströms från kammaren in 15 i vilken beläggningsmaterialet utmatas, alldeles oavsett hur litet inträdet göres genom vilket glaset kommer in i kam- maren och dessa föroreningar har faktiskt en benägenhet att komma i kontakt med glaset innan det når beläggningsområdet och lämna falska avsättningar på substratet, som förblir där och kommer att ingå i beläggningen som defekter t.ex. vid skiljeytan mellan beläggning/glas eller inom beläggningens tjocklek.

Med fördel finnes anordning för att utmata gas i substratets omgivning för att så bilda en kontinuerlig ström som strömmar i nedströmsriktningen under varje kant på substratvägen och utmed åtminstone del av väglängden som upptas av beläggnings- kammaren. överraskande har man funnit att användningen av anordning i vilken detta föredragna särdrag ingår resulterar i en betydan- de rengöring av atmosfären, som skulle vara i kontakt med gla- set före dess inträde i beläggningskammaren. så att det före- ligger en avsevärd minskning i mängden föroreningar som finnes där för att bilda falska avsättningar på glaset före belägg- ning.

En möjlig förklaring för detta fenomen är följande.

Uppströms om beläggningskammaren kommer en anläggning att fin- nas för att uppvärma glassubstratet eller för att aktuellt bilda ett varmt glassubstrat och nedströms om beläggningskam- maren kommer vanligen anordningar att finnas, t.ex. en kylka- nal, som medger reglerad kylning av det belagda substratet.

Vid sådana konstruktioner kan det finnas en returström av atmosfäriskt material, som strömmar i uppströmsriktningen un- der substratvägen. Då denna returström strömmar uppströms kan den tendera att höja sig ovanför substratvägen, så att eventu- ellt medbringade föroreningar har en benägenhet att avsättas på substratet och så bilda defekter inbäddade i beläggningen.

Användningen av anordning med detta föredragna särdrag enligt _ Ü ,,., 16 ÅÉÖ IÖÖ uppfinningen erbjuder även vissa viktiga fördelar för att minska oönskad underbeläggning under ytan och såtillvida som vad avser kvaliteten på den bildade beläggningen.

Dessa fördelar förbättras då, såsom föredrages, anordningen för att utmata gas för att bilda en sådan ström under vägnivån är placerad för att utmata gas och bilda en sådan ström över hela bredden på substratvägen.

Företrädesvis finnes anordningar för att förvärma gasen som skall utmatas för att bilda en sådan undersubstratström (strömmar) t.ex. upp till inom 50°C av substratets medeltempe- ratur omedelbart före beläggning, för att så minska varje ver- kan som injektionen av den gasen kan ha på substratets tempe- ratur och/eller på atmosfären i beläggningsområdet.

Vid särskilt föredragna utföringsformer av uppfinningen är en barriärvägg anordnad ovanför substratvägen som sträcker sig tvärs över hela bredden av och i huvudsak stänger nedströmsän- den på beläggningskammaren. En sådan barriärvägg kan t.ex. ut- göras av åtminstone delvis av en förut nämnd avgassamlare om sådan finnes. Detta är ett mycket enkelt sätt att säkerställa att ändringar i förhållanden omedelbart nedströms om belägg- ningskammarens slut ej kommer att ha någon direkt verkan på förhållanden inom beläggningskammaren och vice versa. vid särskilt föredragna utföringsformer av uppfinningen är beläggningsstationen placerad mellan utträdet från en band- bildningsanläggning och inträde till en kylkanal. Då detta är fallet finner man att glaset kan nå beläggningsstationen vid en temperatur, som är eller är nära till den som erfordras för att de pyrolytiska beläggningsreaktionerna skall äga rum. Där- med gör valet av detta särdrag behovet för ytterligare värm- ningsanordningar obehövligt såsom skulle erfordras för att höja temperaturen på glaset som skall beläggas från rumstempe- ratur. Det är även viktigt att beläggningen bör äga rum inom en kammare, som är fysiskt skild från bandbildningsanläggning- en å ena sidan och kylkanalen å andra sidan. Om ingen sådan 17 skillnad finnes och det är allmänt i tidigare kända förslag inom detta område för att beläggníngen skall äga rum inom kyl- kanalens längd, så skulle atmosfäriska förhållanden inom be- läggningskammaren ha en benägenhet att störas av gasströmmar som flyter från kylkanalen och från bandbildningsanläggning- en - sådana strömmar medbringar ofta damm och andra förore- ningar, som kan komma att ingå i beläggningen som defek- ter - och även skulle det föreligga en risk att mönstret för atmosfäriska strömmar i kanalen skulle störas och därmed leda till mindre gynnsamma kylförhållanden.

Vid vissa föredragna utföringsformer av uppfinningen finnes anordningar för att bringa gas att strömma genom en substrat- inträdesspringa i kammaren från uppströmssidan därav och för att förvärma den gasen och med fördel är sådana anordningar som förorsakar sådant gasinträde och/eller formen på inträdes- springan, sådana att förorsaka en större volymflödeshastighet för sådan gas över kanterna på substratvägen än över dess mitt. Användningen av en anordning inbegripande en eller båda av dessa särdrag är av värde för att befordra ett allmänt ned- strömsflöde av atmosfäriskt material inom beläggningskammaren och har värde i att behandla atmosfären i zonen, där belägg- ningsmaterialet först avsättes på substratet. Till exempel kan det medge åtminstone partiell kompensation för atmosfärens kylning inom beläggningskammaren genom kontakt med dess sido- väggar.

Anordningen enligt föreliggande uppfinning kan med fördel även ínbegripa en eller flera särdrag av en anordning visad i vår brittiska patentansökan nr.853l425.0 inlämnad 20 december 1985 (patent 2 187 184), vilken ansökan beskriver och gör anspråk på en anordning för att pyrolytiskt bilda en metallförenings- beläggning på en övre yta av ett varmt glassubstrat i skív- - eller bandform omfattande transportanordning för att transpor- tera ett sådant substrat utmed en väg i en nedströmsriktning. en takkonstruktion som begränsar en beläggningskammaröppning nedåt över till vägen och anordningar för att utmata belägg- ningsmaterial till kammaren, som utmärkes av att uppströms om beläggningskammaren finnes en förkammare, som står i förbin- e qi-¿ 18 I : delse med beläggningskammaren via en inträdesspringa, som delvis begränsas av substratvägen och via vilken gas kan bringas att strömma in i beläggningskammaren för att så bilda (då anordningen är i drift) ett täckskikt, som täcker övre ytan på substratet utmed en första del av kammarens längd och av att en anordning finnes för att reglerbart förvärma gasen, som bildar täckskiktet.

Föreliggande uppfinning utsträcker sig till ett sätt att pyro- lytiskt bilda en metallföreningsbeläggning på en övre yta av ett uppvärmt glassubstrat vid vilket driftanvändning valfritt, men föredraget göres av den anordning, som här definierats.

Därmed avser föreliggande uppfinning även ett sätt att pyroly- tiskt bilda en metallföreningsbeläggning på en övre yta av ett varmt glassubstrat i skiv- eller bandform under dess transport i en nedströmsriktning utmed en väg genom en beläggningskamma- re i vilken åtminstone en ström av beläggningslösning duschas nedåt mot substratet, och utmärkes av att: en duschzon av be- läggningskammaren uppvärmes för att förorsaka förångning av del av beläggningsmaterialet innan det när substratet för att ladda atmosfären i sådan zon med förängat beläggningsmaterial; lösningen duschas med tillräcklig energi för att säkerställa säkert anslag av kvarvarande beläggningsmaterial mot substra- tet för att initiera beläggning av substratytan; och atmosfär bemängd med beläggningsmateríal i ângfas bringas att strömma i nedströmsriktningen från duschzonen utmed och i kontakt med den belagda substratytan under en kontakttid av åtminstone 10 sekunder, varefter kvarvarande material av den med material bemängda strömmen ledes bort från substratet.

Ett sådant sätt är användbart för bildning av beläggningar, som uppvisar låg och jämn låg disighet. Det är särskilt över- raskande eftersom det hittills har ansetts nödvändigt att av- lägsna beläggnings- och reaktionsproduktângor från substra- tet så snabbt som möjligt - kontakttider av mellan 2 och 5 se- kunder användes i tidigare kända sätt - exakt för att minska risken av falska avsättningar från ângorna, som skulle leda till en ökning i disighet. ” 465 vas Skälen varför användning av ett sådant sätt skulle gynna bätt- re beläggningskvalitetstandard är ej helt klara. En möjlig förklaring är att en väsentlig del av beläggningstjockleken uppbygges av material i ångfasen då substratet förflyttas genom passagedelen i beläggningskammaren. Ångfasavsättnings- tekniker är kända att gynna en fin och enhetlig kristallstruk- tur i beläggningen. Men detta förklarar ej varför användningen av ett sätt enligt föreliggande uppfinning skulle resultera i bildning av en beläggning. som har en vida mer regelbunden tjocklek än som kan erhållas genom användningen av vanliga ångfasavsättningsförfaranden. En annan möjlig förklaring är att fastän endast en liten del av beläggningstjockleken kan tillskrivas ångfasavsättning, finnes en konditionering eller behandling av den just bildade huvuddelen av beläggningen un- der kontakttiden av åtminstone 10 sekunder under vilken tid substratet exponeras för beläggningsånga, så att kristall- strukturen hos beläggningen kan modifieras på ett sätt som är gynnsamt för beläggningskvaliteten och särskilt att exponering av den just bildade beläggningen för materialånga möjliggör att eventuella små porer i beläggningen fylles och sålunda ger anledning till en hårdare och mera kompakt och väderbeständig beläggning.

Det är möjligt att del av förklaringen är att en gynnsam re- gelbunden beläggningskristallstruktur vid skiljeytan belägg- ning/glas befordras genom beläggningsmaterialets kontakt med glaset om beläggníngsmateríalet är fritt från eller âtföljes av endast en liten andel lösningsmedel. Det förmodas att strukturen på beläggningen vid skiljeytan har ett kraftigt in- flytande på det sätt på vilket återstoden av beläggningstjock- leken uppbygges.

Det är även möjligt att förklaringen delvis ligger i en mins- kad kylningseffekt på glaset i zonen där beläggningsavsätt- ningen äger rum, så att reaktionerna som äger rum under det att beläggningens fulla tjocklek uppbygges kan äga rum vid en högre och närmare en jämn temperatur. Detta förmodas vara gynnsamt för avsättning av en beläggning med jämn struktur och _ zo 4633 7%-, det tenderar även att öka utbytet av beläggning. bildad av en given mängd beläggningsmaterial. Man bör lägga märke till här att hastigheten med vilken beläggningsreaktionerna äger rum ökar med temperatur och även att en beläggning bildad vid en högre temperatur i allmänhet är mera kraftigt vidhäftande till glaset än en som har samma sammansättning, men som bildas vid en lägre temperatur och att den är mera hållbar. Vidare skulle en sådan minskad kyleffekt medföra att det föreligger en minskad risk för icke önskvärda värmespänningar i glaset. En sådan risk kan vara mycket verklig då stora mängder flytande beläggningslösning slår an mot glaset såsom kan erfordras vid vissa tidigare kända duschbeläggningstekniker, särskilt då man önskar bilda tjocka beläggningar på ett sig snabbt rörande substrat.

En annan teori. som kan gälla och delvis förklara resultaten är att duschning av beläggningsmaterialet genom den förång- ningsbefordrande omgivningen inom den sig nedåt öppnande kam- maren har följdeffekten, att zonen vid vilken det sprutade beläggningsmaterialet först kommer i kontakt med glaset. domineras av den kontinuerliga tillförseln av färsk reaktant och hålles fri eller relativt fri från andra material.

Företrädesvis har beläggningskammaren en längd som står i så- dant förhållande till substratets transporthastighet att varje tillskott i substratets längd förblir exponerat för belägg- ningsångan under åtminstone 20 sekunder. Detta underlättar bildning av tjocka beläggningar, t.ex. de som är mer än 500 nm tjocka såsom kan erfordras för avskärmningsändamål för infra- röd strålning och vi har ganska överraskande funnit att det fortfarande ej finns någon ogynnsam verkan på den bildade be- läggningens kvalitet. Det inses att där beläggningen avsättes mellan utträdet från en anläggning för bildning av ett glas- band och en kylkanal. bestämmas bandets frammatningshastighet av hastigheten med vilken bandet bildas och detta kommer att variera enligt kapaciteten i aktuellt slag av anläggning för att bilda glasband, t.ex. om det är en glasdragningsmaskin eller en float-glasanläggning och även enligt tjockleken på 21 . ,. 4ß3 FÖÜ det glas som framställes. Emellertid är även de högsta glas- bandhastigheterna vanligen mindre än 12 m/min. och därmed kan en exponeringstid av 20 sekunder vanligen säkerställas om be- läggningsstationen har en längd av åtminstone 5 m. vid särskilt föredragna utföringsformer av uppfinningen duschas beläggningslösningen från en källa, som befinner sig åtmintone 75 cm och företrädevis åtminstone 1,2 m ovanför substratytan. Detta medger riklig tid för förångning av de små dropparna före det att de anslår mot substratet och det medger även att minska den intensitet med vilken kvarstående ström av små droppar kontaktar substratets yta. Faktiskt representerar detta särdrag i sig självt ett ganska radikalt avsteg från ti- digare kända förslag. vid tidigare kända duschbeläggningstek- niker, duschas beläggningsmaterial från ett avstånd mycket närmare substratet och en duschmunstyckshöjd på 30 cm eller mindre är vanlig.

Vid särskilt fördelaktiga utföringsformer av uppfinningen dra- ges den ångbemängda atmosfären från duschningszonen in i en nedströms passagedel av beläggningskammaren via en utträdes- springa med mindre höjd än duschningszonen. Detta hjälper till att säkerställa att den med beläggningsmaterial bemängda atmosfären bringas ned mot substratet på koncentrerat sätt för att så befordra beläggningsutbytet.

Företrädesvis är höjden på utträdesspringan högst hälften av höjden mellan duschkällan och substratytan. Val av detta sär- drag lämnar åtminstone den övre halvan av duschningszonen för cirkulation av gasströmmar och den övre delen av kammaren kan bilda en reservoar med ånga med hög täthet, vilken kontinuer- ligt matas in i springan.

Företrädesvis äger nedströmsflödet av med beläggningsmate- rial bemängd gas rum inom en passage, som är uppvärmd. Detta särdrag ger flera viktiga fördelar. Kondensation på passagens tak av beläggningsmaterial och/eller reaktionsprodukter, som sedan skulle kunna droppa ned och fläcka substratet för- 'les 22 hindras och beläggningsmaterialet hålles i ångfasen. En hög temperatur kan upprätthållas inom passagen genom att ersätta åtminstone en del av den värmeenergi som avlägsnas från sub- stratet genom beläggningsreaktioner, så att nâgra ytterligare beläggningsreaktioner och behandling av den redan bildade be- läggningen kan fortskrida vid en högre temperatur särskilt mot nedströmsänden på passagen. Detta i sin tur befordrar en mera enhetlig kristallstruktur i beläggningen och tenderar även att öka hållbarheten och hårdheten på den beläggningen. vid särskilt fördelaktiga utföringsformer av uppfinningen duschas beläggningslösningen nedåt och i nedströmsriktningen.

Detta befordrar flöde av det duschade materialet mot ned- strömsänden på beläggningskammaren in i vilken det duschas och samtidigt jämfört med vertikal duschning från samma höjd, för- längs den strömmens bana mot substratet och medger längre tid för förångning av den duschade lösningen.

Företrädesvis införes beläggningsmaterial och åtminstone en ström av gas i duschningszonen. så att deras bana skär varand- ra däri. Detta befinnes vara praktiskt gynnsamt för att alstra blandningskrafter inom duschningszonen för att så säkerställa att beläggningsånga enhetligt fördelas i atmosfären som ström- mar nedströms från den zonen utmed och i kontakt med den övre ytan på substratet.

Med fördel utmatas åtminstone en sådan ström gas från ett mun- stycke placerat i övre hälften av höjden mellan duschkällan och substratytan. Man har funnit att detta är högst effektivt för att befordra sådan blandning med minsta störning för det materialets bana nära substratet och befordrar så en bild- ning av en beläggning av hög kvalitet.

Det skulle vara möjligt att tillföra värme till den utmatade gasen in i kammaren efter den har inträtt i kammaren, men fö- reträdesvis finnes åtminstone en gasström, som är förvärmd gas, eftersom detta minskar eller eliminerar varje kylande effekt beroende på den gasutmatningen. 23 465 vas Vid särskilt föredragna utföringsformer av uppfinningen finnes åtminstone en sådan gasström som utmatas från uppströmssidan om den duschade beläggningslösningens flygväg. Detta befordrar en gynnsam cirkulation av atmosfären inom duschningszonen och tenderar att minska oönskad turbulens.

Med fördel tillföres värme till duschningszonen åtminstone delvis genom direkt strålningsvärme nedåt från ovanför vägen för den sprutade beläggningslösningen. Detta hjälper till vid förångningen av den duschade förbeläggningslösningen, sär- skilt i de övre områdena av den vâgen och på dess nedströmssi- da om lösningen duschas såsom förut nämnts i nedströmsrikt- ningen.

Vid vissa föredragna utföringsformer av uppfinningen vid upp- strömssidan av strömmen av beläggningsmaterial, avskärmas sådan ström av en gasstråle, som kontinuerligt utmatas nedåt mot substratet i närheten av den sprutade strömmen. Detta hjälper till att förhindra medbringande av något oönskat mate- rial, t.ex. beläggningsreaktionsprodukter i den bakre delen av strömmen. Närvaron av sådant material är särskilt ofördelak- tigt där emedan det kan leda till bildning av defekter i skil- jeytan mellan substrat/beläggning.

Vid särskilt föredragna utföringsformer av uppfinningen duschas lösningen av beläggningsmaterial nedåt mot substrat- ytan som en ström av små droppar, som repeterat förflyttas i tvärled över substratvâgen. Detta befordrar blandning av för- ångat beläggningsmaterial i atmosfären, som innehålles inom beläggningskammarens duschningszon.

Med fördel förflyttas sådan skârmande gasstråle repeterat tvärs över vågen i tandem med strömmen med beläggningsmate- rial. Detta ger mycket effektiv skärmning för en given gasin- förselhastíghet. vid vissa föredragna utföringsformer av uppfinningen blåses gas uppåt förbi varje sida på substratvägen i duschningszonen. 24 Sådan gas kan bilda skärmar, som tjänar till att skydda sido- väggarna på duschningszonen i beläggningskammaren mot korrosi- va verkningar av det sprutade materialet och dess reaktions- produkter. Sådana gasskärmar kan även förhindra det sprutade materialet, särskilt då relativt små mängder sprutas, från att passera under substratvägen, där det skulle vara tillgängligt för att bilda en icke önskvärd beläggning på den undre ytan av ett substrat. Denna icke önskade beläggning kan vara mer eller mindre regelbunden, men så tunn att den ger anledning till höggradigt misshagliga interferenseffekter, t.ex. kan den vara en mer eller mindre regelbunden beläggning vars tjocklek minskar mot substratets mitt eller den kan vara en ganska ore- gelbunden beläggning i ett mönster som en del tycker påminner av markeringarna på ett backgammon-bräde.

Det kan alternativt föreligga en tendens för atmosfärmaterial underifrån substratvägen att strömma uppåt och utspäda kon- centrationen av beläggningsånga särskilt vid sidorna om be- läggningskammaren. Detta är icke önskvärt eftersom det kan le- da till otillräcklig ångfasavsättning på ett substrats kanter eller till otillräcklig behandling av de belagda kanterna på sådant substrat och därmed, vid särskilt fördelaktiga utfö- ringsformer av uppfinningen över åtminstone del av belägg- ningskammarens längd förhindras flöde av atmosfäriskt material förbi sidokanterna på substratet och mellan zonerna vertikalt ovanför och vertikalt nedanför substratet.

Vid särskilt föredragna utföringsformer av uppfinningen, alst- ras sugkrafter i sídoavgasledníngar placerade för att bringa atmosfäriskt material ovanför substratet att strömma utåt bort från en central del av substratvägen över åtminstone en del av beläggningskammarens längd. Valet av detta föredragna särdrag ger fördelar, som anses vara av särskild betydelse. Det be- fordrar en god spridning av den med beläggningsmaterial be- mängda atmosfären över substratets hela bredd, varigenom den välbelagda bredden av substratet ökas. Dessutom möjliggör det tidigare avlägsnande av beläggningsreaktionsprodukter och överskotts-beläggníngsmaterial, som skulle kunna avsätta 25 ñ¿'? "'51 won /Ob sig på beläggningen och fläcka densamma. Det är även till hjälp för att avlägsna överskottsbeläggningsmaterial och beläggningsreaktionsprodukter i ett stadium före de når änden på den passagen, och därmed minskas risken för korrosion på väggarna i den passagen. Även om det finns någon tendens för atmosfären underifrån substratvägen att strömma uppåt förbi dess sidor, förhindras detta över zonen med utåtriktad sug- ning. Dessa fördelar befordras om såsom föredrages, det atmo- sfäriska materialet bringas att strömma utåt över en zon sträckande sig utmed åtminstone huvuddelen därav, och företrä- desvis i huvudsak över hela längden på beläggningskammaren nedströms om zonen för första avsättning av beläggningsmate- rial på substratet. vid vissa föredragna utföringsformer av uppfinningen utsuges det atmosfäriska materialet utåt på en nivå under substratet.

Detta är gynnsamt emedan det underlättar färdigställning av beläggningen genom att hålla ett skikt av täta beläggnings- ångor ned mot övre ytan på substratet.

Med fördel utmatas gas till omgivningen av substratet för att så bilda en kontinuerlig ström strömmande i nedströmsriktning under varje kant på substratet och utmed åtminstone del av be- läggningskammarens längd. överraskande har man funnit att valet av detta föredragna sär- drag medför en betydande rensning av atmosfären, som skulle vara i kontakt med glaset före dess inträde í beläggningskam- maren, så att det föreligger en avsevärd minskning i mängden föroreningar som finnes tillgängliga där att bilda falska av- sättningar på glaset före beläggning. Valet av detta föredrag- na särdrag enligt uppfinningen erbjuder även mycket viktiga fördelar vid att minska oönskad underytbeläggning och såtill- vida som kvaliteten på beläggningen avses.

Med fördel finnes en sådan ström under substratet av gas, som strömmar under substratets hela bredd. Valet av detta särdrag befordrar rensning av atmosfären under substratets väg på ett i- .. 26 äöó 75% högeffektivt sätt, varigenom falska tidiga avsättningar av ma- terial undvikes, vilket material medbringats i returströmmar som strömmar under substratet i uppströmsriktningen.

Företrädesvis förvärmes gasen som utmatas för att bilda sådan ström (strömmar) under substratet till inom 50°C av medeltem- peraturen på substratet omedelbart före beläggning, för att så minska varje verkan av den gasens insprutning på substratets temperatur och/eller på atmosfären i beläggningsområdet.

Vid särskilt föredragna utföringsformer av uppfinningen är be- läggningskammaren i huvudsak sluten i sin nedströmsände för att förhindra utbyte av atmosfäriskt material mellan ned- strömsänden på beläggningskammaren och ett ytterligare ned- strömsområde av substratvägen. Sådan avstängning kan t.ex. åstadkommas genom avgasledningar som är utsträckta tvärs över hela bredden på beläggningskammaren i dess nedströmsände. Va- let av detta särdrag har fördelen att undvika varje utspädning eller förorening av atmosfären i nedströmsänden på belägg- ningskammaren från det ytterligare nedströmsområdet och det förhindrar även strömmar av beläggningskammaratmosfären att ingripa i någon ytterligare behandling av substratet och från att avsätta något ytterligare icke önskat material på belägg- ningen. vid särskilt fördelaktiga utföringsformer av uppfinningen ut- göres glassubstratet av ett just bildat band av varmt glas och beläggningen bildas efter det att bandet lämnar en bandbild- ningsanläggning och före det inträder i en kylkanal. Belägg- ningskammaren kan sålunda vara placerad på ett ställe där gla- set i alla fall befinner sig vid en temperatur tillräcklig för att de pyrolytiska beläggningsreaktionerna skall äga rum. så att kostnader med återuppvärmning av glaset till sådan tempe- ratur undvikes eller väsentligt minskas. Det är även viktigt att beläggningen bör äga rum inom en kammare, som är fysiskt skild från bandbildningsanläggningen å ena sidan och kylkana- len å andra sidan. Om någon sådan skillnad ej finnes. är det vanligt vid tidigare kända förslag inom detta område att be- 27 . ._ _. ass ïbs läggningen äger rum inom kylkanalens längd, varvid atmosfäris- ka förhållanden inom beläggningskammaren skulle vara benägna att störas av strömmar av gas som strömmar från kylkanalen och från bandbildningsanläggningen - sådana strömmar medför ofta damm och andra föroreningar som kan komma att ingå i belägg- ningen som defekter - och även skulle det föreligga en risk att mönstret av atmosfäriska strömmar i kylkanalen skulle störas medförande mindre gynnsamma kylningsförhållanden.

I en del särskilt föredragna utföringsformer av uppfinningen bringas förvärmd gas att strömma nedströms in i beläggnings- kammaren i kontakt med substratet. Valet av detta särdrag är av värde för att befordra ett allmänt nedströmsflöde av det atmosfäriska materialet inom beläggningskammaren och har värde i att behandla atmosfären i zonen, där beläggningsmaterial först avsättes på substratet. Till exempel i en del sådana föredragna utföringsformer av uppfinningen bringas sådan för- värmd gas att inträda i beläggningskammaren med en högre vo- lymhastighet över substratets kanter än över dess mitt. Detta medger åtminstone delvis kompensation för atmosfärens kylning inom beläggningskammaren genom kontakt med dess sídoväggar.

Föreliggande uppfinning kan verkligen med fördel kombineras med uppfinningen som beskrives vår i brittiska patentansökan inlämnad den 20 december 1985 (ansökningsnummer.8531425.0). (patent 2 187 184) vilken ansökan beskriver och gör anspråk på ett sätt för pyrolytisk beläggning, där ett varmt glassubstrat i skív- eller bandform förflyttas i en nedströmsriktning under en beläggningskammare, som öppnar sig nedåt mot substratet och i vilken en beläggning bildas på substratets övre yta av be- läggníngsmaterial, som utmärkes av att den gasformiga omgiv- ningen i omedelbar närhet av substratets övre yta åtminstone i zonen där sådan beläggníngsbildning börjar, regleras genom att mata förvärmd gas i en nedströmsriktning in í kammaren för att inträda i kammaren i kontakt med substratet och bilda ett täckskikt som täcker substratet åtminstone så långt som den ZOIIGII.

Föreliggande uppfinning är särskilt lämplig för bildning av .- - 28 465 Von beläggningar med höga uppbyggnadshastigheter, t.ex. vid has- tigheter överskridande 20 nm/sek., såsom t.ex. kan erfordras för att bilda relativt tjocka beläggningar. som en beläggning av 500 nm till 1000 nm tjock på ett just bildat glasband, som förflyttas med flera meter per minut från en float-glasvanna eller annan anläggning för formning av plant glas.

En särskilt viktig användning för ett sätt enligt uppfinningen är bildning av tennoxidbeläggningar med användning av tenn- (II)kloríd som beläggningsmaterialet. Tennoxidbeläggningar. som minskar utstrålningen med avseende på infraröd strålning med lång våglängd på glasskivornas ytor på vilka de anbringas. används allmänt för att minska värmeöverföring från förglasade konstruktioner. Detta är givetvis endast ett exempel på det ändamål för vilket sättet kan användas. Som ett annat exempel kan sättet användas för att bilda en beläggning av titandioxid eller en beläggning bestående av en blandning av oxider, såsom en blandning av kobolt, järn och kromoxider.

Föreliggande uppfinning kommer nu att beskrivas mera detalje- rat med hänvisning till de bifogade schematiska ritningarna över olika föredragna utföringsformer av anordning enligt upp- finningen och medelst exempel av specifika sätt enligt uppfin- ningen genomförda med användning av sådan anordning.

På ritningarna är var och en av fig. l till 4 en tvärsektions- sidovy av en utföringsform av en beläggningsanordning i enlig- het med uppfinningen och fig. 5 visar en sektion utmed linjen V-V i fig. 2. §l§QE_l I fig. 1 omfattar en anordning för pyrolytisk bildning av metallföreningsbeläggning på en övre yta av ett varmt glassub- strat l i skiv- eller bandform transportanordningar såsom rul- lar 2 för att transportera ett sådant substrat i en nedströms- riktning 3 utmed en väg även antydd med hänvisningsbeteckning- en 1. Vägen l leder genom en beläggningsstation 4, omfattande en takkonstruktion 5, som begränsar en beläggningskammare 6, 29 7:36 som öppnar sig nedåt över till substratvägen 1 och ett dusch- munstycke schematiskt angett vid 7 för att duscha en ström av beläggningslösning in i kammaren 6. i en riktning 8 nedåt mot substratet 1.

Duschmunstycket 7 är placerat för att duscha strömmen av be- läggningslösning in i en duschningszon 9 i beläggningskammaren 6 från en höjd av åtminstone 75 cm ovanför substratvägen 1. I den visade utföringsformen är duschmunstycket 7 placerat för att duscha beläggningsmaterial från åtminstone 1 m och före- trädesvis åtminstone 1,2 m ovanför substratvägen 1 och är av en typ väl känd i och för sig. Munstycket är anordnat att duscha beläggningslösningen i riktningen 8, som leder nedåt mot substratet 1 och i nedströmsriktningen 3 och är rörligt fram och tillbaka utmed ett spår (ej visat) tvärs över sub- stratvägens bredd.

Uppvârmningsanordningar finnes för att tillföra värme till duschzonen. I den visade utföringsformen omfattar sådana upp- värmningsanordningar nedåt riktade strålningsvärmare 10 anord- nade i taket på duschningszonen 9. Som ytterligare uppvärm- ningsanordning finnes ledningar 11 för att utmata en ström av förvärmd gas in i duschningszon 9 i en riktning för att skära den duschade strömmen av beläggningsmaterial. Ledningen 11 har sitt utmatningsmunstycke 12 placerat i den övre halvan av höj- den mellan duschningsmunstycket 7 och substratet l och är an- ordnat att utmata den gasströmmen från uppströms om belägg- ningsduschutmatningsaxeln 8. Munstycket 12 sträcker sig hori- sontellt över hela bredden på substratvägen 1 och vertikalt över den övre tredjedelen av höjden för duschmunstycket 7 ovanför glassubstratet. Gasen, som utmatas från munstycket 12 riktas från början i huvudsak horisontellt tvärs över ström- mens 7 av små droppar väg för att upprätthålla en gascirkula- tion inom duschningszonen 9.

Den utmatade gasen är lämpligen förvärmd. t.ex. en medeltempe- ratur i området 300°C till 500°C. Vârmarna 10 befordrar för w 17 f r) f: %Ou /uu ångning av lösningsmedel från de duschade små dropparna under deras resa mot substratet 1, som sedan kan medbringas i den varma utmatade gasen.

Vid en valfri variant av utföringsformen är ledningen 11 upp- delad i två ledningar, som slutar i lika stora övre och undre munstycken, som intar läget för munstycket 12, så att strömmar av gas av olika temperatur, t.ex. 300°C och 500°C kan utmatas där vid olika nivåer.

Takkonstruktíonen 5 begränsar en passagedel 13 av beläggnings- kammaren 6, som leder nedströms från duschningszonen 9 och ger beläggningskammaren 6 en total längd av åtminstone 2 m och fö- reträdesvis en längd av åtminstone 5 m. vid den visade utfö- ringsformen inbegriper takkonstruktionen 5 en bryggvägg 14 över substratvägen, som sträcker sig nedåt huvudsakligen ver- tikalt för att begränsa en utträdesspringa 15 vid nedströmsän- den på duschningszonen. som skiljer den zonen från passagen och passagen 13 har en höjd i huvudsak lika med den hos dusch- ningszonen. Höjden av utträdesspringan 15 är mindre än hälften av höjden mellan duschmunstycket 7 och substratet 1.

Uppströms om utmatningsaxeln 8 för beläggningsmaterial- duschmunstycket 7 finnes ett gasstrålmunstycke schematiskt representerat vid 16 för att utmata en stråle av gas nedåt i närheten av beläggningsmaterialströmmen, för att därigenom avskärma duschen av beläggningsmaterialet. Gasstrålemun- stycket 16 är sammankopplat med beläggningsduschmunstycket 7 för upprepad förflyttning därmed utmed det tvärgående spåret.

En huvudsaklig verkan av denna skärmande gasstråle är att för- hindra medbríngandet av beläggningsreaktionsprodukter och and- ra föroreningar i bakre delen av strömmen 7 av beläggnings- material då det går mot den obelagda ytan på substratet 1.

Avgasledning 17, 18, 19 är placerad utmed den höga passagen 13 och avgasledning 17 i nedströmsänden av beläggningskammaren har ett inlopp 20 placerat över substratvägen 1 och sträckande sig tvärs över åtminstone huvuddelen av dess bredd. 31 465 vas Skärmar såsom 21, som skjuter inåt från sidoväggarna på be- läggningskammaren 6 finnes för att förhindra flöde av atmo- sfäriskt material förbi sidorna på substratvägen 1 och mellan zoner vertikalt ovanför och vertikalt under den vägen över duschníngszonens 9 längd, där atmosfären kommer att vara ri- kast på förbeläggningsmaterial. Skärmarna kan vara monterade vridbart på sidoväggarna på beläggningskammaren 6 och uppbäras t.ex. av gängade strävor så att deras läge är justerbart för minimispel mellan dem och kanten på substratet 1.

Anordningar 22 finnes för att utmata gas till substratets 1 omgivning för att bilda en kontinuerlig ström som strömmar i nedströmsriktningen 3 under varje kant på substratvägen 1 och utmed åtminstone en del av väglängden som upptas av belägg- ningskammaren 6.

Gasutmatningsanordningen under bandet omfattar fyra samlings- kammare 23 placerade två och två och sträckande sig tvärs över i huvudsak hela bredden på beläggningsstationen 4. I överdelen av varje samlingskammare 23 är en springa 24 utformad till vilken en avböjningsläpp 25 gränsar, så att gas ínjicerad ge- nom springorna 24 riktas i nedströmsriktningen 3 utmed belägg- ningsstationen 4. Springorna 24 sträcker sig i fulla längden av varje samlingskammare 23 tvärs över beläggningsstationen 4.

Om så önskas skulle sådana springor kunna ersättas av ett flertal munstycken på avstånd från varandra. Såsom visas i fig. 1 är en avböjníngsplåt 26 placerad ovanför samlingskam- rarna 23, så att den injicerade gasen ej utmatas direkt mot substratet 1. Samlingskamrarna 23 kan matas med förvärmd gas från båda sidor om beläggningsstationen 4, t.ex. från värme- växlare. Luft kan användas som den utmatade gasen och denna kan lätt värmas genom värmeväxlíng med ugnsavgaser. Sådan gas förvärmes företrädesvis till inom 50°C av substratets tempera- tur då det senare inträder i beläggningskammaren 6.

Gas som utmatas under substratet 1 kan avlägsnas från sub- stratets 1 omgivning genom valfri avgasledning (ej visad), som uppvisar ett eller flera inlopp sträckande sig tvärs under 32 w .fl 'f '7 f I' c*' 1a§O substratvägen t.ex. placerat rätt under avgasinloppet 20 ovan- för vägen.

En barriärvägg 27 är anordnad mellan substratvägen 1 och sträckande sig tvärs över fulla bredden av och i huvudsak tillslutande nedströmsänden på beläggningskammaren 6, för att så i huvudsak förhindra flöde av atmosfäriskt material in i eller ut ur beläggningskammaren 6 vid passagens 13 nedströms- ände.

Beläggningsstationen 4 är placerad mellan utträdet från en bandbildningsanläggning (ej visad) t.ex. en float-vanna och inträdet till en kylkanal 28.

En passage från bandbildningsanläggningen till beläggningskam- maren 6 har ett tak 29 och uppströmsänden av beläggningskamma- ren bestämmes av en avskärmande vägg 30 som sticker ner från passagens tak 29 och medger litet spel för substratet l att passera in i beläggningskammaren via en inträdesspringa 31.

Verkan av denna avskärmande vägg 30 är att begränsa flödet av atmosfärískt material in i beläggningskammaren 6 från upp- strömsriktningen, så att atmosfäriska förhållanden inom det omrâdet lättare kan regleras.

Uppströms om den avskärmande väggen 30, mellan den väggen och en andra avskärmande vägg 32 finnes en förkammare 33 i vilken värmare 34 är anordnade för att förvärma någon gas som drages in i beläggningskammaren 6 mellan avskärmande väggen 11 och bandet 1.

Ešålßlïlfilti vid en särskilt praktisk utföringsform av anordningen som vi- sas i fig. 1, är beläggningskammaren 6 litet mer än 3 m bred för att upptaga glasband med en bredd av upp till omkring 3 m.

Takkonstruktionen 5 ovanför duschningszonen 9 i beläggnings- kammaren är just över 1,5 m ovanför nivån för bandvägen 1 och duschningsmunstycket till utmatningsmunstycket 7 för de små 33 ass rss dropparna är nära nivån på det taket. Munstycket 7 är anordnat att utmata en konisk ström av små droppar med en halvkonisk vinkel av lO° med dess axel 8 i en vinkel av 47° mot det hori- sontella: gasstrålemunstycket 16 har sitt utlopp 25 cm under och 7 cm nedströms om duschníngsmunstycket 7 och är anordnat med sin axel 60° mot det horisontella. Gasutmatningsmunstycket 12 är 50 cm högt med sin övre del i invå med munstycket 7.

Bryggväggen 14 i nedströmsänden av duschningszonen 9 år skild från gasströmutmatningsmunstycket 12 med ett avstånd av 2.8 m.

Passagen 13 har samma höjd som duschningszonen 9 och utträdes- springan 15 har en höjd av 50 cm ovanför nivån för bandvägen 1. Längden på den passagen är 4 m.

Denna anordning är särskilt avsedd för avsättning av tennoxid- beläggningar med utgångspunkt från en lösning av tenn(II)k1o- rid som beläggningsmaterial.

Med användning av sådan anordning, bildades en tennoxidbelägg- ning 750 nm tjock på ett 6 mm tjockt band av glas. som för- flyttades med en hastighet av 8,5 m/min. Glaset inträdde i be- läggningskammaren vid en temperatur av 600°C och det använda beläggningsmaterialet var en vattenlösning av tenn(II)k1orid innehållande ammoniumbifluorid för förekomst av dopnings- joner i beläggningen. Denna lösning duschades från munstycket med en hastighet av 220 l/tim., under det att munstycket för- des fram och tillbaka tvärs över bandvägen med 22 cykler per minut.

Förkammaren 33 var i huvudsak stängd och atmosfären däri upp- värmdes genom elektriska motståndsvärmare.

Strålningsvärmare i taket på duschningszonen kopplades på och gas utmatades genom munstycket 12 med en hastighet av 70O0Nm3/min. och en temperatur av 400°C. Gas utmatades från samlingslådorna 23 under bandet vid en temperatur av 600°C.

Vid drift fann man att vid den tid då strömmen av belägg- ningsmaterial nådde bandets nivå hade en väsentlig del 34 av lösningsmedlet förångats från strömmen, och lämnade mycket små droppar av flytande tenn(II)klorid och tenn(II)kloridånga för att kontakta glaset och initiera bildning av beläggning.

Duschníngszonen 9 ovanför bandet var fyllt med en cirkulerande atmosfär bemängd med tenn(II)k1oridånga och denna drogs genom utträdesspringan 15 och in i passagen 13 medelst sugkrafter alstrade i avgasledning 17. 18. 19. Man fann att atmosfären inom beläggningskammaren 6 var i huvudsak klar, med undantag av i närheten av strömmen av små droppar, vilket antydde att väsentligen all tenn(II)klorid och lösningsmedel utanför .strömmen befann sig i ångfas. så att över den större delen av dbeläggningskammarens 6 längd i vilket glaset exponerades för beläggningsmaterial, atmosfären i den kammaren 1 var i hu- vudsak fri från material i flytande fas. Givetvis innehöll passagen 13 även beläggningsreaktionsprodukter. De alstrade krafterna och geometrin i den passagen var sådana att atmo- sfäriskt material, som lämnade utträdesspringan 15 saktades av och de ganska täta tenn(II)kloridångorna tenderade att bilda ett skikt i kontakt med beläggningen som bildades för att med- ge behandling av den beläggningen. under det att den mindre täta lösningsmedelångan och beläggningsreaktionsprodukterna tenderade att strömma mera direkt mot avgasledningen. Som ett resultat av allt detta hade den bildade beläggningen en fin kristallstruktur vid skiljeytan glas/beläggning, vilket be- fordrade en högkvalitativ jämn beläggningsstruktur och därmed goda optiska kvaliteter och inneslutningen av beläggningsreak- tionsprodukter, som skulle leda till defekter tenderade att undvikas.

Särskilt noterbart var den mycket låga disigheten och mycket enhetlig disighet som uppvisades av det belagda glaset.

FIGURER 2 OCH 5 I fig. 2 och 5 har delar som tjänar analoga funktioner med dem som visas i fig. 1 givits motsvarande hänvisningsbeteckningar.

I.duschningszonen 9 i uppströmsänden av beläggningskammaren 6 är gasutmatningsledningen 11 utelämnad, men ersättes av ett 35 465 var par ledningar 35 med utmatningsmunstycken 36, som är riktade mot varandra för utmatning av förvärmd gas från motstående si- dor om axeln på den duschade strömmen av beläggningsmaterial.

Inga andra uppvärmningsanordningar för beläggningskammaren vi- sas ovanför nivån för bandet l. Utmatningsmunstyckena 36 sträcker sig nästan tvärs över fulla bredden på beläggnings- kammaren 6 och de är begränsade till den övre tredjedelen av höjden på duschmunstycket 7 ovanför substratet. Vid en variant har utmatningsmunstyckena 36 en mindre bredd och de förflyttas fram och tillbaka tvärs över duschningszonen i tandem med duschmunstycket 7.

Vid nedströmssídan av duschningszonen 9 är takkonstruktionen 5 lutad nedåt och bildar sedan en vertikal bryggvägg 14 i vilken ett fullbreddsinlopp 37 är placerat för avgasledning 38 för avsugning av ångor från duschningszonen för att förhindra bildning av någon stagnerande zon däri.

Nedströms om utträdesspríngan 15 under bryggväggen 14 fortsät- ter takkonstruktionen och begränsar en passagedel 13 av be- läggningskammaren 6, som har samma höjd som utträdesspringen.

Utmed passagens 13 längd finnes en avgasanordning på vardera sidan om beläggningskammaren under nivån för substratvägen 1.

Denna avgasanordning omfattar ett flertal i toppen öppna av- gaslådor 39, som står i förbindelse med sidoavgasledningar 40.

Av fig. 2 framgår det att dessa avgaslådor 39 sträcker sig över hela längden på substratvägen som upptas av passagen 13 och att uppströms-avgaslådan faktiskt är placerad under dusch- ningszonen 9. Skjutande ut uppåt och inåt från avgaslådorna finnes skärmar 41, som sträcker sig under kanterna på sub- stratvägen och uppåt mellan transportörrullarna 2. Detta arrangemang ger en effektiv avskiljning av atmosfärer verti- kalt ovan och vertikalt under substratvägen utmed passagen.

För att förhindra beläggningsmaterial och andra atmosfäriska material från att strömma ned förbi sidorna på substratvägen över ett område beläget mera uppströms om duschningszonen L' i 36 ågl CN _,- 9, finnes fläktar 50 för att utmata förvärmd luft för att upp- rätthâlla ett uppåtriktat flöde av relativt ren gas mot sido- väggarna på beläggningskammaren där. Detta ger även viss grad av skydd för dessa väggar från korrosion beroende pä atmosfä- ren inom kammaren.

Ešäfißäå Anordningen enligt fig. 2 användes för att bilda en beläggning av samma tjocklek som i exempel l med användning av samma för- beläggningsmaterial och på ett glasband av samma tjocklek och som rörde sig med samma hastighet. Duschningsmunstycket 7 reg- lerades även som i exempel 1. Beläggningskammaren 6 hade en total längd av 7,5 m.

Glaset inträdde i beläggningskammaren 6 vid en temperatur av 600°C och luft förvärmd till 500°C utmatades med en hastighet av 3600Nm3/tim. från var och en av utmatningsmunstyckena 36.

Som ett resultat förângades en huvuddel av materialet under sin bana mot bandet, under det att kvarvarande ström fortsatte och aktivt slog emot glaset.

Avsugningen av atmosfäriskt material under vägnivân utmed pas- sagen tenderar att hålla ner ett skikt av med beläggnings- material bemängd atmosfär i kontakt med bandet för att beford- ra färdigställning av beläggningen. Sugningen utföres med en total hastighet av omkring 7000Om3/tim. vid en medeltempera- tur av omkring 350°C.

Detta gav även utomordentliga resultat uttryckt i jämn hög kvalitet på den bildade beläggningen. särskilt med avseende på dess låga och jämnt låga disighetsfaktor.

FIGUR 3 I fig. 3 har delar som tjänar analoga funktioner som de som visas i fig. 1 och 2 återigen givits motsvarande hänvisnings- beteckningar.

Duschningszonen 9 är av liknande form som den som visas i fig. 37 ass vas 1, men i fig. 3, omfattar anordningar för att införa förvärmd gas i den zonen, en utmatningsledning 42, som slutar i ett flertal utmatningsmunstycken i beläggningskammarens tak 5 och fördelad över största delen av dess område. Spåret för dusch- munstycket 7 löper utmed en uppströmsändvägg 43 på belägg- ningskammaren.

Under den uppströmsändväggen 43 ersättes avskärmningsväggen 30 som visas i fig. 1 och 2 av en bryggvägg 44. som medger en ganska hög inträdesspringa 31, så att atmosfäriskt material kan dragas lättare utmed i kontakt med glaset och in i belägg- ningskammaren från förkammaren 33. Om så önskas kan den brygg- väggen 44 vara justerbar i höjd för att variera öppningen på inträdesspringan 31. Ytterligare gasutmatningsledning 45 fin- nes för att utmata förvärmd gas nedåt i förkammaren för att reglera skiktet av atmosfäriskt material omedelbart ovanför substratet 1 upp till åtminstone den zon där strömmen av be- läggningsmaterial 8 slår an mot glaset.

Denna utföringsform av föreliggande uppfinning använder sig av den uppfinning som beskrivits och gjorts anspråk på i vår nämnda samtidigt inlämnade brittiska patentansökning inlämnad 20 december 1985 (patentansökan nr.8531425.0) (patent 2 187 184).

Såsom i fig. 2 har passagen samma höjd som utträdesspringan från duschningszonen.

I nedströmsänden av passagen 13. suges atmosfäriskt material in i avgasledning 46 med ett inlopp 47 begränsat delvis av en krökt avgassamlare 48, som sträcker sig ovanför substratets 1 väg tvärs över hela bredden på passagen och i huvudsak till- sluter dess nedströmsände. Sådan samlare 48 kan valfritt mon- teras vridbart så att den kan justeras för minimispel i för- hållande till substratet 1. Även vid nedströmsänden på passa- gen 13 suges atmosfäriskt material in i avgasledning 49 place- rad på vardera sidan av beläggningskammaren, för att underlät- ta en sidospridning av det atmosfäriska materialet som ström- mar utmed beläggningskammaren. Sådant material förhindras även f ' -; If' _ ß-'í 10% .U v (lx att strömma under substratet medelst skärmar såsom 21. som sticker ut från sidoväggarna på beläggningskammaren över sub- stratkanterna utmed i huvudsak hela längden på passagen och sträckande sig väl in i duschningszonen, nästan upp till dess uppströmsände.

EÄEMBE&_â Anordningen enligt fig. 3 användes för att bilda en beläggning av blandad titandioxid och järn(III)oxid på 5 mm tjocka glas- skivor, som förflyttades med 10 m/min. med användning av en utgångslösning av titanacetylacetonat och järn(III)acetyl- acetonat. Glaset inträdde i beläggningskammaren 6 vid en tem- peratur av 580°C och den kammaren var 6 m lång.

Lösningen utmatades med en hastighet av omkring 80 l/tim. med ett tryck av omkring 25 bar för att erhålla en beläggning 45Nm tjock, som var gulaktig och höggradigt reflekterande. Dusch- munstycket var placerat på en höjd av 1,2 m ovanför bandet, lutat mot det horisontella 30° och fördes fram och tillbaka tvärs över substratvägen med en hastighet av 20 cykler per minut.

Luft förvärmd till en temperatur av 350°C blåstes genom taket till duschningszonen med en hastighet av omkring l500Nm3/tim. och luft förvärmd till en temperatur av 580°C blåstes ned i förkammaren 33 med en hastighet av omkring 3000Nm3/tim. En del av duschströmmen förångades före kontakt med glaset och en del fortsatte för aktivt anslag mot glaset.

Sugningshastigheten vid nedströms avgasledning 46, 49 reglera- des för att kompensera för den totala mängden gas som blåstes eller drogs in i beläggningskammaren, med vederbörligt hän- synstagande även till skapandet av gas inom kammaren beroende på förångning av det duschade materialet.

Denna process medförde även bildning av en höggradigt jämn be- läggning väsentligen fri från defekter. 39 ef" 'f åäö 750 Elšflårå Såsom förut har delar som tjänar analoga funktioner med dem som visas i de tidigare figurerna återigen givits motsvarande hänvisningsbeteckningar.

Vid utföringsformen i fig. 4 ersättas det enda fram och åter- gående duschmunstycket 7 i de tidigare figurerna av ett fler- tal sådana munstycken, ehuru endast ett visas. Dessa munstyck- en 7 går fram och tillbaka utmed delar av ett spår (ej visat) som går mellan ett par gasutmatningsledningar 35. försedda med nedåt lutade utmatningsmunstycken 51, sträckande sig över be- läggningskammarens hela bredd.

Takkonstruktionen S sträcker sig nedåt i en kontinuerlig del- vis krökt profil ovanför duschningszonen och den fortsätter att gå nedåt så att passagen 13 har avtagande höjd i ned- strömsriktningen och underlättar ett jämnt allmänt nedströms- flöde av material inom beläggningskammaren 6. Såsom i fig. 3 är sidoavgasledningar 49 anordnade för att suga atmosfäriskt material från passagen i dess nedströmsände, men i denna figur upptar dessa suganordningar något mer än hälften av passagens längd. Takets 5 sänkning i passagen kompenserar för den mins- kade mängden material som strömmar utmed passagen beroende på denna ökade avsugning.

Vid uppströmsänden av beläggningskammaren sticker slutväggen 43 ned nära vägen för substratet 1, och stänger väsentligen den änden på kammaren och just nedströms om den slutväggen finnes en hjälpgasutmatningsledning 52 för att utmata förvärmd gas in i kammaren intill substratet för att strömma i ned- strömsriktningen för att behandla atmosfären i kontakt med substratet, där det först kontaktas av beläggningsmaterialet och för att hindra ansamling av ånga mot uppströmsändväggen 43.

Vid nedströmsänden av duschningszonen finnes ett par horison- tellt riktade inåt lutade gasstråleutmatningsmunstycken 53 för att medbringa förbeläggningsângan, som alstras inom dusch- ,, .. - 40 z fot) š /Ä Ås' U CN ningszonen inåt bort från sidoväggarna på passagen och i ned- strömsriktníngen.

EEEMBÉELJÉ En 400nm tjock fluordopad tennoxidbeläggning bildades på ett 4 mm tjockt band av glas, som transporterades från en float- -kammare med en hastighet av 8.5 m/min. så att den inträder i beläggningsstationen vid en temperatur av 600°C. Beläggnings- kammaren hade en total längd av 8 m.

Beläggningsmaterialet som användes var en vattenlösning av tenn(II)klorid innehållande aluminiumbifluorid för att införa dopingjoner i beläggningen. Denna lösning duschades från mun- styckena med en hastighet av 110 1/tim. Munstyckena var alla parallella och lutade mot det horisontella i 75°. De var pla- cerade l,5 m ovanför substratet.

Luft förvärmd till 550°C utmatades med en hastighet av 500ONm3/tim. från två utmatningsmunstycken 51 för att med- bringa förångad beläggningslösning och luften som utmatades från hjälpgasutmatningsledningen 52 förvärmdes även till 500°C. Sugning ovanför substratets nivå reglerades för att ba- lansera mängden gas införd i eller bildad inom beläggningskam- maren och för att befordra ett allmänt nedströmsflöde av ma- terial.

Luft förvärmd till 600°C utmatades med en hastighet av 3 . . . 3000Nm /tim. från utmatningsanordningen 22 belägen under substratvägen.

Detta förfarande medförde även bildning av en höggradigt en- hetlig beläggning, i huvudsak fri från lokala defekter och med en mycket låg och jämnt låg disighetsfaktor.

EXEMPEL 5 TILL 8 vid en variant av vart och ett av de föregående exempelen an- vändes anordningen som visats för bilda en beläggning på glas, som skurits till skivor och därefter omvärmts genom förfaran- den såsom beskrivits..

Liknande resultat erhölls.

Claims (44)

41 .z Ö: r? _,_-' ¿T x) I k.) K) Patentkrav

1. Anordning för att pyrolytiskt bilda en metallföreningsbe- läggning på en övre yta av ett varmt glassubstrat (1) i skiv- eller bandform, omfattande transportanordningar (2) för att transportera substratet (1) i en nedströmsriktning (3) ut- med en väg (1), en beläggningsstation (4) omfattande en tak- konstruktion (5), som begränsar en beläggningskammaröppning (31) nedåt över till vägen och anordningar (7) för att duscha beläggningslösning in i kammaren (6), nedåt mot substratet (1), k ä n n e t e c k n a d av att duschningsanordningen (7) är placerad för att duscha beläggningslösningen in i en duschningszon (9) i beläggningskammaren (6) på en höjd ovanför substratvägen (1) av åtminstone 75 cm; värmningsanordningar (10, ll, 35) är anordnade för att tillföra värme till dusch- ningszonen (9); takkonstruktionen (5) begränsar en passagedel (13) till beläggningskammaren (6), som leder nedströms från duschningszonen (9) och ger beläggningskammaren (6) total längd av åtminstone 2 m: anordningar (39) finnes för att alst- ra sugkrafter på atmosfäriskt material inom sådan passage (13) för att underlätta sådant material att strömma utmed substrat- vägen till nedströmsänden (27) av passagen (13) och att inträ- da i avgasledning (39, 46) för att leda sådant material bort från substratvägen (1).

2. Anordning enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a d av att beläggningskammaren (6) har en längd av åtminstone 5 m.

3. Anordning enligt krav 1 eller 2. k ä n n e t e c k - n a d av att duschningsanordningen (7) är placerad att duscha beläggningsmaterialet från en källa, som är åtminstone 1 m och företrädesvis åtminstone 1.2 m ovanför substratvägen (1).

4. Anordning enligt något av föregående krav, k ä n n e - t e c k n a d av att vid duschningszonens (9) nedströmsände takkonstruktionen (5) sticker ned i huvudsak verktikalt för att begränsa en utträdesspringa (15), som leder in i passagen (13). ,_/7 fïfr Å*'a 1 O C 'CP-

5. Anordning enligt krav 4, k ä n n e t e c k n a d av att höjden på utträdesspringan (15) är högst hälften av höjden mellan duschningskällan (7) och substratvägen (1).

6. Anordning enligt något av föregående krav, k ä n n e - t e c k n a d av att åtminstone en del av passagens (13) längd har mindre höjd än duschningszonen (9).

7. Anordning enligt något av föregående krav, k ä n n e - t e c k n a d av att takkonstruktionen (5) konvergerar mot substratvägen (1) i nedströmsriktningen (3) över passagens (13) längd.

8. Anordning enligt något av krav 1-6, k ä n n e t e c k - n a d av att takkonstruktionen (5) inbegriper en bryggvägg (14) över substratvägen, vilken begränsar en utträdesspringa (15) från duschningszonen (9) och skiljer den zonen och en så- dan passage (13), varvid en sådan passage (13) har en höjd större än den hos utträdesspringan (15).

9. Anordning enligt något av föregående krav, k ä n n e - t e c k n a d av att anordningar (7, 11) finnes för att utma- ta förbeläggningsmaterial och åtminstone en gasström (12) in i duschningszonen i skärande riktningar.

10. Anordning enligt krav 9, k ä n n e t e c k n a d av att det finns åtminstone en sådan gasutmatningsanordning förs- edd med ett utmatningsmunstycke (12) placerat i den övre hal- van av höjden mellan duschningskällan (7) och substratytan (1).

11. Anordning enligt krav 9 eller 10, k ä n n e t e c k - n a d av att anordningar finnes för att förvärma åtminstone en sådan gasström.

12. Anordning enligt något av föregående krav, k ä n n e - t e c k n a d av att anordningar (50) finnes för att blåsa gas uppåt förbi varje sida av substratvägen i duschningszonen. 43 Z-lfità

13. Anordning enligt något av föregående krav, k ä n n e - t e c k n a d av att en avgasledning (17, 39, 40) är placerad i nedströmsänden av belåggningskammaren (6) och har en eller flera inlopp placerade över substratvägen och sträckande sig tvärs över åtminstone huvuddelen av dess bredd och en krökt avgassamlare (46) är anordnad vid ett sådant inlopp anordnat över vägen.

14. Anordning enligt något av föregående krav, k ä n n e - t e c k n a d av att anordningar (21, 41) finnes för att för- hindra flöde av atmosfäriskt material förbi sidorna på sub- stratvägen (1) och mellan zonerna vertikalt ovanför och verti- kalt nedanför den vägen över åtminstone del av beläggningskam- marens (6) längd.

15. Anordning enligt krav 14, k ä n n e t e c k n a d av att sådana flödesförhindrande anordningar omfattar skärmar (21, 41).

16. Anordning enligt något av föregående krav, k ä n n e - t e c k n a d av att anordningar (49) finnes för att alstra sugkrafter i sidoavgasledning, placerad att förorsaka atmosfä- riskt material ovanför substratvägen (1) att strömma utåt bort från vägens centrum över åtminstone en del av passagen (13).

17. Anordning enligt krav 16, k ä n n e t e c k n a d av att sidoavgasledningen (49) är placerad att suga det atmosfä- riska materialet utåt över en zon sträckande sig i huvudsak över hela passagen (13).

18. Anordning enligt krav 16 eller 17, k ä n n e t e c k - n a d av att sidoavgasledningen (49) har inträden som är pla- cerade under substratvägens (1) nivå.

19. Anordning enligt något av föregående krav, k ä n n e - t e c k n a d av att anordningar (22) finnes för att utmata gas i substratets omgivning för att så bilda en kontinuerlig ström, som strömmar i nedströmsriktningen under varje kant på _, ._ 44 460 åt substratvägen (1) och utmed åtminstone del av våglängden som upptages av belâggningskammaren (6).

20. Anordning enligt krav 19, k ä n n e t e c k n a d av att anordningar (22) för att utmata gas för att bilda en sådan ström under vägnivån är anordnad att utmata gas för att bilda en sådan ström tvärs över substratvâgens (1) fulla bredd.

21. Anordning enligt något av föregående krav, k ä n n e - t e c k n a d av att en barriärvägg (27) är anordnad ovanför substratvâgen (1) sträckande sig tvärs över hela bredden på och i huvudsak avstängande nedströmsänden i beläggníngskamma- ren (6).

22. Anordning enligt något av föregående krav, k ä n n e - t e c k n a d av att beläggningsstationen är placerad mellan utträdet från en bandbildningsanläggning och inträdet till en kylkanal (28).

23. Anordning enligt något av föregående krav. k ä n n e - t e c k n a d av att anordningar finnes för att bringa gas att strömma genom en inträdesspringa (31) för substratet till kammaren (6) från uppströmssidan och för förvärmning av gasen.

24. Anordning enligt krav 23, k å n n e t e c k n a d av att anordníngen som förorsakar sådant gasinträde och/eller form på inträdesspringan (31), är sådan att en större volym- flödeshastighet för sådan gas åstadkommas över kanter på sub- stratvägen (1) än över dess mittdel.

25. Sätt vid pyrolytisk bildning av en metallföreningsbelägg- ning på en övre yta av ett varmt glassubstrat i skiv- eller bandform under dess transport i en nedströmsriktning utmed en väg genom en beläggningskammare, i vilken åtminstone en ström av beläggningslösning duschas nedåt mot substratet, k ä n - n e t e c k n a t av att: en duschningszon till beläggnings- kammaren uppvärmes för att åstadkomma förångning av del av be- läggningsmaterialet innan det når substratet för att bemänga 45 ß .7 Wf'a åod Ov atmosfären i sådan zon med förängat beläggningsmaterial; lös- ningen duschas med tillräcklig energi för att säkerställa ak- tivt anslag av återstående beläggningsmaterial mot substratet för att initiera beläggning av substratytan; atmosfär bemängd med beläggningsmaterial i ångfas bringas att strömma i ned- strömsriktning från duschningszonen utmed och i kontakt med den belagda ytan under en kontakttid av åtminstone 10 sek.. varefter återstående material i den med beläggningsmaterialet bemängda strömmen ledes bort från substratet.

26. Sätt enligt krav 25, k ä n n e t e c k n a t av att beläggningskammaren har en längd, som står i sådant förhållan- de till substratets transporthastíghet att varje del av sub- stratlängden förblir exponerad för beläggningsånga under åt- minstone 20 sek.

27. Sätt enligt krav 25 eller 26, k ä n n e t e c k n a t av att beläggningslösningen duschas från en källa, som befin- ner sig åtminstone 75 cm och företrädesvis åtminstone 1,2 m ovanför substratytan.

28. Sätt enligt något av krav 25 till 27, k ä n n e - t e c k n a t av att den med ånga bemängda atmosfären drages bort från duschníngszonen in i en nedströms passagedel av be- läggningskammaren via en utträdesspringa av mindre höjd än duschningszonen.

29. Sätt enligt krav 28, k ä n n e t e c k n a t av att höjden på utträdesspringan är högst hälften av höjden mellan duschningskällan och substratytan.

30. Sätt enligt något av krav 25-29. k ä n n e t e c k - n a t av att nedströmsflödet av med material bemängd gas äger rum inom en passage, som är uppvärmd.

31. Sätt enligt något av krav 25-30, k ä n n e t e c k - n a t av att beläggningsmaterial och åtminstone en ström av gas införes i duschningszonen. så att deras banor skär varand- ra däri. f' f? Il' 1/1' /Cšu 'I L» b

32. Sätt enligt krav 31. k ä n n e t e c k n a t av att åtminstone en sådan gasström utmatas från ett munstycke place- rat i den övre hälften av höjden mellan duschningskällan och substratytan.

33. Sätt enligt krav 31 eller 32, k ä n n e t e c k n a t av att det finns åtminstosne en sådan gasström som utgöres av förvärmd gas.

34. Sätt enligt något av krav 25-33, k ä n n e t e c k _ n a t av att gas blåses uppåt förbi vardera sidan av sub- stratvägen i duschningszonen.

35. Sätt enligt något av krav 25-34, k ä n n e t e c k - n a t av att över åtminstone en del av beläggningskammarens längd flöde av atmosfäriskt material förbi sidokanterna på substratet och mellan zoner vertikalt ovanför och vertikalt nedanför substratet förhindras.

36. Sätt enligt något av krav 25-35, k ä n n e t e c k - n a t av att sugkrafter alstras i sidoavgasledning placerad för att bringa atmosfäriskt material ovanför substratet att strömma utåt bort från en central del av substratvägen över åtminstone en del av beläggningskammarens längd.

37. Sätt enligt krav 36, k ä n n e t e c k n a t av att det atmosfäriska materialet bringas att strömma utåt över en zon sträckande sig åtminstone utmed huvuddelen av beläggnings- kammarens längd nedströms om zonen för den första avsättningen av beläggningsmaterial på substratet.

38. Sätt enligt krav 36 eller 37, k ä n n e t e c k n a t av att atmosfäriska materialet suges utåt på en nivå under substratet.

39. Sätt enligt något av krav 25-38, k å n n e t e c k - n a t av att gas utmatas i substratets omgivning för att så bilda en kontinuerlig ström, som strömmar i nedströmsriktning- 47 - 465 766 en under varje kant på substratet och åtminstone del av be- läggningskammarens längd.

40. Sätt enligt krav 39, k ä n n e t e c k n a t av att det finns en sådan gasström som strömmar under substratet un- der substratets hela bredd.

41. Sätt enligt något av krav 25-40, k ä n n e t e c k - n a t av att beläggningskammaren väsentligen är tíllsluten i sin nedströmsände för att förhindra utbyte av atmosfäriskt ma- terial mellan nedströmsänden på beläggningskammaren och ett ytterligare nedströmsområde för substratvägen.

42. Sätt enligt krav 41, k ä n n e t e c k n a t av att glassubstratet utgöres av ett just bildat band av varmt glas och beläggningen bildas efter det att bandet lämnar en band- bildningsanläggníng och före dess inträde i en kylkanal.

43. Sätt enligt något av krav 25-42. k ä n n e t e c k - n a t av att gas bríngas att strömma nedströms in i belägg- ningskammaren i kontakt med substratet.

44. Sätt enligt krav 43, k ä n n e t e c k n a t av att sådan förvärmd gas bríngas att inträda i beläggningskammaren med en högre volymhastighet över kanterna på substratet än över dess mittdel.