SA08290732B1 - طريقة لتحضير منتج مغلف تشتمل على معالجة طبقة رقيقة محمية من أكسيد فلز باستخدام أشعة أيونية - Google Patents
طريقة لتحضير منتج مغلف تشتمل على معالجة طبقة رقيقة محمية من أكسيد فلز باستخدام أشعة أيونية Download PDFInfo
- Publication number
- SA08290732B1 SA08290732B1 SA08290732A SA08290732A SA08290732B1 SA 08290732 B1 SA08290732 B1 SA 08290732B1 SA 08290732 A SA08290732 A SA 08290732A SA 08290732 A SA08290732 A SA 08290732A SA 08290732 B1 SA08290732 B1 SA 08290732B1
- Authority
- SA
- Saudi Arabia
- Prior art keywords
- layer
- protective film
- dlc
- glass substrate
- carbon
- Prior art date
Links
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 title claims abstract description 95
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 238000011282 treatment Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 6
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 5
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 title claims abstract description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 78
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 76
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 76
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 70
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 48
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 42
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 38
- -1 carbon ions Chemical class 0.000 claims abstract description 27
- 238000005496 tempering Methods 0.000 claims abstract description 24
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims abstract description 19
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 36
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 36
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 36
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 31
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 21
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 17
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 16
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 14
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 9
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000011203 carbon fibre reinforced carbon Substances 0.000 claims description 8
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims description 8
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims description 8
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 7
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 6
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- SXSVTGQIXJXKJR-UHFFFAOYSA-N [Mg].[Ti] Chemical compound [Mg].[Ti] SXSVTGQIXJXKJR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 5
- 229910001423 beryllium ion Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 187
- 239000010408 film Substances 0.000 description 98
- 239000000047 product Substances 0.000 description 33
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 25
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 14
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 8
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 8
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 8
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 7
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 6
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 4
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 4
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 4
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000007943 implant Substances 0.000 description 4
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 4
- 235000021419 vinegar Nutrition 0.000 description 4
- 239000000052 vinegar Substances 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 3
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 238000007735 ion beam assisted deposition Methods 0.000 description 3
- 230000005865 ionizing radiation Effects 0.000 description 3
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 3
- 238000006748 scratching Methods 0.000 description 3
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 description 3
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910007667 ZnOx Inorganic materials 0.000 description 2
- CREMABGTGYGIQB-UHFFFAOYSA-N carbon carbon Chemical compound C.C CREMABGTGYGIQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000008233 hard water Substances 0.000 description 2
- 238000007737 ion beam deposition Methods 0.000 description 2
- 239000002932 luster Substances 0.000 description 2
- 231100000252 nontoxic Toxicity 0.000 description 2
- 230000003000 nontoxic effect Effects 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 230000001012 protector Effects 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 1
- 241001136792 Alle Species 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000611 Zinc aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- HXFVOUUOTHJFPX-UHFFFAOYSA-N alumane;zinc Chemical compound [AlH3].[Zn] HXFVOUUOTHJFPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CSDREXVUYHZDNP-UHFFFAOYSA-N alumanylidynesilicon Chemical compound [Al].[Si] CSDREXVUYHZDNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 150000001721 carbon Chemical class 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 1
- UQEAIHBTYFGYIE-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisiloxane Chemical compound C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C UQEAIHBTYFGYIE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002665 ion therapy Methods 0.000 description 1
- 239000011707 mineral Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 description 1
- 230000003678 scratch resistant effect Effects 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000009718 spray deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 description 1
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
- C03C17/3429—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
- C03C17/3441—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising carbon, a carbide or oxycarbide
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/70—Properties of coatings
- C03C2217/78—Coatings specially designed to be durable, e.g. scratch-resistant
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/90—Other aspects of coatings
- C03C2217/91—Coatings containing at least one layer having a composition gradient through its thickness
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/10—Deposition methods
- C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
- C03C2218/154—Deposition methods from the vapour phase by sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/30—Aspects of methods for coating glass not covered above
- C03C2218/32—After-treatment
- C03C2218/328—Partly or completely removing a coating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/30—Aspects of methods for coating glass not covered above
- C03C2218/355—Temporary coating
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/30—Self-sustaining carbon mass or layer with impregnant or other layer
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
Method of Making Coated Article Including Ion Beam Treatment of Metal Oxide Protective Film الملخـــص يتعلق الاختراع الحالي بطريقة لتحضير منتج مغلف تمت معالجته بالحرارة heat treated coated article لاستخدامه في تطبيقات أبواب الدش shower door applications ، تطبيقات النوافذ window applications ، أو أي تطبيقات أخرى مناسبة حيث تكون هناك رغبة في الحصول على جسيمات شفافة مغلفة transparent coated articles . على سبيل المثال، ترتبط نماذج معينة وفقا لهذا الاختراع بطريقة لتحضير منتج مغلف تشتمل على خطوة للمعالجة بالحرارة heat treating لركيزة زجاجية glass substrate مغلفة بطبقة على الأقل من أو تشتمل على كربون شبيه بالماس diamond-like carbon (DLC) فوقه طبقة رقيقة حامية protective film (على سبيل المثال من أو تشتمل على oxide zinc ). في نماذج تمثيلية معينة، يمكن أن تكون الطبقة الرقيقة الحامية عبارة عن أشعة أيونية معالجة ion beam treated بـ carbon ions على الأقل. وقد تم اكتشاف أن الأشعة الأيونية ion beam تحسن العمر التخزيني للمنتج قبل المعالجة بالحرارة . وعقب و/أو أثناء المعالجة بالحرارة (على سبيل المثال، التقسية بالحرارة thermal tempering ، أو ما شابه)، يمكن إزالة الطبقة الرقيقة الحامية.
Description
oy - طريقة لتحضير منتج مغلف تشتمل على معالجة طبقة رقيقة محمية من أكسيد فلز باستخدام أشعة أيونية Method of Making Coated Article Including Ion Beam Treatment of | Metal Oxide Protective Film الوصف الكامل خلفية الاختراع تتعلق بعض نماذج هذا الاختراع بطريقة لتحضير منتج مغلف تمت معالجته بالحرارة heat treated coated article لاستخدامه في تطبيقات أبواب الدش shower door applications ؛ تطبيقات النوافذ window applications « تطبيقات أغلفة المناضد tabletop applications أو أي تطبيقات © أخرى مناسبة. على سبيل المثال؛ ترتبط نماذج معينة وفقا لهذا الاختراع بطريقة لتحضير منتج مغلف تشتمل على خطوة للمعالجة بالحرارة heat treating لركيزة زجاجية glass substrate مغلفة بطبقة على الأقل تشتمل على كربون شبيه بالماس diamond-like carbon (DLC) فوقه طبقة رقيقة overlying protective film في نماذج تمثيلية معينة؛ يمكن أن تشتمل الطبقة الرقيقة الحامية protective film على واحدة من الطبقتين التاليتين أو كلتيهما: 0 طبقة حجب barrier layer ٠ أو حجز للاكسجين oxygen blocking ؛ و(ب) طبقة إطلاق release layer . في نماذج تمثيلية معينة؛ يمكن أن تكون الطبقة الرقيقة الحامية (على سبيل المثال تتكون من أو تشتمل على zinc oxide ( عبارة عن أشعة أيونية معالجة ion beam treated لزرع carbon على الأقل في داخلها من أجل تحسين مقاومة الجسيم المغلف للتآكل (بمعنى أكثر تحديدا إطالة العمر التخزيني lengthen shelf-life ) قبل المعالجة بالحرارة. وعقب و/أو أثناء المعالجة بالحرارة (على سبيل ٠ المثال؛ التفسية بالحرارة thermal tempering ؛ أو ما شابه)؛ يمكن إزالة الطبقة الرقيقة الحامية protective film كليا أى جزئيا entirely or partially . YAA
EE
وترتبط النماذج الأخرى لهذا الاختراع بمنتج مغلف تمت معالجته مسبقا بالحرارة أو منتج مغلف ستتم معالجته لاحقا بالحرارة أو طرق لتحضيره نفسه. transparent shower doors أبواب الدش الشفافة Jie Coated articles إن الجسيمات المغلفة ووحدات نوافذ IG window units غالبا ما تتم معالجتها بالحرارة coften heat treated على سبيل © المثال تتم تقسيتها حرارياء لأغراض الحماية و/أو التقوية. على سبيل المتال؛ غالبا ما يتم تعريض الركائز الزجاجية المغلفة coated glass substrates للاستخدام في باب الدش shower door و/أو وحدات النافذة للمعالجة بالحرارة window units are often heat treated عند درجة (درجات) حرارة عالية (على سبيل المثال؛ عند حوالي 0A درجة مئوية على الأقل؛ ونمطيا أكثر عند درجة حرارة تتراوح من حوالي ٠٠١ إلى 65٠ درجة (Age لأغراض التفسية purposes of tempering . ٠ ويُعرف الكربون شبيه الماس Diamond-like carbon (DLC) أحيانا بخواصه المقاومة للخدش «resistant to scratching على سبيل المثال؛ تمت مناقشة أنواع مختلفة من DLC في البراءات الأمريكية التالية: ١17؛ 7١0 47ت المكفغااكدت؛ خمفغاتلات؛ لاف عات 2/9 كل مات (OAOALYY مف اد اد OVYTYOAVA OAAADAY لا سكف ١5 4703510 2؛ وقد تم تضمينها كلها في هذا الطلب كمرجع. وسيكون من المرغوب فيه أحيانا توفير وحدة نافذة window unit أو منتج glass article als) آخر له طبقة تغليف حامية protective coating تشتمل على DLC من أجل حمايته من الخدوش وما شابه. ولسوء الحظ؛ فإن DLC يميل إلى التأكسد oxidize والاحتراق burn عند درجات تتراوح من حوالي TAS إلى 50٠ درجة مثوية؛ حيث تتم المعالجة بالحرارة نمطيا في جو يشتمل ٠١ على oxygen . ولذاء سيتم إدراك أن DLC كغلاف فوقي حام لا يستطيع مقاومة عمليات المعالجة YAMA
- ا بالحرارة heat treatments عند درجات الحرارة العالية جدا التي تم وصفها أعلاه والتي غالبا ما تكون هناك حاجة Led) عند تصنيع نوافذ المركبات vehicle windows ووحدات نوافذ window IG units + أغلفة المناضد الزجاجية glass table tops + و/أو ما شابه.
وبناء على ذلك؛ فإن المتمرسين في المجال سيدركون أن هناك حاجة في المجال إلى اكتشاف
© طريقة لتوفير منتجات مغلفة تمت معالجتها بالحرارة (HT) ذات طبقة حامية (واحدة أو أكثر) تشتمل على DLC وهناك حاجة أيضا إلى مواد مغلفة مناظرة تمت معالجتها بالحرارة بالإضافة
إلى تمت معالجتها مسبقا بالحرارة.
في هذا الصددء يكشف طلب البراءة الأمريكي رقم 11/798976 (وقد تم تضمينه هنا كمرجع)
عن طريقة لتحضير منتج مغلف تشتمل على خطوة للمعالجة بالحرارة heat treating لركيزة زجاجية diamond-like مغلفة بطبقة واحدة على الأقل تشتمل على كربون شبيه بالماس glass substrate ٠١ في نماذج تمثيلية معينة؛ . zine oxide («protective film فوقه طبقة رقيفة حامية 0
يمكن للطبقة الرقيقة الحامية أن تتكون من أو تشتمل على كل من 00( طبقة barrier layer «aaa
أو حجز للاكسجين oxygen blocking ؛ و(ب) طبقة إطلاق release layer . وعقب و/أو أثتاء المعالجة بالحرارة (على سبيل المثال؛ تقسية حرارية thermal tempering » أو ما شابه) يمكن إزالة
. entirely or partially Wis sf كليا zinc oxide الطبقة الرقيقة الحامية التي أساسها Ve
ولسوء andl فإن العمر التخزيني shelf life و/أو ثبات الجسيمات المغلفة stability of the coated articles التي تمت معالجته مسبقا بالحرارة في الوثيقة 11/794976 يتسم بأنه محدود.
على سبيل المثال؛ تم اكتشاف أن الطبقة الرقيقة الحامية التي أساسها oxide 2106 معرضة للتآكل
قبل المعالجة بالحرارة susceptible to corrosion prior to heat treatment (بعد المعالجة بالحرارة؛ Yo غالبا ما تتلاشى الطبقة الرقيقة الحامية). إن العينات التي يتم تخزينها في بيئات ذات رطوبة معتدلة تبدأ في فقد لمعانها (عند رؤيتها من الجانب الزجاجي) Lay يؤكد أن الرطوبة على مدار
بي
الوقت تخترق الطبقة الرقيقة الحامية التي أساسها zine oxide وتبلغ DLC وبالإضافة إلى (lly فإن الطبقات الرقيقة بالوثيقة ١١/79837١ طبقا لإيداعها تكون غير قادرة على اجتياز ساعة واحدة في بيئة اختبار تكثيف Alle الحرارة عالية الرطوبة condensing high heat and high humidity (درجة حرارة تبلغ ٠٠ درجة she / رطوبة نسبية تبلغ 35).
8 ا بناء على ذلك؛ سيتم إدراك أن هناك حاجة في المجال إلى تحسين العمر التخزيني improve the shelf-life و/أو ثبات الجسيمات المغلفة stability of the coated articles كتلك التي تم الكشف عنها في 11/798576 بحيث تقل احتمالات فقدانها للمعان قبل المعالجة بالحرارة heat treatment الوصف العام للاختراع
٠ تتعلق نماذج تمثيلية معينة وفقا لهذا الاختراع بطريقة لتحضير منتج مغلف تمت معالجته بالحرارة making a heat treated coated article لاستخدامه في تطبيقات أبواب الدش shower door applications ¢ تطبيقات النوافذ window applications « تطبيقات أغلفة المتاضد tabletop applications أو أي تطبيقات أخرى مناسبة. على سبيل المثال؛ ترتبط نماذج معينة وفقا لهذا الاختراع بطريقة لتحضير منتج مغلف تشتمل على خطوة للمعالجة بالحرارة heat treating لركيزة ٠ زجاجية glass substrate مغلفة بطبقة على الأقل تشتمل على كربون شبيه بالماس diamond- like carbon (DLC) فوقه طبقة رقيقة. في نماذج تمثيلية اختيارية معينة؛ يمكن أن تشتمل الطبقة الرقيقة الحامية على واحدة من الطبقتين التاليتين أو كلتيهما: 0( طبقة حجب barrier layer حجز للاكسجين oxygen blocking ؛ و(ب) طبقة إطلاق release layer . في نماذج تمثيلية معينة؛ يمكن أن تكون الطبقة الرقيقة الحامية (على سبيل المثال تتكون من أو تشتمل على oxide (zinc 0 ٠٠ عبارة عن أشعة أيونية معالجة ion beam treated لزرع carbon ions على الأقل في داخلها من أجل تحسين مقاومة الجسيم المغلف للتآكل (بمعنى أكثر تحديدا إطالة العمر التخزيني بالا
- 1+ - lengthen shelf-life ( قبل المعالجة بالحرارة. وعقب و/أو أثناء المعالجة بالحرارة (على سبيل (JU) التقسية بالحرارة thermal tempering ؛ أو ما شابه)؛ يمكن إزالة الطبقة الرقيقة الحامية التي أساسها oxide zinc كليا أو جزئيا entirely or partially وترتبط النماذج الأخرى لهذا الاختراع بمنتج مغلف تمت معالجته مسبقا بالحرارة أو منتج مغلف ستتم معالجته لاحقا بالحرارة أو © طرق لتحضيره نفسه. في نماذج تمثيلية معينة وفقا لهذا الاختراع؛ يتم تقديم طريقة لتحضير منتج مغلف معالج بالحرارة heat treated coated article ؛ وتشتمل الطريقة على: توفير ركيزة زجاجية glass substrate ¢ تكوين طبقة واحدة على الأقل تشتمل على كربون شبيه بالماس diamond-like carbon فوق الركيزة الزجاجية on the glass substrate ؛ تكوين طبقة رقيقة حامية protective film تشتمل ٠ على zine oxide على الركيزة الزجاجية فوق الطبقة المشتملة على DLC على الأقل ؛ معالجة بالأشعة الأيونية للطبقة الرقيقة الحامية A jon beam treating the protective film تشتمل على zine oxide بها carbon ions على الأقل؛ dallas بالحرارة heat treating للركيزة الزجاجية ذات الطبقة glass substrate with the layer المشتملة على DLC والطبقة الرقيقة الحامية الموجودة فوقها بحيث أنه أثناء المعالجة بالحرارة تمنع الطبقة الرقيقة الحامية احتراق الطبقة ٠ المشتملة على DLC بصورةٍ كبيرة» حيث أن المعالجة بالحرارة تشتمل على تسخين الركيزة الزجاجية heating the glass substrate إلى درجة (درجات) حرارة تكفي للتقسية الحرارية thermal tempering التقوية الحرارية heat strengthening و/أو التقويس الحراري heat bending ؛ وتعريض الطبقة الرقيقة الحامية لسائل إطلاق release liquid وإزالة جزء على الأقل من الطبقة الرقيقة الحامية أثناء و/أو بعد المعالجة بالحرارة المذكورة. ٠ في نماذج تمثيلية أخرى وفقا لهذا الاختراع؛ يتم تقديم طريقة لصنع منتج مغلف معالج بالحرارة making a heat treated coated article » تشتمل الطريقة على: YAA
- ا
توفير ركيزة زجاجية glass substrate ؛ تكوين طبقة واحدة على الأقل تشتمل على كربون فوق الركيزة الزجاجية glass substrate ؛ تكوين طبقة رقيقة حامية protective film تشتمل على
metal oxide واحد على الأقل على الركيزة الزجاجية فوق الطبقة المشتملة على DLC على الأقل
؛ معالجة بالأشعة الأيونية للطبقة الرقيقة الحامية ion beam treating the protective film
© باستخدام carbon ions على الأقل ؛ معالجة بالحرارة heat treating للركيزة الزجاجية ذات الطبقة glass substrate with the layer المشتملة على كربون وفوقها الطبقة الرقيقة الحامية protective film thereon بحيث أنه أثناء المعالجة بالحرارة تمنع الطبقة الرقيقة الحامية احتراق الطبقة المشتملة على الكربون بصورة كبيرة؛ حيث أن المعالجة بالحرارة تشتمل على تسخين الركيزة الزجاجية heating the glass substrate إلى درجة (درجات) حرارة تكفي للتقسية الحرارية thermal
. heat bending و/أو التقويس الحراري heat strengthening التقوية الحرارية tempering Ye
في نماذج تمثيلية أخرى وفقا لهذا الاختراع؛ يتم تقديم منتج مغلف يشتمل على: ركيزة زجاجية glass substrate ؛ طبقة تشتمل على كربون شبيه بالماس diamond-like carbon فوق الركيزة الزجاجية on the glass substrate ؛ طبقة رقيقة حامية protective film تشتمل على zinc oxide
فوق الركيزة الزجاجية on the glass substrate فوق الطبقة المشتملة على DLC على الأقل ؛
VO طبقة أو جزء من طبقة Jada layer or layer portion على zine oxycarbide يتم وضعه على en سطحي surface portion _من الطبقة الرقيقة الحامية التي تشتمل على zine oxide ؛ بحيث
يتم تدريج الطبقة الرقيقة الحامية protective film المشتملة على ٠ zinc oxide على نحو مستمر
: أو متقطع؛ بالنسبة لمحتوى الكربون للحصول على مزيد من الكربون في موقع بالطبقة الرقيقة الحامية على مسافة من الركيزة الزجاجية أبعد من موقع بالطبقة الرقيقة الحامية أقرب إلى الركيزة
Ye الزجاجية. لخ
دام في نماذج تمثيلية أخرى وفقا لهذا الاختراع؛ يتم تقديم طريقة لصنع منتج مغلف معالج بالحرارة making a heat treated coated article ؛ حيث تشتمل الطريقة على: توفير ركيزة زجاجية glass substrate ¢ تكوين طبقة واحدة على الأقل تشتمل على كربون awd بالماس diamond-like carbon فوق الركيزة الزجاجية on the glass substrate ؛ تكوين طبقة © رقيقة حامية protective film تشتمل على zinc oxide على الركيزة الزجاجية فوق الطبقة المشتملة على DLC على الأقل ؛ حيث يتم تكوين الطبقة الرقيقة الحامية التي تشتمل على zine oxide باستخدام هدف رش واحد على الأقل يشتمل على zine الذي يتم رشه في جو يشتمل على غاز كربون carbon gas على الأقل؛ معالجة بالحرارة heat treating للركيزة الزجاجية ذات الطبقة glass substrate with the layer المشتملة على DLC والطبقة الرقيقة الحامية الموجودة ٠ فوقها بحيث أنه أثناء المعالجة بالحرارة تمنع الطبقة الرقيقة الحامية احتراق الطبقة المشتملة على DLC بصورة كبيرة» حيث أن المعالجة بالحرارة تشتمل على تسخين الركيزة الزجاجية heating the glass substrate إلى درجة (درجات) حرارة تكفي للتقسية الحرارية thermal tempering التقوية الحرارية heat strengthening و/أو التقويس الحراري heat bending ؛ وتعريض الطبقة الرقيقة الحامية لسائل إطلاق release liquid وإزالة جزء على الأقل من الطبقة الرقيقة الحامية أثناء و/أو ٠ بعد المعالجة بالحرارة المذكورة. من الممكن عدم الحاجة إلى المعالجة بأشعة أيونية ion beam treatment في هذا النموذج. شرح مختصر للرسومات الشكل رقم ١ عبارة عن مخطط مقطعي عرضي لمنتج مغلف قبل وعقب معالجتها بالحرارة وفقا لنموذج تمثيلي لهذا الاختراع. ٠ الشكل رقم ؟ عبارة عن مخطط مقطعي عرضي لمنتج مغلف قبل وعقب معالجتها بالحرارة Lady لنموذج تمثيلي آخر لهذا الاختراع. بي
١ _ الشكل رقم ؟ عبارة عن مخطط مقطعي عرضي لمنتج مغلف قبل وعقب معالجتها بالحرارة وفقا لنموذج تمثيلي آخر لهذا الاختراع. الشكل رقم ؛ عبارة عن مخطط مقطعي عرضي لطريقة لصنع منتج مغلف قبل وعقب معالجتها بالحرارة وفقا لنموذج تمثيلي آخر لهذا الاختراع. © الوصف التفصيلي : بالإشارة الآن بشكل محدد إلى الرسومات المرفقة حيث تتطابق أرقام مرجعية مع أجزاء مشابهة خلال المساقط المتعددة بأكملها. تتعلق نماذج تمثيلية معينة وفقا لهذا الاختراع بطرق تحضير مواد مغلفة يمكن أن تستخدم المعالجة بالحرارة «heat treating حيث أن المنتج المغلف يشتمل على طبقة تغليف (واحدة أو أكثر) Ye تشتمل على كربون شبيه بالماس carbon) 01000000-116. في أمثلة معينة؛ يمكن للمعالجة بالحرارة أن تتضمن تسخين ركيزةٍ زجاجية glass substrate داعمة DLC Lede إلى درجة (درجات) حرارة تتراوح من ٠ 00 إلى 800 درجة مئوية؛ ومن المفضل من 8080 إلى 800 درجة مئوية (وهذا أعلى بكثير من درجة حرارة احتراق (DLC بشكل محدد؛ تتعلق نماذج تمثيلية معينة وفقا لهذا الاختراع بتقنية تسمح ل DLC بمقاومة Jie تلك المعالجة بالحرارة HT بدون احتراق كبير Ve أثنائها. في نماذج معينة؛ يتم تكوين طبقة تضحية رقيقة حامية (على سبيل المثال تتكون من أو تشتمل على واحدة أو أكثر من الطبقات المشتملة على zine oxide » أو ما شابه) على الركيزة الزجاجية فوق DLC لتقليل احتمال احتراق DLC أثناء 117. في نماذج تمثيلية معينة؛ تتم معالجة الطبقة الرقيقة الحامية (على سبيل المثال تتكون من أو تشتمل على (zine oxide بأشعة أيونية ions من أجل زراعة carbon فوقها. وقد تم على نحو مثير اكتشاف أن زراعة الكربون في الطبقة ٠ الرقيقة الحامية تحسن المنتجات المغلفة المقاومة للتآكل (بمعنى أكثر تحديداء؛ تطيل العمر التخزيني) قبل المعالجة بالحرارة. وعقب و/أو أثناء المعالجة بالحرارة (على سبيل المثال؛ التقسية باغ
ve - الحرارية cthermal tempering وما شابه) يمكن إزالة الطبقة الرقيقة الحامية التي أساسها oxide UK zinc أو جزئيا entirely or partially . ولذاء فإن أغلب (إن لم يكن DLC (JS يبقى على الركيزة الزجاجية؛ ولا يحترق؛ أثناء HT وعقب (HT فإن طبقة التضحية الرقيقة الحامية sacrificial protective film (التي يمكن أن تشتمل على واحدة أو أكثر من الطبقات) يمكن أو لا © يمكن إزالتها في نماذج مختلفة وفقا لهذا الاختراع.
في نماذج تمثيلية معينة؛ يمكن للطبقة الرقيقة الحامية أن تتكون من أو تشتمل على كل من (أ) طبقة حجب barrier layer أو jaa للاكسجين oxygen blocking ؛ و(ب) طبقة إطلاق release layer . وهناك ميزة تمثيلية لاستخدام طبقات مميزة ومختلفة لحجب وإطلاق oxygen في الطبقة الرقيقة الحامية ١١ وهي أن كل طبقة VV) و/7١١ب) يمكن تحسينها لوظيفتها المعنية. وبالتالي؛ ٠ فإن الأداء المحسن لطبقة التضحية الرقيقة VY overall sacrificial film يمكن تحسينه ويمكن ترقيقها عند الحاجة. يمكن للمعالجة الأيونية للطبقة الرقيقة الحامية أن تؤدي إلى تكوين طبقة رفيعة تتكون من أو تشتمل على oxycarbide ١١ج في مساحة سطحية بالطبقة الرقيقة surface .١١7 area of the film في نماذج تمثيلية معينة؛ عقب المعالجة بالحرارة؛ فإن طبقة DLC المتضمنة تحمي ضد السحج والتأكل against abrasion and corrosion ¢ وضد التصاق المعادن YO في الماء العسر against adhesion of minerals in hard water (على سبيل المثال قابلية نظافة جيدة للماء العسر has good hard water cleanability ). وفي نماذ تمثيلية بديلة؛ فإن الطبقة الحامية VY (على سبيل المثال تتكون من أو تشتمل على zine oxide يمكن أو لا يمكن أن يكون مشاباً ب آله أو ما شابه) يمكن أن تكون طبقة مفردة single layer أو يمكن أو لا يمكن تدريجها
بالأكسدة .oxidation ٠ الشكل رقم ١ عبارة عن مخطط مقطعي عرضي لمنتج مغلف؛ قبل وبعد المعالجة بالحرارة؛ وفقا لنموذج تمثيلي لهذا الاختراع. نمطياء المنتج المغلف على يسار الشكل رقم ١ توجد أثناء مرحلة التصنيع قبل المعالجة بالحرارة (HT) ؛ ولكن يمكن أن توجد بعد المعالجة بالحرارة في حالات
بل
- ١١ —
معينة. والمنتج المغلف المبين في الشكل رقم ١ تشتمل على ركيزة زجاجية ٠ glass substrate
طبقة متضمنة DLC ١١؛ طبقة تضحية رقيقة حامية VY يمكن أن تشتمل على واحدة أو أكثر من الطبقات. في نماذج تمثيلية معينة؛ تشتمل الطبقة الرقيقة الحامية ١١7 على طبقة أولى وثانية Py Vg يمكن أن تكونا من مادة (مواد) متشابهة أو مختلفة؛ وتشتمل على طبقة متضمنة zine
oxycarbide © أو جزء من طبقة ١١ج ينشأ عن المعالجة بالأشعة الأيونية .ion beam treating وتتكون الركيزة الزجاجية ١ أو تشتمل على زجاج سيليكات جير الصودا soda-lime-silica glass برغم إمكانية استخدام أنواع أخرى في أمثلة معينة.
يمكن للطبقة المتضمنة ١١ DLC أن تكون ذات سمك يتراوح من * إلى ٠٠٠١ أنجستروم في
نماذج تمثيلية معينة وفقا لهذا الاختراع؛ ويفضل م ٠١ إلى Yoo أنجستروم؛ ويفضل أكثر من Yo
٠ إلى 15 أنجستروم؛ ومن الممكن من ©؟ إلى 5٠ أنجستروم ؛ والسمك EY) تفضيلا هو حوالي ٠ أنجستروم. وفي نماذج تمثيلية معينة وفقا لهذا الاختراع» يمكن لطبقة ١١ DLC أن تكون ذات متوسط صلابة average hardness يبلغ حوالي ٠ جيجا باسكال على الأقل؛ ويفضل أكثر حوالي 7١ 078على الأقل؛ والأكثر تفضيلا من حوالي ٠١ إلى 90 جيجا باسكال. وتؤدي Jie
تلك الصلابة إلى جعل الطبقة (الطبقات) ١١ مقاومة للخدش resistant to scratching ؛ مذيبات > معينة certain solvents ¢ و/أو ما شابه. يمكن للطبقة AVY نماذج تمثيلية معينة؛ أن تتكون من أو تشتمل على نوع خاص من DLC يعرف باسم رباعي الكربون غير المائي tetrahedral amorphous carbon ويمكن أن يكون مهدرجا hydrogenated في نماذج معينة. وفي النماذج المهدرجة المعينة certain hydrogenated embodiments » فإن tetrahedral amorphous gsill carbon (t-aC) أو أي نوع آخر مناسب من DLC يمكن أن يشتمل على من ١ إلى 77١ من hydrogen V- ؛ ويفضل أكثر من * إلى 7710 من oH والأكثر تفضيلا من ٠١ إلى 770 من hydrogen وهذا النوع t-aC من DLC يشتمل على مزيد من روايط sp’ carbon — carbon 5 اتزيد عن روابط sp’ carbon - carbonbonds . وفي نماذج تمثيلية معينة؛ فإن حوالي 778
بل
\Y -— ~— أو ٠ على الأقل من روابط الكربون-الكربون في طبقة ١١ DLC يمكن أن تكون عبارة عن روابط «sp? carbon - carbon (C - - ©( bonds ويفضل أكثر أن تكون حوالي 70970 على الأقل من روابط الكربون-الكربون في الطبقة He ١١ عن روابط ٠ sp’ carbon — carbon bonds في نماذج تمثيلية معنية وفقا لهذا الاختراع»؛ يمكن لطبقة DLC أن تكون ذات متوسط كثافة يبلغ © حوالي 7,4 جم/سم؟ على الأقل؛ ويفضل أكثر حوالي 7,7 جم/سم؟ على الأقل. وأمتلة مصادر الحزم الأيونية الخطية التي يمكن استخدامها لترسيب الطبقة المتضمنة ١١ DLC على الركيزة ١ تشتمل على أي من تلك التي تم الكشف عنها في البراءة الأمريكية رقم 1711547 أو فى ا صنت ار AT مال أو 58 (وقد تم تضمينها كلها هنا كمرجع). وعند استخدام مصدر أشعة أيونية لترسيب طبقة (طبقات) OY يمكن استخدام غاز (غازات) خام تغذية ٠ بالهيدروكربون hydrocarbon feedstock gas(es) (على سبيل المثال ¢(CH; أو HMDSO « أو أي غاز آخر مناسب في مصدر الأشعة الأيونية jon beam source لدفع المصدر نحو بعث أشعة أيونية fon beam نحو الركيزة لتكوين طبقة (طبقات) .١١ ومن الملاحظ أن الصلابة و/أو الكثافة الخاصة بالطبقة (الطبقات) ١١ يمكن تعديلها بتغيير الطاقة الأيونية لجهاز الترسيب varying the .ion energy of the depositing apparatus ٠ تسمح الطبقة ١١ DLC للمنتج المغلف بأن تكون له مقاومة للخدوش أكبر مما إذا لم يتم توفير طبقة .١١ DLC ومن الملاحظ أنه عندما تكون الطبقة على الركيزة الزجاجية ١ في نماذج معينة Li, للاختراع؛ يمكن للطبقة (الطبقات) الإضافية أو لا يمكن أن تكون تحت الطبقة ١١ بين الركيزة 6 ١ والطبقة ١١ layer في نماذج تمثيلية وفقا لهذا الاختراع. ولذاء فإن العبارة 'فوق الركيزة" أو "على الركيزة" طبقا لاستخدامها في هذا الطلب غير مقيدة لتصف التلامس Ye المباشر مع الركيزة حيث يمكن أن يظل وضع طبقة (li) أخرى بينهما. على سبيل المثال وليس الحصر؛ يمكن للطبقة ١١ التي تتكون من أو تشتمل على DLC أن تكون أي طبقات متضمنة DLC لأي من البراءات الأمريكية رقم 18974837؛ أو 61097497 بلالا
— ١١7 -
ددمت أى الالالتت أى التفاكت Sf 1# أو 17775 أو array Savina المتخاضت أرى “فلات أو 1786707 أو 3 177 أو لطعي أر اماد أرى OAAAGAY أر مناه أو 77 أو 47051 (وقد تم تضمينها كلها هنا كمرجع)؛ أو كبديل لذلك يمكن أن تكون © أي نوع آخر مناسب للطبقة المتضمنة DLC ويمكن للطبقة المتضمنة ١١ DLC أن تكون غير آلفة للماء (زاوية تلدمس عال (high contact angle آلفة للماء (زاوية تلامس منخفض low contact angle )؛ أو لا هذا ولا ذاك؛ في نماذج مختلفة وفقا للاختراع. يمكن ل ١١ DLC أو لا يمكن أن تشتمل على من حوالي © إلى 778 من (8؛ ويفضل أكثر من حوالي © إلى 28 من 51 ومن الممكن من حوالي ٠١ إلى 77٠0 من Si في نماذج تمثيلية معينة وفقا لهذا الاختراع.
Ve يمكن أيضا توفير hydrogen في DLC في أمثلة معينة. يتم توفير طبقة تضحية رقيقة حامية ١١ من أجل حماية الطبقة ١١ DLC أثناء HT إذا لم يتم توفير الطبقة الرقيقة ٠١ فإن ١١ DLC ستتعرض للأكسدة oxidize بصورةٍ كبيرة أثناء HT وتحترق؛ وبالتالي تجعل المنتج النهائي معرضا للخدوش. ولكن؛ وجود طبقة التضحية الرقيقة الحامية VV sacrificial protective film يمنع أو يقلل كمية oxygen التي يمكن أن تصل إلى ١١ 01.6 ٠ أضاء HT من الجو المحيط؛ وبالتالي منع DLC من التأكسد بصورة كبيرة أثناء HT ونتيجة لذلك؛ بعد (HT تظل الطبقة المتضمنة ١١ DLC على الركيزة الزجاجية ١ لتوفير المقاومة ضد الخدوش و/أو ما شابه. وفي نماذج تمثيلية معينة؛ فإن الطبقة الرقيقة الحامية VY تشتمل على كل من طبقة حجب barrier layer وحجز للاكسجين (VV oxygen blocking وطبقة
إطلاق ١7 release layer اب. ٠ وقد تم على نحو مثير اكتشاف أن استخدام zine و/أو oxide 2106 في طبقة التضحية الرقيقة الحامية VV sacrificial protective film مفيد في تقليل و/أو aie انتشار oxygen في DLC نا ء HT وفي النموذج التمثيلي الموضح بالشكل رقم ١ وفقا لهذا الاختراع ؛ تشتمل الطبقة مغلا
ve - الرقيقة الحامية VY على طبقة أولى متضمنة NY zine وطبقة ثانية متضمنة zine oxide ١اب. ويمكن للطبقة الأولى المتضمنة VY zine أن تكون فلزية metallic أو فازية إلى حد كبير substantially metallic أو zinc oxide أقل مما في المعادلة الكيميائية في نماذج تمثيلية مختلفة وفقا لهذا الاختراع؛ بينما الطبقة الثانية المتضمنة zine oxide ١١ب يمكن أن تتكون من أو © تشتمل على zine oxide في نماذج تمثيلية معينة وفقا لهذا الاختراع. في نماذج تمثيلية معينة؛ تكون الطبقة ١١7 أكثر فلزية من الطبقة ١١ب. وبعبارة gyal فإن الطبقة ١١ب تحتوي على oxygen أقل من ذلك الذي تحتويه الطبقة ١١أ. وبالتالي؛ فإن الطبقة TY تقدر على العمل كطبقة إطلاق release layer بينما الطبقة ١١ب قادرة على العمل في صورة طبقة حجب barrier layer وحجز للاكسجين Lis oxygen blocking إللى جنب مع الطبقة المتضمنة zinc oxycarbide ٠ 7١ج. والمصطلح طبقة 'حجب" jaa’ لل oxygen يعني أن الطبقة تقوم بمنع كميات كبيرة من oxygen من الوصول إلى DLC أثناء HT في نماذج تمثيلية معينة وفقا لهذا الاختراع؛ فإن الطبقة NY يمكن أن تتكون من أو تشتمل على ZnO, ؛ ويمكن للطبقة 7١١ب أن تتكون من أو تشتمل على ,700 ؛ حيث أن Sx من y (بمعنى HAST تحديدا؛ فإن الطبقة ١١ب تحتوي على oxygen أكثر مم تحتويه الطبقة ١١أ). ١ وعلاوة على ذلك؛ في نماذج تمثيلية معينة وفقا لهذا op Dia) فإن ( تتراوح من حوالي صفر إلى 4 ويفضل SST من حوالي ١.١ إلى 0.4 بل والأكثر تفضيلا من حوالي ١.١ إلى en A ومن الممكن من حوالي ١0٠ إلى .٠7 وفي غضون ذلك؛ في نماذج تمثيلية معينة وفقا لهذا الاختراع؛ فإن * تكون أكبر من oy و« تتراوح من ١.7 إلى oF ويفضل أكثر من حوالي ١. إلى 0,59 بل والأكثر تفضيلا من حوالي ١,5 إلى 0,55؛ ومن الممكن من حوالي 7 إلى nde وبالتالي؛ Ye سيتم إدراك أنه في حالات تمثيلية معينة؛ يمكن للطبقتين IY و7١١ب أن تتكونان من أو تشتملا على zine oxide ؛ ويمكن أن تكون الطبقتان أقل مما في المعادلة الكيميائية. لذ
١5 _— — من المفيد أنه قد تم اكتشاف أن استخدام طبقة VY zine oxide التي تكون أكثر فلزية من طبقة zine oxide 7١١ب (التي يتم تكوين ١١ج بها) يسمح على نحو مثير بمزيد من الكفاءة والسهولة في إزالة الطبقة الحامية VY أثناء و/أو عقب المعالجة بالحرارة (HT) وبعبارة أخرى ؛ فإن الطبقة لأ تكون عبارة عن طبقة إطلاق release layer . يتم استخدام التركيبات المختلفة للطبقات © المتضمنة VV IY zinc oxide لإحداث قيم alga) مختلفة في الطبقتين 7١١أ ولااب؛ ويتم التعامل مع قيم الإجهاد المذكورة للسماح بسهولة إزالة الطبقة الرقيقة ١١7 أثناء و/أو عقب المعالجة بالحرارة. وبشكل محدد؛ يمكن اعتبار الطبقة VY التي أساسها zine oxide كثير الفلزية بمثابة طبقة إطلاق release layer تسمح بسهولة إزالة الطبقة الرقيقة VY من 01.0 أو الركيزة أثناء و/أو عقب المعالجة بالحرارة نظرا لمحتواها المنخفض أو المنعدم من oxygen ؛ بينما الطبقة ١١ب التي ٠ أساسها Jil zinc oxide فلزية (ومؤكسدة أكثر) يمكن اعتبارها طبقة حجب barrier layer وحجز للاكسجين oxygen blocking حيث تقلل أو تمنع DLC من الاحتراق burning و/أو الأكسدة LE oxidizing المعالجة بالحرارة. إن zine oxide عبارة عن مادة مفيدة للطبقة الحامية VY نظرا لسهولة إزالته (على سبيل المثال باستخدام الماء و/أو الخل) أثناء و/أو عقب المعالجة بالحرارة بطريقة غير سمية .non-toxic manner VO وكما هو ملاحظ أعلاه؛ فإن واحدة من الطبقتين IVY و١١ب أو كلتيهما عندما تتكونان من أو تشتملان على zine و/أو zine oxide تكونان أقل مما في المعادلة الكيميائية. وهذا مفيد لأغراض امتصاص الاكسجين getter oxygen أثناء المعالجة بالحرارة. إذا تمت أكسدة zine oxide للطبقة الرقيقة الكاملة ١١7 entire film أكثر مما ينبغي (بمعنى أكثر تحديدا متكافئة (fully stoichiometric Lela قبل المعالجة oxygen ol alls يمكن أن ينتشر Ye خلال zine oxide . ولكن؛ تسمح الطبيعة شبه المتكافئة لطبقة (طبقات) NY و/أى ١٠١ب لل zine الموجود فيها بامتصاص الاكسجين getter oxygen أثناء المعالجة all بحيث لا تحترق طبقة ١١7 على الأقل (ومن الممكن الطبقة (QV أثناء المعالجة بالحرارة. Badly أن الطبقة ذل
- ١٠١ -
العلوية التي أساسها zine oxide الاب و/أو oxycarbide 0 zinc oxycarbide الألومنيوم
Vy يمكن أو لا يمكن أن تحترق (كليا أو entirely or partially Loy ) أثناء المعالجة بالحرارة في نماذج تمثيلية مختلفة وفقا لهذا الاختراع. ويُلاحظ أن هناك فائدة تمثيلية أخرى zine oxide J
شبه المتكافئ (مقارنة ب zine oxide المتكافئ تماما) وهي أنه يمكن ترسيبه (على سبيل المثال
© عبر الرش sputtering أو ما شابه) بصورة أسرع. ويمكن ترسيب إحدى أو WS الطبقتين IY VY 5 بالرش في صورة أقل مما في المعادلة الكيميائية؛ وبأي طريقة مناسبة؛ على سبيل المثال
عن طريق تغيير تدفق غاز الاكسجين oxygen gas flow في غرفة (غرف) الرش sputtering .chamber(s) على سبيل المثال؛ وليس الحصرء فإن الطبقة VY يمكن أن يتم ترسيبها بالرش باستخدام ٠١ مل/كيلو واط (بشأن محتوى تدفق غاز الاكسجين )؛ بينما يمكن ترسيب الطبقة
٠ ١١ب بالرش باستخدام ١١ مل/كيلو واط (حيث تكون بقية الغاز عبارة عن Ar أو ما شابه) في حالات تمثيلية. لاحظ أن واحدة أو أكثر من الطبقات المتضمنة JVY zine oxide لااب» و/ااج يمكن أن تكون مشابة بمواد أخرى مثل Mg «Ti «Cr «Fe «Ni «Zr «N «Al خلائط منها أو ما شابه في نماذج تمثيلية معينة وفقا لهذا الاختراع.
5 في نماذج تمثيلية معينة وفقا لهذا cp Fa) يمكن ترسيب (على سبيل المثال بالرش (sputtering طبقة إطلاق VV release layer (على سبيل المثال» تتكون من zine أو zinc oxide أقل مما في المعادلة الكيميائية) من أجل تكوين سمك يتراوح من ٠٠ إلى ٠0008 أنجستروم؛ ويفضل أكثر من 90 إلى 00٠0 أنجستروم؛ ويفضل أكثر أيضا من حوالي ٠٠١ إلى ٠٠٠١ أنجستروم؛ والأكثر تفضيلا من حوالي ٠٠١ إلى Too أنجستروم. وفي نماذج معينة؛ يمكن ترسيب (على
Yo سببيل المثال بالرش sputtering ( الطبقة المتضمنة VY zine oxide من أجل أن تكون بسمك يتراوح من حوالي 7٠00 إلى ٠٠٠٠١ أنجستروم؛ ويفضل أكثر من حوالي ٠٠00 إلى 5000 أنجستروم؛ ويفضل أكثر من حوالي ٠٠٠١ إلى ©00٠0 أنجستروم والأكثر تفضيلا حوالي 1000
YAA
١7 - 0 أنجستروم ٠ وفي أمثلة تمثيلية معينة؛ فإن الطبقة المتضمنة zinc oxycarbide أى zinc aluminum oxycarbide أو جزء من الطبقة ١١ج يمكن أن تكون بسمك قدره حوالي Or أنجستروم على الأقل في نماذج تمثيلية معينة (على سبيل المثال سمك يتراوح من 9٠ إلى ٠٠٠ أنجستروم)؛ ويفضل حوالي ٠٠١ أنجستروم على الأقل (على سبيل JU سمك يتراوح من ٠٠١ إلى 500 © أنجستروم)؛ أو You أنجستروم (على سبيل المثال من ١5١ إلى 4060 أنجستروم)؛ أو ٠٠١ أنجستروم (على سبيل المثال من ٠00 إلى 4080 أنجستروم. ويمكن للطبقة IVY الأكثر فلزية أن تكون أكثر سمكا من الطبقة ١١٠ب الأقل فلزية Jess metallic layer (تشتمل الطبقة ١١ب على ١١ج في هذا الصدد) في نماذج تمثيلية معينة وفقا لهذا الاختراع؛ ويمكن أن تكون الطبقة CIV لها سمك يزيد عن سمك الطبقة ١١ب بمرتين على الأقل في حالات تمثيلية معينة قبل المعالجة ٠ بالحرارة. والسمك المفضل لطبقة التضحية الرقيقة ١7 overall sacrificial film بالكامل في نماذج تمثيلية معينة يكون أقل من حوالي ٠٠٠٠١ أنجستروم؛ ويفضل أكثر أقل من حوالي vu أنجستروم ؛ والأكثر تفضيلا أقل من حوالي ٠٠٠١ أنجستروم. يوضح الشكل رقم Y نموذجا توضيحيا AT لهذا الاختراع. والنموذج الموضح في الشكل رقم ؟ هو نفس النموذج الموضح في الشكل رقم ١ المشروح أعلاه باستثناء أنه في النموذج الموضح بالشكل ٠ رقم oF يتم وضع طبقة حاجزة ١ barrier layer بين الركيزة الزجاجية ١ والطبقة المتضمئنة DLC .١١ يمكن للطبقة الحاجزة 1 أن تكون عازلة في نماذج تمثيلية معينة وفقا لهذا الاختراع. والطبقة الحاجزة barrier layer الاختيارية 7 وضيفتها منع أو تقليل sodium lf 5 oxygen من الانتقال من الزجاج ١ إلى ١١ DLC أثناء المعالجة بالحرارة. في هذا الصدد؛ يمكن لمثل تلك الطبقة الحاجزة 7 أن تحسن الخواص الضوئية العامة للمنتج المغلف الذي ستتم معالجته لاحقا بالحرارة. Ye يمكن للطبقة الحاجزة v أن تتكون من أو تشتمل على silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride » و/أو ما شابه برغم أنه يمكن استخدام المواد الحاجزة الأخرى. ويتم تكوين الطبقة (الطبقات) الحاجزة على الركيزة الزجاجية ١ بواسطة الرش sputtering ؛ أو بواسطة أي تقنية YAA.
- ١8 ١٠ ذات سمك يتراوح من حوالي ١ barrier layer أخرى مناسبة. ويمكن أن تكون الطبقة الحاجزة أنجستروم؛ والأكثر تفضيلا من 5٠0٠ إلى ٠٠0 ويفضل من Aime أنجستروم في نماذج ٠٠٠١ إلى Barrier layer(s) أنه يمكن توفير الطبقة (الطبقات) الحاجزة ads. أنجستروم ٠٠١ إلى ٠ 7 في نماذج تمثيلية أخرى وفقا لهذا الاختراع» على سبيل المثال في الأشكال من ؛ إلى Lal .١ والركيزة الزجاجية ١١ DLC عند الحاجة؛ بين ©
ويوضح الشكل رقم ؟ نموذجا تمثيليا آخر وفقا لهذا الاختراع. والنموذج الموضح بالشكل رقم ؟ هو نفس النموذج الموضح في الشكل رقم ١ (أو حتى النموذج الموضح في الشكل رقم ؟ إذا تم استخدام الطبقة الحاجزة 1 التي يمكن أن تكون Jie الحالة الموضحة في نموذج الشكل رقم 3) باستثناء أنه بدلا من الطبقتين المنفصلتين «VV 5 NY two discrete layers تتكون الطبقة ٠ الرقيقة الحامية VV من طبقة واحدة يتم تدريجها بالأكسدة (على نحو مستمر أو غير مستمر (continuously or non-continuously عبر سمكها. وفي النموذج الموضح في الشكل رقم ؛ يتم توفير الطبقة الرقيقة ١١7 بحيث تشتمل على مزيد من oxygen بموقع على مسافة من الطبقة ١١ DLC أبعد من موقع آخر في الطبقة الرقيقة أقرب إلى الطبقة .١١ DLC ولاحظ أن الطبقة الرقيقة VY في النماذج الموضحة في الأشكال Y=) يمكن اعتبارها أيضا متدرجة بالأكسدة considered oxidation | ٠ لأن الطبقة الرقيقة الكاملة VY يتم تأكسدها في الطبقة ١١ب الأبعد عن ١١ DLC عن تأكسدها في الطبقة IY الأقرب إلى .١١ DLC ولكن؛ في النموذج الموضح في الشكل رقم oF من الممكن أيضا أن يحدث التدريج بالأكسدة continuous oxidation على نحو مستمر أو على نحو مستمر إلى حد كبير خلال الطبقة الرقيقة بالكامل أو بالكامل إلى حد كبير
في حالات تمثيلية معينة. Ye في كل من النماذج الموضحة في الأشكال من ١ إلى oF يمكن للطبقة الحامية ١١7 (على سبيل المثال تتكون من أو تشتمل على (zine oxide أن تتم معالجتها بأشعة أيونية لزرع كربون 0) على الأقل في الطبقة الرقيقة ٠١7 في مساحة سطحية منها على الأقل. وقد تم على نحو مثير
اد
١٠١ — - اكتشاف أن زراعة الكربون هذه في الطبقة الرقيقة الحامية يحسن مقاومة المنتج المغلف ضد JST (بمعنى إطالة عمره التخزيني (lengthens shelf-life قبل المعالجة بالحرارة. ويمكن إجراء المعالجة بالأشعة الأيونية beam treating 108 باستخدام واحد أو أكثر من المصادر الأيونية A يمكن استخدام غاز Jie (يتار) carbon dioxide » acetylene ؛ أو ما شابه في المصدر (المصادر) © الأيونية VA jon source(s) أثناء المعالجة بالأشعة الأيونية تلك من أجل توجيه أيونات الكربون carbon fons تلك نحو أو في الطبقة الرقيقة VY وفي نماذج تمثيلية معينة؛ يمكن زراعة الكربون تحت سطح الطبقة الرقيقة VV surface of film بحوالي ٠ أنجستروم على «JAI ويفضل حوالي ٠ أو ١٠١ أو ٠٠١ أنجستروم على الأقل تحت سطح الطبقة الرقيقة VY وتؤدي المعالجة بالأشعة الأيونية ion beam treating تكوين بعض zinc oxycarbide على الأقل بمساحة ٠ سطحية بالطبقة الرقيقة VY على الأقل وبالتالي يمكن أن تكون الطبقة المتضمنة zine ١١7 oxycarbide بسمك يبلغ حوالي ٠٠ أنجستروم في بعض النماذج التمثيلية؛ ويفضل حوالي ١٠١ Joe أو You أنجستروم على الأقل. ونظرا zine oxycarbide oY يلتصق بإحكام؛ وغير قابل للذوبان نسبياء فإن الطبقة الرقيقة VV تصبح أكثر مقاومة للتآكل وأكثر متانة ومن هنا يطول العمر التخزيني الخاص بها قبل معالجتها بالحرارة. وتم اكتشاف أن العينات التي تمت ٠ معالجتها باستخدام carbon dioxide قد حستنت العمر التخزيني مقارنة بالعينات التي ترسبت باستخدام oxygen فقط.
في نماذج مختلفة وفقا لهذا الاختراع؛ فإن معالجة الطبقة VY treatment of film بالأشعة الأيونية ion beam يمكن إجراؤه: 0( بعد أن يتم ترسيب الطبقة ١١ بالرش sputtering ¢ و/أو (ب) بينما يتم ترسيب الطبقة ١١7 بالرش. يمكن LAY) إلى الأولى بأنها عملية تشكيل بينما الثانية بأنها Yo ترسيب بمساعدة الأشعة الأيونية (IBAD) beam assisted deposition في حالات تمثيلية معينة. ويتم إجراء معالجة بالأشعة الأيونية ion beam treatment من نوع IBAD بالتزامن مع الرش ؛
بحيث يتم استخدام الأشعة الأيونية لمعالجة الطبقة الرقيقة ١١7 أثناء ترسيبها بالرش.
مغلا
Cv. _ يمكن وصف المعالجة بالأشعة الأيونية التمثيلية وفقا لمعالجة بالأشعة الأيونية من نوع التشكيل )1( للطبقة الرقيقة VY كما يلي. يتم ترسيب طبقة رقيقة VY (تضم واحدة من الطبقتين SV NY كلتيهما) (على سبيل المثال؛ يتم ترسيب ZnOx بواسطة الرش على الركيزة الزجاجية .١ يمكن I oxide المرشوش للطبقة الرقيقة VY أو لا يمكن أن يكون مشاباً عناصر أخرى (على سبيل
© المثال (Al في نماذج مختلفة وفقا لهذا الاختراع. بعد رش الطبقة الرقيقة VY المتضمنة ZnOx على الركيزة ١ فوق eV) DLC يتم تحريق المنتج المغلف بالنسبة لمصدر أيونات ion source واحد على الأقل ٠8 ليكون في موضع رش. تتم التغذية بغاز واحد على الأقل يشتمل على كربون (على سبيل المثال غاز هيدروكربوني hydrocarbon gas مثل CoH, أو ما شابه) خلال أو يتم اسخدامه في مصدر (مصادر) الأيونات YA jon source(s) بحيث يؤدي مصدر (مصادر)
٠ الأيونات إلى انبعاث أشعة أيونية تشتمل على (C) carbon ions على الأقل نحو الطبقة الرقيقة VV المتضمنة »200. يتم تزويد كربون ال Bons الأشعة الأيونية بطاقة كافية بحيث يمكن زراعتها في الطبقة الرقيقة VY المتضمنة ZnOy كما هو مبين في الأشكال v=) وبُلاحظ أنه يمكن تركيز الأشعة الأيونية من المصدر VA أو نشرهاء أو جعلها متوازية في النماذج المختلفة
٠ وفقا للاختراع.
Vo تودي زراعة dons /ذرات الكربون في الطبقة الرقيقة VV المتضمنة «200 إلى تكوين طبقة تشتمل على zine oxycarbide 7١ج بالقرب من سطح الطبقة الرقيقة على الأقل كما هو مبين في الأشكال YY وتؤدي زراعة dons /ذرات الكربون في الطبقة الرقيقة ١١ إلى تحسن مقاومة الطبقة الرقيقة ١١7 الناتجة ضد التأكل بصورة كبيرة بالنسبة للطبقة الرقيقة VV قبل زراعة fons إذرات كربون .
٠ عند الزراعة في الطبقة الرقيقة VV المتضمنة »200 في حالات تمثيلية Aime تتضمن أيونات الكربون carbon ions طاقة أيونية كافية لمنع oxygen من جزيئات ZnO, للسماح بتكوين طبقة مستمرة إلى aa كبير أو eda من طبقة يشتمل على zine oxycarbide ١١ج بالقرب من سطح
بال
؟١ -
الطبقة المشكلة مسبقا بالرش sputtering طبقا لما هو مبين في الأشكال To) وفي نماذج تمثيلية معينة؛ يمكن تحديد خصائص طبقة zine oxycarbide ١١ج جزئيا على الأقل بواسطة
,200 ؛ حيث أن نسبة Sy [x من ٠,8 إلى .٠,# هناك حاجة إلى جهد Je نسبيا في مصدر (مصادر) الأيونات YA fon source(s) من أجل © توفير طاقة كافية لأيونات الكربون carbon ions في الأشعة من مصدر الأيونات من أجل: 0( زراعتها في طبقة ZnO, المرشوشة VV (ب) طرد Oxygen من جزيئات ,200؛ و(ج) تنفيذ الخطوتين (أ) و(ب) بدرجة كافية بحيث يمكن تكوين نطبقة مستمرة إلى حد كبير من Zinc oxycarbide ١١ج. ولتحقيق طاقة كافية في هذا الصدد » وفقا لنماذج تمثيلية معينة لهذا الاختراع؛ فإن مصدر (مصادر) الأيونات VA تستخدم جهد مصعد- مهبط anode-cathode قدره ٠ حوالي Ave فولط على الأقل؛ ويفضل حوالي ١5060 فولط على الأقل؛ يفضل أكثر حوالي Tov فولط على الأقل؛ والأكثر تفضيلا أيضا حوالي Youu فولط على الأقل. ويمكن أيضا استخدام جهد مصدر a) حوالي rors فولط على الأقل في حالات معينة. وكلمة "aga (أو جهد تسريع (accelerating voltage المشار إلى استخدامها في مصدر (مصادر) الأيونات YA لزراعة fons /ذرات الكربون في الطبقة الرقيقة ١١7 تشير إلى الجهد بين المصعد والمهبط لمصدر ٠ الأيونات. وكما هو معروف في المجال؛ فإن مصطلح ABU أيونية fon energy " يتعلق بهذا "الجهد" المصعدي/المهبطي Sly anode/cathode يختلف عنه. وهذه الطاقة الأيونية لقطعة جزيئية تعادل تصف (Yi) جهد التسريع لأسيتيلين جزيئي molecular acetylene مثلا. ولذا فإن الطاقة الأيونية لقطعة جزيئية molecular fragment ion energy ؛ المعطاة aga قدره Youu فولط؛ ستكون ٠٠٠١ = Y/Y eu فولط. علاوة على ذلك؛ في Ala أيونات الكربون carbon ions .9 المتكونة من acetylene المستخدم في صورة غاز خام تغذية في مصدر ١ لأيونات ion source ¢ هناك ذرتين كربون لكل قطعة جزيئية. ولذاء فإن الطاقة لكل أيون كربون هي طاقة أيونية لقطعة جزيئية تمت قسمتها على اثنين في حالة أن (CoH) قد تم استخدامه في صورة غاز خام التغذية
م
- YY -
gas 605006 _لتكوين أيونات الكربون carbon ions في الأشعة. بعبارة أخرى»؛ ولأغراض التمثيل فقط؛ في حالة تكوين carbon ions باستخدام (CoH) في صورة غاز خام التغذية feedstock gas في مصدر الأيونات ؛ فإن قيم جهد مصدر الأيونات (بمعنى على الأقل حوالي ٠ فولطء ١0١ فولطء ٠00١ فولط و/أو Youu فولط طبقا لما تم شرحه أعلاه) تتحول إلى © قيم طاقة أيونية energies «م: قدرها حوالي ٠٠١ إلكترون فولط لكل أيون كربون على الأقل ؛ ويفضل أكثر حوالي FYE إلكترون فولط لكل أيون كربون على الأقل ؛ ويفضل أكثر أيضا حوالي ٠ إلكترون فولط لكل أيون كربون على الأقل؛ والأكثر تفضيلا أيضا حوالي Ye إلكترون فولط لكل أيون كربون على الأقل. إذا تم استخدام قدر منخفض جدا من الطاقة الأيونية (أو الجهد في مصدر الأيونات)؛ من الممكن عدم تحقيق زراعة أيونات الكربون carbon ions و/أو تكوين
. titanium oxycarbide طبقة مستمرة تشتمل على | ٠ كغاز خام CoH, Jie hydrocarbon gas وستتم معرفة أنه عندما يتم استخدام غاز هيدروكربوني فإن 1005 في الأشعة الناتجة ستشتمل على كل VA source في المصدر feedstock gas تغذية zine ولذاء يمكن لطبقة . 11 ions وأيونات هيدروجين carbon fons من أيونات كربون أو ما شابه) في نماذج AL أو جزء طبقة ١١ج أن يكون مشابا ب 11 (بالإضافة إلى oxycarbide 770 معينة لهذا الاختراع. في نماذج تمثيلية معينة؛ فإن الطبقة ١١ج تشتمل على من صفر إلى V0 إلى 718 من 1 والأكثر تفضيلا من حوالي © إلى 71 من ١ من حوالي SST ويفضل cH من
-H في طبقة lS بعمق carbon ions في نماذج معينة لهذا الاختراع؛ تتم زراعة أيونات الكربون zine من أجل تمكين طبقة مستمرةٍ إلى حد كبير تشتمل على VY الرقيقة المرشوشة 0+ في نماذج تمثيلية معينة تتم زراعة ٠ لتكوين جزء علوي منها مباشرةٌ على الأقل ج١١ oxycarbide ٠ في الطبقة ) carbon atoms ذرات الكربون Sif) على الأقل carbon ions بعض أيونات الكربون أنجستروم على الأقل أدنى السطح العلوي للطبقة YO 0308 الرقيقة المرشوشة ١١ج إلى عمق "ل" ب
YY — ا
الرقيقة المرشوشة ١١ (ويفضل أكثر حوالي 00 أنجستروم على الأقل؛ والأكثر تفضيلا حوالي ٠ أنجستروم على الأقل). ويمكن للزراعة غير الكافية أن تساهم في عدم تعزيز المتانة أو ما
شابه؛ أو البلى بسرعة كبيرة. في نماذج تمثيلية معينة وفقا لهذا النموذج؛ يمكن تشغيل مصدر (مصادر) الأيونات ion VA source(s) © من أجل إطلاق carbon ions كافية فقط نحو الطبقة الرقيقة VY لزراعة ions /ذرات الكربون في الطبقة الرقيقة VY طبقا لما هو مبين في الأشكال FY ولكن ليس لإحداث طبقة من DLC غير amorphous (Sle (على سبيل المثال ta-C أو (ta-C:H بحيث تتكون فوق طبقة zine oxycarbide) ١١ج. وكبديل لذلك؛ في نماذج أخرى وفقا لهذا الاختراع؛ يتم تشغيل المصدر (المصادر) ١8 لإحداث طبقة رقيقة (غير مبينة) تشتمل على DLC غير مائي Ae) amorphous ٠ سبيل المثال ta-C أو 8-11) بحيث تتكون فوق طبقة zinc oxycarbide 7١١ج. والخواص التمثيلية لطبقات DLC تلك قد تمت مناقشتها في البراءة الأمريكية رقم YTV TAY التي تم تضمينها هنا كمرجع. يمكن لطبقة DLC الرفيعة هذه (غير مبينة) أن تكون ذات سمك قدرهِ يتراوح من حوالي ١ إلى "١ أنجستروم في نماذج تمثيلية معينة؛ ويفضل أكثر أن تكون ذات سمك قدرهِ يتراوح من حوالي ١ إلى ٠١ أنجستروم. ويلاحظ أن الطبقات AY) يمكن Lag ٠٠ أيضا فوق أوكسي الكربيد over the oxycarbide في حالات معينة. وعلاوة على ذلك؛ فإن الطبقة المتضمنة DLC الرقيقة جدا هذه يمكن في نماذج معينة أن تكون للتضحية حيث يتم تصميمها لتبلى (بمعنى أكثر تحديدا تتلاشى) بمرور الوقت؛ بخاصة أثناء المعالجة بالحرارة. ولذاء على سبيل المتال؛ يمكن استخدام الطبقة الرقيقة هذه المشتملة على DLC لحماية المنتج المحمي من الخدش أو ما شابه أثناء الشحن؛ المعالجة أو ما شابه؛ ثم تتلاشى بمرور الزمن (أو تحترق Yo أثناء المعالجة بالحرارة. واختياريا فإن هذه الطبقة الفوقية المشتملة على DLC (غير المبينة) يمكن أن تكون ذات سمك أكبر من Yo أنجستروم في حالات معينة. ويمكن لمثل تلك الطبقة (الطبقات) الفوقية المتضمنة DLC أن تشتمل على قدر كبير من روابط sp’ كربون = كربون (على سبيل
ب
ove - المثال حوالي ٠ 4 7 من روابط كربون - كربون carbon-carbon bonds في الطبقة على الأقل؛ ويفضل أكثر ٠ 75 على الأقل)؛ ويمكن أو لا يمكن أن تكون مهدرجة (على سبيل JU من حوالي ١ - 7275 من oH ويفضل أكثر من حوالي ؟ = 218 من (H أو تشتمل على عوامل إشابة في نماذج مختلفة لهذا الاختراع» و/أو يمكن أن تكون ذات كثافة قدرها 7,4 جم/سم؟ في © حالات تمثيلية معينة. وقد تم الكشف عن أمثلة لمصادر الأيونات ١8 التي يمكن استخدامها لمعالجة بالأشعة الأيونية للطبقة الرقيقة ١١ في البراءات الأمريكية رقم Ve OYOAL 5 un YY و١٠ يما وقد تم تضمينها كلها في هذا الطلب كمرجع. وسيتم الآن تقديم عملية تمثيلية لصنع منتج مغلف بالإشارة إلى الأشكال ١ - ©. في البداية؛ يتم ٠ توفير ركيزة زجاجية ١ glass substrate ويمكن اختياريا رش طبقة حاجزة barrier layer واحدة على الأقل ١ (على سبيل المثالء silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride « أو ما شابه) على سطحها. واختياريا يمكن ترسيب (على سبيل المثال بالرش sputtering ) لطبقة تغليف عيارية شمسية متعددة الطبقات multi-layer solar control coating (غير مبينة) على سطح الركيزة الزجاجية ١ surface of the glass substrate | ٠ مقابل الطبقة الحاجزة .١ barrier layer يتم ترسيب طبقة ١١ على الأقل تتكون من أو تشتمل على DLC (على سبيل المثال عبر ترسيب بالأشعة الأيونية via (ion beam deposition على الركيزة الزجاجية ١ glass substrate فوق الطبقة الحاجزة barrier :©7ه1_الاختيارية 7 على الأقل إن وجدت. وبعد ذلك؛ يتم ترسيب الطبقة الرقيقة الحامية OY على سبيل المثال تشتمل على طبقة واحدة أو أكثر (على سبيل المثال تتكون من أو تشتمل على zine oxide ٠ ) فوق الركيزة على الطبقة المتضمنة .١١ DLC يمكن ترسيب الطبقة الرقيقة الحامية ١ عبر الرش sputtering ؛ أو «CVD أو ترسيب بالأشعة الأيونية؛ أو أي تقنية أخرى مناسبة. بم vo ٠ على الأقل carbon ions بالأشعة الأيونية بواسطة ١١7 بعد ذلك تتم معالجة الطبقة الرقيقة الحامية تشتمل على protective film يمكن توفير طبقة رقيقة حامية (lial طبقا لما تم شرحه أعلاه. (غير مبينة) فوق DLC, silicon nitride, aluminum nitride, or silicon aluminum nitride . oxygen Jaa قبل المعالجة بالحرارة في حالات معينة لأغراض المتانة و/أو ١7 الطبقة الرقيقة ١١ فإن الركيزة الزجاجية ذات الطبقات > (اختياريا)» © - ١ وطبقا لما هو مبين في الأشكال © التقويس cthermal tempering لأغراض التقسية الحرارية (HT) فوقها تتم معالجتها بالحرارة VV و/أو ما شابه. ويتم تنفيذ جزء heat strengthening التقوية الحرارية » heat bending الحراري طبقا لما هو oxygen في جو يشتمل على JE على الأقل من المعالجة بالحرارة» على سبيل إلى 8060 درجة مئوية؛ ويفضل © ٠ معروف في المجال عند درجة (درجات) حرارة تتراوح من درجة مئوية (بمعنى أكثر تحديداء درجة (درجات) حرارة أعلى من درجة Ave أكثر من 080 إلى ٠ ويمكن أن تستمر المعالجة بالحرارة لمدة دقيقة واحدة على الأقل» ويفضل (DLC حرارة احتراق دقائق؛ في نماذج تمثيلية معينة غير مقيدة وفقا لهذا الاختراع. وأثناء المعالجة ٠١ إلى ١ أكثر من من المعالجة ١١ DLC يحمي الطبقة المتضمنة VY بالحرارة؛ فإن وجود الطبقة الرقيقة الحامية بصورة كبيرة بسبب burning و/أو الاحتراق oxidizing من الأكسدة ١١ بالحرارة ويمنع الطبقة الكبيرة التي تتم أثناء المعالجة بالحرارة. وبينما في بعض الحالات يمكن أن oxidation الأكسدة Vo فإن أغلب إن لم يكن كل الطبقة المتضمنة galls أثناء المعالجة ١١ يحترق جزء من الطبقة حتى بعد المعالجة بالحرارة بسبب وجود الطبقة الرقيقة الحامية ١ يبقى على الركيزة DLC أثناء و/أو بعد المعالجة بالحرارة. وهناك VY ولكن يمكن إزالة الطبقة الرقيقة VY protective film وهي سهولة إزالتها بعد VY في الطبقة الرقيقة 2:06 oxide و/أو zine ميزة هامة ترتبط باستخدام zine و/أو zine من VY المعالجة بالحرارة. وقد تم اكتشاف أنه عندما يتم تصنيع الطبقة الرقيقة ٠ ؛ القابل للذوبان في الخل و/أو الماء (ومن الممكن الماء فقط بدون الخل يكون هو oxide المطلوب في بعض النماذج المفضلة المعينة)؛ فإن استخدام الخل و/أو الماء يسمح بسهولة إزالة الذي يبقى بعد المعالجة بالحرارة وذلك بطريقة غير سامة. ومرة أخرى؛ ١١ جزء من الطبقة الرقيقة ب
- 7١ 0
في بعض النماذج التمثيلية؛ من الممكن إزالة zine oxide باستخدام الماء فقط (وعدم إضافة (Ja في حالات معينة؛ وهو مفيد من ناحية التكلفة والمعالجة. وفي حالات تمثيلية معينة؛ فإن الاحتكاك مع مثل تلك السوائل يكون مفيدا بشكل خاص في إزالة الطبقة الرقيقة VY بعد المعالجة بالحرارة عندما يكون المنتج المغلف لا يزال دافثا منها (على سبيل المثال» عندما تتراوح درجة حرارة الطبقة © الرقيقة VY من حوالي 880 إلى Yoo درجة مئوية؛ ويفضل أكثر من حوالي ٠٠١ إلى YA درجة مئوية؛ برغم أن إزالة الطبقة ١١ يمكن أن يحدث أيضا عند درجة حرارة الغرفة في نماذج تمثيلية معينة). وبعد إزالة الطبقة الرقيقة VY يظهر المنتج المغلف المتبقي في الجانب الأيمن من الأشكال oF - ١ ويشتمل على طبقة خارجية تشتمل على DLC مقاوم للخدوش. إن العمليات سابقة الذكر مفيدة في أنها توفر تقنية للسماح بأن تتم معالجة بالحرارة لمنتج مغلف يشتمل على ٠ طبقة حامية متضمنة ١١ DLC وذلك بدون احتراق طبقة ١١ DLC أثناء مثل تلك المعالجة بالحرارة. بعبارة pal يصبح من الممكن توفير طبقة حامية متضمنة ١١ DLC فوق منتج معالج
بالحرارة (على سبيل المثال مقسَّى بالحرارة) بطريقة مقبولة تجاريا. والشكل رقم ؛ عبارة عن مخطط مقطعي عرضي لطريقة لصنع منتج مغلف وفقا لنموذج تمثيلي آخر لهذا الاختراع. ليست هناك حاجة إلى معالجة الطبقة أو الطبقة الرقيقة VY بأشعة أيونات ion dbeam VO هذا التموذج؛ بالرغم من إمكانية استخدام المعالجة بالأشعة الأيرنية ion beam treating لمعالجة الطبقة الرقيقة VY بعد ترسيبها وفقا للنموذج الموضح بالشكل رقم 4. في النموذج الموضح بالشكل رقم of يتم استخدام واحد أو أكثر من أهداف رش sputtering targets T (على سبيل المثال أهداف تدوير ماجنترون magnetron rotating targets تتكون من أو تشتمل على Zn أو ,200 لترسيب الطبقة الرقيقة VV بالرش sputtering فوق الركيزة ١ بينما تتحرك الركيزة في Ye الاتجاه oD ومن الممكن فوق .١١ DLC يمكن للطبقة الرقيقة VY أن تتكون من أو تشتمل على zine oxide كما هو موضح في أي من النماذج التي تمت مناقشتها أعلاه بالنسبة للأشكال ١ - “. في النموذج الموضح في الشكل رقم 4؛ يتم إدخال الغاز المتضمن كربون (على سبيل المثال
ب
YY - - واحد أو أكثر من carbon dioxide, acetylene « أو ما شابه) إلى غرفة (غرف ) الرش sputtering chambers) بحيث يتم رش هدف (أهداف) T (12:861)5 في جو يشتمل على الغاز المتضمن الكربون ومن الممكن غاز آخر مثل oxygen و/أو argon منأجل ترسيب الطبقة الرقيقة VV المتضمنة zine oxide بالرش sputtering . ونظرا oN الغاز المتضمن الكربون في © غرفة الرش ؛ يتم ترسيب الطبقة الرقيقة VY المتضمنة zine oxide بحيث تشتمل على الكربون في داخلها. وفي هذا النموذج؛ يمكن توفير الكربون خلال سمك الطبقة الرقيقة J) ١١7 طبقة منها) بطريقة ثابتة إلى حد كبير في نماذج تمثيلية معينة. من الممكن أيضا ترسيب الطبقة YY باستخدام واحد أو أكثر من أهداف الرش T (على سبيل Jl أهداف تدوير ماجنترون magnetron rotating targets ) تتكون من أو تشتمل على 208 أو ٠ .700 في جو من oxygen و/أو argon (كربون قليل أو متعدم ¢(no or little carbon وبعد ذلك ترسيب الطبقة ١١ب باستخدام واحد أو أكثر من أهداف الرش (على سبيل المثال أهداف تدوير ماجنترون magnetron rotating targets ( تتكون من أو تشتمل على 70 أو +0 في جو من oxygen و/أو argon طبقا لما تم شرحه أعلاه. في هذا الصدد؛ سيتم تدريج الطبقة الرقيقة VY على نحو مستمر أو غير مستمر؛ بالنسبة لمحتوى الكربون خلال الطبقة الرقيقة. VO والنموذج الموضح في الشكل رقم ؛ يشبه النماذج الموضحة في الأشكال ١ - 3 بحيث أن وجود الكربون في الطبقة الرقيقة VY يؤدي إلى تكوين zinc oxycarbide في الطبقة الرقيقة VY (خلال كل أو oa فقط منهاء بما في ذلك السطح العلوي لها). ويعمل zine oxycarbide في الطبقة الرقيقة VV على تحسين مقاومة الطبقة الرقيقة الناتجة Y للتآكل بصورة كبيرة بالنسبة لطبقة zine 06 لا تشتمل على oxycarbide . وبعد تكوين الطبقة الرقيقة ٠١ في النموذج الموضح بالشكل ٠٠ رقم cf يمكن معالجة المنتج المغلف بالحرارة؛ ويمكن إزالة الطبقة الرقيقة 01 طبقا لما تم وصفه Lad يتعلق بالنماذج الموضحة في الأشكال ١ - 3. بالك
— YA -
وفقا للنماذج التمثيلية المعيئة لهذا الاختراع؛ فإن المنتجات المغلفة هنا تفقد ما لا يتجاوز حوالي
٠8 من خاصية النفاذية المرئية visible transmission بسبب المعالجة بالحرارة» ويفضل أكثر
ما لا يتجاوز حوالي .7٠١ وعلاوة على ذلك؛ فإن المنتجات المغلفة أحادية القطعة هنا يفضل أن
تتسم بنفاذية مرئية بعد المعالجة بالحرارة قدرها حوالي 75٠ على الأقل ؛ ويفضل أكثر حوالي 0+ أو 7775 على الأقل.
وفي نماذج تمثيلية معينة وفقا للاختراع» يمكن أن يحل Mg محل Zn أو يكمله في الطبقة الرقيقة
AY الحامية
بالرغم من أنه قد تم وصف الاختراع فيما يتعلق Ley يتم اعتباره حاليا أكثر النماذج lee
luni يجب فهم أن الاختراع غير مقيد بالنماذج التي تم الكشف عنهاء؛ ولكن على العكس؛ من ٠ المقرر أن يغطي التعديلات والترتيبات المكافئة المتتوعة حيث تقع في فحوى ومجال عناصر
الحماية الملحقة. ْ
YAAS
Claims (1)
- - ١ عناصر الحماية١ ١ - طريقة لصنع منتج مغلف معالج بالحرارة heat treated coated article ؛ وتشتمل الطريقة " - على:¢ glass substrate توفير ركيزة زجاجية YF؛ تكوين طبقة واحدة على الأقل تشتمل على كربون شبيه بالماس diamond-like carbon (DLC) هه فوق الركيزة الزجاجية on the glass substrate ¢1 تكوين طبقة رقيقة حامية protective film تشتمل على zinc oxide فوق الركيزة الزجاجية on the glass substrate ١ على الطبقة التي تشتمل على DLC على الأقل؛A المعالجة بأشعة أيونية jon beam treating للطبقة الرقيقة الحامية protective film التي 4 تشتمل على zine oxide باستخدام carbon ions على الأقل؛glass substrate with the layer للركيزة الزجاجية ذات الطبقة heat treating المعالجة بالحرارة ٠ بحيث أنه protective film thereon وفوقها الطبقة الرقيقة الحامية DLC التي تشتمل على ١ أثناء المعالجة بالحرارة تمنع الطبقة الرقيقة الحامية احتراق الطبقة المشتملة على الكربون بصورة VY heating the glass كبيرة» حيث أن المعالجة بالحرارة تشتمل على تسخين الركيزة الزجاجية ١" التقوية cthermal tempering إلى درجة (درجات) حرارة تكفي للتفسية الحرارية substrate ٠ ؛ وتعريض الطبقة الرقيقة heat bending و/أو التقويس الحراري heat strengthening الحرارية ٠ وإزالة جزء على الأقل من الطبقة الرقيقة الحامية أثناء release liquid الحامية لسائل إطلاق 11 المذكورة. said heat treating و/أو بعد عملية المعالجة بالحرارة VYfon Adds الطريقة وفقا لعنصر الحماية رقم ١؛ حيث تكوّن المعالجة بالأشعة الأيونية -Y ١ surface على جزء سطحي zinc oxycarbide تشتمل على beam treating forms a layer ١ على الأقل من الطبقة الرقيقة الحامية. portion Y بخ: .سم ١ ©- الطريقة وفقا لعنصر الحماية رقم )0 حيث تشتمل الطبقة الرقيقة الحامية على طبقة إطلاق release layer Y وطبقة حاجزة barrier layer لل coxygen وتكون طبقة الإطلاق release layer " والطبقة الحاجزة barrier layer لل oxygen من مادتين مختلفتين و/أو كميات متكافئة مختلفة ؛ بالنسبة لبعضها البعض؛ وحيث تشتمل طبقة الإطلاق release layer على oxide لواحد أو 2 أكثر من magnesium ٠ titanium boride ¢ boron و/أو zinc . ١٠ >- الطريقة وفقا لعنصر الحماية رقم ١؛ حيث تشتمل الطبقة الرقيقة الحامية على طبقة إطلاق release layer ¥ وطبقة حاجزة barrier layer لل oxygen ¢ حيث تشتمل كل من طبقة الإطلاق release layer ¥ والطبقة الحاجزة barrier layer لل d5.LU oxygen الرقيقة الحامية على zinc ¢ ولكنهما بكميات متكافئة مختلفة. ١ <- الطريقة وفقا لعنصر الحماية رقم Cum) تكون طبقة الإطلاق release layer المشتملة " على zinc في الطبقة الرقيقة الحامية SY) فلزية layer comprising zinc is more metallic pe YF الطبقة الحاجزةٍ barrier layer لل oxygen المشتملة على zine oxide قبل المعالجة ¢ بالحرارة .heat treating ١ = الطريقة وفقا لعنصر الحماية رقم Cum) يتم تدريج الطبقة الرقيقة الحامية protective film Y المشتملة على zine oxide بالأكسدة oxidation بطريقة مستمرة أو غير مستمرة قبل ¥ المعالجة بالحرارة بحيث أنه قبل المعالجة بالحرارة تتم أكسدة الطبقة oxided layer بصورةٍ أكبر ؛ في موقع على مسافة من الطبقة المشتملة على DLC أبعد من موقع أقرب إلى الطبقة المشتملة DLC ke ©YAA١ #- الطريقة وفقا لعنصر الحماية رقم ٠؛ حيث يتم تكوين الطبقة المشتملة على DLC بواسطة 7 أشعة (حزم) أيونات .ion beam(s) ١ +- الطريقة وفقا لعنصر الحماية رقم ١١ حيث يتم تكوين الطبقة الرقيقة الحامية جزئيا protective film partially formed |" على الأقل بواسطة الرش sputtering . ١ 4- الطريقة وفقا لعنصر الحماية رقم ٠ حيث تشتمل أيضا على تكوين طبقة حاجزة barrier layer 7 تشتمل على silicon oxide و/أى silicon nitride فوق الركيزة الزجاجية on the glass substrate YY لوضعها بين الركيزة الزجاجية والطبقة المشتملة على DLC على الأقل. -٠١ ١ الطريقة وفقا لعنصر الحماية رقم ١٠ حيث تشتمل المعالجة بالحرارة على تسخين الركيزة " الزجاجية heating the glass substrate وعليها الطبقة المشتملة على DLC والطبقة الرقيقة Y الحامية باستخدام درجة (درجات) حرارة تبلغ 000 درجة مئوية على الأقل. -١١ ١ الطريقة وفقا لعنصر الحماية رقم of حيث تشتمل الطبقة المشتملة على DLC على DLC ¥ غير مائي Leas amorphous روابط sp3 كربون-كربون أكثر من روابط carbon- sp2 carbon ١ . -١٠١ ١ الطريقة وفقا لعنصر الحماية رقم ١ حيث يكون للطبقة المشتملة على DLC متوسط ¥ صلابة average hardness يبلغ ٠ جيجا باسكال على الأقل.A A ٠ أYF) الطريقة وفقا لعنصر الحماية رقم ٠ حيث يكون للطبقة المشتملة على DLC متوسط Y صلابة average hardness يبلغ ٠١ جيجا باسكال على الأقل. -١ ١ الطريقة lsd لعنصر الحماية رقم Cus oh يكون للطبقة المشتملة على DLC كثافة قدرها ¥ حوالي Y,V جم/سم؛ وحيث تتم هدرجة الطبقة layer hydrogenated المشتملة على DLC v coated article الطريقة وفقا لعنصر الحماية رقم ١؛ حيث يكون المنتج المغلف شفافا V0 ١ transparent " إلى حد 508 ¢ ويتم استخدامه كباب دش shower door . -١٠“ ١ الطريقة وفقا لعنصر الحماية رقم ١ حيث أنه بعد الإزالة المذكورة يتم تعريض جزء على " الأقل من الطبقة المشتملة على DLC لتكون طبقة خارجية للمنتج المغلف outermost layer of.the coated article ٠ -١١7 ١ طريقة لصنع منتج مغلف معالج بالحرارة heat treated coated article ؛ حيث تشتمل الطريقة على: ¥ توفير ركيزة زجاجية glass substrate ¢ ؛ تكوين طبقة واحدة على الأقل تشتمل على كربون فوق الركيزة الزجاجية on the glass ¢ substrate ° 1 تكوين طبقة رقيقة حامية protective film تشتمل على metal oxide واحد على الأقل على الركيزة الزجاجية glass substrate فوق الطبقة المشتملة على DLC على الأقل ؛ ion beam treating the protective film معالجة بالأشعة الأيونية للطبقة الرقيقة الحامية A Y A A ٠yy - | - 4 باستخدام carbon ions على الأقل؛ ٠ معالجة بالحرارة heat treating للركيزة الزجاجية ذات الطبقة glass substrate with the layer ١١ المشتملة على كربون وفوقها الطبقة الرقيقة الحامية protective film thereon بحيث أنه أثناء ٠" المعالجة بالحرارة تمنع الطبقة الرقيقة الحامية احتراق الطبقة المشتملة على الكربون بصورة VY كبيرة؛ Cus أن المعالجة بالحرارة تشتمل على تسخين الركيزة الزجاجية heating the glass substrate ١4 إلى درجة (درجات) حرارة تكفي للتفسية الحرارية thermal tempering التقوية ١٠١ الحرارية heat strengthening و/أو التقويس الحراري heat bending « IY حيث تشتمل الطبقة الرقيقة الحامية على zinc oxide ؛ و ١١ تشتمل الطبقة الرقيقة الحامية على طبقة إطلاق release layer وطبقة حاجزة barrier layer لل Cus ¢ oxygen ٠8 تشتمل JS من طبقة الإطلاق release layer والطبقة الحاجزة barrier layer V4 لل oxygen للطبقة الرقيقة الحامية على zine ولكنهما بكميات متكافئة مختلفة. -١٠8“ ١ الطريقة وفقا لعنصر الحماية رقم OY حيث تشتمل أيضا على تعريض الطبقة الرقيقة " الحامية protective film لسائل إطلاق adil release liquid جزءِ على الأقل من الطبقة ov الرقيقة الحامية أثناء و/أو بعد عملية المعالجة بالحرارة heat treating 5810 المذكورة. -١5 ١ الطريقة وفقا لعنصر الحماية رقم VV حيث تشتمل الطبقة الرقيقة الحامية على oxide 7 عماء. ١ ١؟- الطريقة وفقا لعنصر الحماية رقم VY حيث تشتمل المعالجة بالأشعة الأيونية ion beam treating على طبقة تشتمل على metal(s) oxycarbide في جزء سطحي surface portion على Y الأقل من الطبقة الحامية .protective film بي: vs —-7١ ١ منتج مغلف A coated article يشتمل على:¢ glass substrate ركيزة زجاجية ¥طبقة تشتمل على كربون شبيه بالماس diamond-like carbon (DLC) فوق الركيزة الزجاجية on the glass substrate ¢ ؛© طبقة رقيقة حامية protective film تشتمل على zinc oxide 358( الركيزة الزجاجية on the glass substrate 1 34 الطبقة المشتملة على DLC على الأقل ؛١ طبقة أو eda من طبقة layer or layer portion مشتمل على zinc oxycarbide يتم وضعه A على cia سطحي portion 5071568 _من الطبقة الرقيقة الحامية التي تشتمل على zinc oxide 4 ١ء بحيث يتم تدريج الطبقة الرقيقة الحامية protective film المشتملة على zine oxide » على ٠ نحو مستمر أو متقطع؛ بالنسبة لمحتوى الكربون للحصول على مزيد من الكربون في موقع ١١ بالطبقة الرقيقة الحامية على مسافة من الركيزة الزجاجية glass substrate أبعد من موقع بالطبقة VY الرقيقة الحامية أقرب إلى الركيزة الزجاجية .glass substratenot heat حيث لا تتم معالجته بالحرارة (YY "؟- المنتج المغلف وفقا لعنصر الحماية رقم ١ . treated Y١ 79- المنتج المغلف وفقا لعنصر الحماية رقم ١7؛ حيث يشتمل أيضا على طبقة حاجزة barrier layer ١ يتم توفيرها بين الركيزة الزجاجية glass substrate والطبقة المشتملة على DLC YA method of making a heat treated طريقة لصنع منتج مغلف معالج بالحرارة -74 ١ ؛ حيث تشتمل الطريقة على: coated article Yمغغادوس -¢ glass substrate توفير ركيزة زجاجية V؛ تكوين طبقة واحدة على الأقل تشتمل على كربون شبيه بالماس diamond-like carbon (DLC) © 358 الركيزة الزجاجية on the glass substrate ¢1 تكوين طبقة رقيقة حامية protective film تشتمل على zine oxide على الركيزة الزجاجية V فوق الطبقة المشتملة على DLC على الأقل ؛ حيث يتم تكوين الطبقة الرقيقة الحامية المذكورة ll A تشتمل على zine oxide باستخدام هدف رش واحد على الأقل يشتمل على zine الذي يتم 8 رشه في جو يشتمل على غاز كربون carbon gas على الأقل؛glass substrate with the layer للركيزة الزجاجية ذات الطبقة heat treating معالجة بالحرارة ٠ والطبقة الرقيقة الحامية الموجودة فوقها بحيث أنه أثناء المعالجة بالحرارة DLC المشتملة على ١١ بصورة كبيرة؛ حيث أن المعالجة DLC تمنع الطبقة الرقيقة الحامية احتراق الطبقة المشتملة على VY إلى درجة (درجات) heating the glass substrate الركيزة الزجاجية (pas بالحرارة تشتمل على ٠ و/أو heat strengthening التقوية الحرارية cthermal tempering حرارة تكفي للتقسية الحرارية ٠١4 ؛ و heat bending التقويس الحراري ١٠ وإزالة جزء على الأقل من الطبقة release liquid تعريض الطبقة الرقيقة الحامية لسائل إطلاق ٠ الرقيقة الحامية أثتاء و/أو بعد المعالجة بالحرارة المذكورة؛ ١٠ يكون دون zine oxide جزء واحد على الأقل من الطبقة الرقيقة الحامية المشتملة على ol تتميز VA . ٠.7 إلى ٠.١ التكافؤ الكيميائي ويشتمل على ,200 ؛ حيث « تتراوح من حوالي 14Yo ١ الطريقة وفقا لعنصر الحماية رقم (YE حيث يشتمل الجو الذي يتم فيه رش الهدف على Y غاز الكربون argon s « oxygen « carbon gas .بي
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US11/984,542 US7964238B2 (en) | 2007-01-29 | 2007-11-19 | Method of making coated article including ion beam treatment of metal oxide protective film |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SA08290732B1 true SA08290732B1 (ar) | 2012-02-22 |
Family
ID=40089913
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SA08290732A SA08290732B1 (ar) | 2007-11-19 | 2008-11-17 | طريقة لتحضير منتج مغلف تشتمل على معالجة طبقة رقيقة محمية من أكسيد فلز باستخدام أشعة أيونية |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7964238B2 (ar) |
| EP (1) | EP2220007A1 (ar) |
| BR (1) | BRPI0819294A2 (ar) |
| MX (1) | MX2010005478A (ar) |
| RU (1) | RU2471732C2 (ar) |
| SA (1) | SA08290732B1 (ar) |
| WO (1) | WO2009067133A1 (ar) |
Families Citing this family (31)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7645487B2 (en) * | 2006-07-20 | 2010-01-12 | Guardian Industries Corp. | Heat treatable coated article with zinc-doped zirconium based layer(s) in coating |
| US20120040160A1 (en) | 2007-01-29 | 2012-02-16 | Guardian Industries Corp. | Method of making heat treated and ion-beam etched/milled coated article using diamond-like carbon (dlc) protective film |
| US20120015196A1 (en) | 2007-01-29 | 2012-01-19 | Guardian Industries Corp. | Method of making heat treated coated article using diamond-like carbon (dlc) coating and protective film on acid-etched surface |
| US8132426B2 (en) * | 2007-01-29 | 2012-03-13 | Guardian Industries Corp. | Method of making heat treated coated article using diamond-like carbon (DLC) coating and protective film |
| US8071166B2 (en) | 2007-01-29 | 2011-12-06 | Guardian Industries Corp. | Method of making heat treated coated article using diamond-like carbon (DLC) coating and protective film |
| US20120015195A1 (en) | 2007-01-29 | 2012-01-19 | Guardian Industries Corp. and C.R.V.C. | Method of making heat treated and ion-beam etched/milled coated article using diamond-like carbon (dlc) coating and protective film |
| US7833574B2 (en) * | 2007-01-29 | 2010-11-16 | Guardian Industries Corp. | Method of making heat treated coated article using diamond-like carbon (DLC) coating and protective film |
| WO2010058697A1 (ja) * | 2008-11-19 | 2010-05-27 | 株式会社村田製作所 | ガラスセラミック組成物およびガラスセラミック基板 |
| US10164135B2 (en) * | 2009-08-07 | 2018-12-25 | Guardian Glass, LLC | Electronic device including graphene-based layer(s), and/or method or making the same |
| US8236118B2 (en) * | 2009-08-07 | 2012-08-07 | Guardian Industries Corp. | Debonding and transfer techniques for hetero-epitaxially grown graphene, and products including the same |
| US8507797B2 (en) | 2009-08-07 | 2013-08-13 | Guardian Industries Corp. | Large area deposition and doping of graphene, and products including the same |
| US10167572B2 (en) | 2009-08-07 | 2019-01-01 | Guardian Glass, LLC | Large area deposition of graphene via hetero-epitaxial growth, and products including the same |
| US20110186120A1 (en) | 2009-11-05 | 2011-08-04 | Guardian Industries Corp. | Textured coating with various feature sizes made by using multiple-agent etchant for thin-film solar cells and/or methods of making the same |
| US20110168252A1 (en) * | 2009-11-05 | 2011-07-14 | Guardian Industries Corp. | Textured coating with etching-blocking layer for thin-film solar cells and/or methods of making the same |
| US8502066B2 (en) | 2009-11-05 | 2013-08-06 | Guardian Industries Corp. | High haze transparent contact including insertion layer for solar cells, and/or method of making the same |
| US20110100446A1 (en) | 2009-11-05 | 2011-05-05 | Guardian Industries Corp. | High haze transparent contact including ion-beam treated layer for solar cells, and/or method of making the same |
| US8808810B2 (en) * | 2009-12-15 | 2014-08-19 | Guardian Industries Corp. | Large area deposition of graphene on substrates, and products including the same |
| US8460747B2 (en) * | 2010-03-04 | 2013-06-11 | Guardian Industries Corp. | Large-area transparent conductive coatings including alloyed carbon nanotubes and nanowire composites, and methods of making the same |
| US8518472B2 (en) * | 2010-03-04 | 2013-08-27 | Guardian Industries Corp. | Large-area transparent conductive coatings including doped carbon nanotubes and nanowire composites, and methods of making the same |
| US8604332B2 (en) | 2010-03-04 | 2013-12-10 | Guardian Industries Corp. | Electronic devices including transparent conductive coatings including carbon nanotubes and nanowire composites, and methods of making the same |
| US20120167971A1 (en) | 2010-12-30 | 2012-07-05 | Alexey Krasnov | Textured coating for thin-film solar cells and/or methods of making the same |
| US9255029B2 (en) | 2012-04-17 | 2016-02-09 | Guardian Industries Corp. | Method of making heat treated coated article using TCO and removable protective film |
| US9038419B2 (en) | 2012-06-08 | 2015-05-26 | Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. (C.R.V.C.) | Method of making heat treated coated article using carbon based coating and protective film |
| US9434640B2 (en) * | 2012-12-04 | 2016-09-06 | Guardian Industries Corp. | Method of making heat treated coated article with carbon based coating and protective film |
| US10431354B2 (en) | 2013-03-15 | 2019-10-01 | Guardian Glass, LLC | Methods for direct production of graphene on dielectric substrates, and associated articles/devices |
| US9593019B2 (en) | 2013-03-15 | 2017-03-14 | Guardian Industries Corp. | Methods for low-temperature graphene precipitation onto glass, and associated articles/devices |
| CN105908125A (zh) * | 2015-02-23 | 2016-08-31 | Toto株式会社 | 用水场所用构件 |
| US10145005B2 (en) | 2015-08-19 | 2018-12-04 | Guardian Glass, LLC | Techniques for low temperature direct graphene growth on glass |
| US11401610B2 (en) | 2017-07-26 | 2022-08-02 | Saint-Gobain Glass France | Temperable coatings comprising diamond-like carbon |
| US20190127272A1 (en) | 2017-10-26 | 2019-05-02 | Guardian Glass, LLC | Coated article including noble metal and polymeric hydrogenated diamond like carbon composite material having antibacterial and photocatalytic properties, and/or methods of making the same |
| US10611679B2 (en) | 2017-10-26 | 2020-04-07 | Guardian Glass, LLC | Coated article including noble metal and polymeric hydrogenated diamond like carbon composite material having antibacterial and photocatalytic properties, and/or methods of making the same |
Family Cites Families (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5073450A (en) | 1990-12-17 | 1991-12-17 | Ford Motor Company | Laminated glazing unit |
| FR2736632B1 (fr) * | 1995-07-12 | 1997-10-24 | Saint Gobain Vitrage | Vitrage muni d'une couche conductrice et/ou bas-emissive |
| ID29150A (id) * | 1999-01-15 | 2001-08-02 | Entpr Ireland Cs | Penggunaan lactobacillus salivarius |
| US6261693B1 (en) * | 1999-05-03 | 2001-07-17 | Guardian Industries Corporation | Highly tetrahedral amorphous carbon coating on glass |
| US6312808B1 (en) | 1999-05-03 | 2001-11-06 | Guardian Industries Corporation | Hydrophobic coating with DLC & FAS on substrate |
| US6338901B1 (en) * | 1999-05-03 | 2002-01-15 | Guardian Industries Corporation | Hydrophobic coating including DLC on substrate |
| US7662161B2 (en) * | 1999-09-13 | 2010-02-16 | Rex Medical, L.P | Vascular hole closure device |
| DE10026299A1 (de) * | 2000-05-26 | 2001-11-29 | Sunyx Surface Nanotechnologies | Substrat mit gering lichtstreuender, ultraphober Oberfläche und Verfahren zu seiner Herstellung |
| US6902813B2 (en) | 2001-09-11 | 2005-06-07 | Cardinal Cg Company | Hydrophilic surfaces carrying temporary protective covers |
| US6827977B2 (en) * | 2002-03-07 | 2004-12-07 | Guardian Industries Corp. | Method of making window unit including diamond-like carbon (DLC) coating |
| US7052585B2 (en) | 2003-03-11 | 2006-05-30 | Guardian Industries Corp. | Coated article including titanium oxycarbide and method of making same |
| US7267880B2 (en) | 2003-06-17 | 2007-09-11 | Cardinal Cg Company | Presence indicator for removable transparent film |
| US7150849B2 (en) | 2003-11-04 | 2006-12-19 | Guardian Industries Corp. | Heat treatable coated article with diamond-like carbon (DLC) and/or zirconium in coating |
| US7060322B2 (en) | 2003-09-02 | 2006-06-13 | Guardian Industries Corp. | Method of making heat treatable coated article with diamond-like carbon (DLC) coating |
| US7229900B2 (en) * | 2003-10-28 | 2007-06-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, method of manufacturing thereof, and method of manufacturing base material |
| US7507442B2 (en) | 2003-11-04 | 2009-03-24 | Guardian Industries Corp. | Heat treatable coated article with diamond-like carbon (DLC) and/or zirconium in coating |
| US8524051B2 (en) | 2004-05-18 | 2013-09-03 | Centre Luxembourg de Recherches pour le Verre et al Ceramique S. A. (C.R.V.C.) | Coated article with oxidation graded layer proximate IR reflecting layer(s) and corresponding method |
| US7229533B2 (en) | 2004-06-25 | 2007-06-12 | Guardian Industries Corp. | Method of making coated article having low-E coating with ion beam treated and/or formed IR reflecting layer |
| US7550067B2 (en) | 2004-06-25 | 2009-06-23 | Guardian Industries Corp. | Coated article with ion treated underlayer and corresponding method |
| US20070231553A1 (en) | 2006-03-28 | 2007-10-04 | Cardinal Cg Company | Removable protective cover |
| US7645487B2 (en) * | 2006-07-20 | 2010-01-12 | Guardian Industries Corp. | Heat treatable coated article with zinc-doped zirconium based layer(s) in coating |
| US7833574B2 (en) | 2007-01-29 | 2010-11-16 | Guardian Industries Corp. | Method of making heat treated coated article using diamond-like carbon (DLC) coating and protective film |
| US8003167B2 (en) * | 2007-01-29 | 2011-08-23 | Guardian Industries Corp. | Method of making heat treated coated article using diamond-like carbon (DLC) coating and protective film |
| US8187671B2 (en) * | 2008-07-28 | 2012-05-29 | Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. (C.R.V.C.) | Method of making heat treated coated article using diamond-like carbon (DLC) coating and protective film including removal of protective film via blasting |
-
2007
- 2007-11-19 US US11/984,542 patent/US7964238B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-09-11 MX MX2010005478A patent/MX2010005478A/es active IP Right Grant
- 2008-09-11 BR BRPI0819294 patent/BRPI0819294A2/pt not_active IP Right Cessation
- 2008-09-11 WO PCT/US2008/010585 patent/WO2009067133A1/en active Application Filing
- 2008-09-11 RU RU2010125209/03A patent/RU2471732C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2008-09-11 EP EP08852433A patent/EP2220007A1/en not_active Withdrawn
- 2008-11-17 SA SA08290732A patent/SA08290732B1/ar unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| BRPI0819294A2 (pt) | 2015-05-05 |
| RU2471732C2 (ru) | 2013-01-10 |
| MX2010005478A (es) | 2010-06-11 |
| EP2220007A1 (en) | 2010-08-25 |
| US20080199702A1 (en) | 2008-08-21 |
| RU2010125209A (ru) | 2011-12-27 |
| WO2009067133A1 (en) | 2009-05-28 |
| US7964238B2 (en) | 2011-06-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SA08290732B1 (ar) | طريقة لتحضير منتج مغلف تشتمل على معالجة طبقة رقيقة محمية من أكسيد فلز باستخدام أشعة أيونية | |
| CA2518955C (en) | Coated article including titanium oxycarbide and method of making same | |
| US7820017B2 (en) | Dielectric-layer-coated substrate and installation for production thereof | |
| US5683757A (en) | Surface modification of polymers and carbon-based materials by ion implantation and oxidative conversion | |
| JP5964883B2 (ja) | 薄膜層堆積方法及び得られる製品 | |
| US8221832B2 (en) | Method of making heat treated coated article having carbon layer and utilizing removable zinc oxide inclusive protective film | |
| JP2578416B2 (ja) | 任意に１つ以上の薄膜金属層で被覆されたガラス基板に堆積される複合有機鉱物化合物フイルム | |
| US8981360B2 (en) | Method for manufacturing an OLED device | |
| WO2004077519A3 (en) | Dielectric barrier layer films | |
| CA2684411A1 (en) | Method of making heat treated coated article using diamond-like carbon (dlc) coating and protective film | |
| WO2013001023A1 (en) | Temperable and non-temperable transparent nanocomposite layers | |
| US5008148A (en) | Process for the production of plastic moulded articles with improved weathering resistance | |
| EP1380553A1 (en) | Glazing panel | |
| RU2669408C2 (ru) | Способ изготовления термически обработанного покрытого изделия с использованием покрытия на основе углерода и защитной пленки | |
| KR100668091B1 (ko) | 유리 코팅 및 그 생성 방법 | |
| RU2745421C2 (ru) | Покрытое изделие с нанесенным титановым покрытием и способ его изготовления | |
| US20140220360A1 (en) | Heat treatable coated article with copper-doped zirconium based layer(s) in coating | |
| JP5286143B2 (ja) | 硬質化樹脂基板、窓ガラス代替物 | |
| US10611678B2 (en) | Heat treatable coated article with carbon-doped zirconium based layer(s) in coating | |
| JP2011127199A (ja) | 透明体およびその製造方法 | |
| EP3004009B1 (en) | Heat treatable coated article with copper-doped zirconium based layer(s) in coating | |
| JPH01308848A (ja) | 高密着性熱線反射ガラス | |
| TW200512872A (en) | Dielectric barrier layer films |