RU99112481A - Пьезоэлектрический исполнительный элемент с контактированием нового типа и способ изготовления - Google Patents
Пьезоэлектрический исполнительный элемент с контактированием нового типа и способ изготовленияInfo
- Publication number
- RU99112481A RU99112481A RU99112481/28A RU99112481A RU99112481A RU 99112481 A RU99112481 A RU 99112481A RU 99112481/28 A RU99112481/28 A RU 99112481/28A RU 99112481 A RU99112481 A RU 99112481A RU 99112481 A RU99112481 A RU 99112481A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- piezoelectric actuator
- electrically conductive
- metallization strips
- conductive layer
- contact
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 claims 11
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 claims 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 claims 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 1
Claims (11)
1. Пьезоэлектрический исполнительный элемент многослойной конструкции со следующими признаками: пьезоэлектрические керамические слои (2) и электродные слои (3) расположены с чередованием друг над другом стопкой (1), электродные слои (3) соединены с чередующейся полярностью попеременно с, по меньшей мере, двумя расположенными сбоку на стопке полосками металлизации (4, 5), контактные лепестки (13), которые содержат электрически проводящий слой (10), соединены через этот электрически проводящий слой с полосками металлизации (4, 5), по меньшей мере, по всей высоте контактированных электродных слоев (3) так, что сбоку полосок металлизации остается выступающая область (b) контактных лепестков.
2. Пьезоэлектрический исполнительный элемент по п.1, который выполнен монолитным.
3. Пьезоэлектрический исполнительный элемент по п.1 или 2, в котором контактный лепесток (13) является композитным материалом из электрически проводящего слоя (10) и пластмассовой пленки (11).
4. Пьезоэлектрический исполнительный элемент по п.3, в котором контактный лепесток (13) является пластмассовой пленкой (11), снабженной металлическим слоем.
5. Пьезоэлектрический исполнительный элемент по любому из пп.1-4, в котором выступающая область (b) контактных лепестков (13) имеет ширину, по меньшей мере, от 5 до 10 мм.
6. Пьезоэлектрический исполнительный элемент по любому из пп.1-5, в котором контактный лепесток (13) содержит кашированный с обеих сторон пластмассой (11, 12) электрически проводящий слой (10), который в области полосок металлизации каширован пластмассой (12) только с одной стороны или вообще не каширован.
7. Пьезоэлектрический исполнительный элемент по любому из пп.1-6, в котором контактный лепесток (13) является пластмассовой пленкой (11), снабженной слоем меди.
8. Пьезоэлектрический исполнительный элемент по любому из пп.1-7, в котором полоски металлизации (4, 5) содержат вжигаемую металлизацию.
9. Способ для контактирования пьезоэлектрического исполнительного элемента многослойной конструкции, при котором пьезоэлектрические керамические слои (2) и электродные слои (3) располагают с чередованием друг над другом и объединяют в монолитную стопку (1), при котором, по меньшей мере, две полоски металлизации (4, 5) располагают сбоку на стопке (1) для электрического контактирования электродных слоев (3) с переменной полярностью, при котором полоски металлизации (4, 5) по всей высоте контактированных электродных слоев (3) соединяют соответственно с содержащим электрически проводящий слой (10) контактным лепестком (13) через электрически проводящий слой так, что сбоку полосок металлизации остается выступающая область (b).
10. Способ по п.9, при котором электрически проводящий слой (10) содержит в подлежащей соединению области слой припоя (9) и контактный лепесток (13) тогда с помощью этого слоя припоя и способа пайки напаивают на полоски металлизации (4, 5).
11. Способ по п.9 или 10, при котором соединение полосок металлизации (4, 5) с контактными лепестками (13) производят посредством лазерной пайки.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19646676A DE19646676C1 (de) | 1996-11-12 | 1996-11-12 | Piezoaktor mit neuartiger Kontaktierung und Herstellverfahren |
DE19646676.8 | 1996-11-12 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU99112481A true RU99112481A (ru) | 2001-07-10 |
RU2178222C2 RU2178222C2 (ru) | 2002-01-10 |
Family
ID=7811401
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU99112481/28A RU2178222C2 (ru) | 1996-11-12 | 1997-11-06 | Пьезоэлектрический исполнительный элемент с контактированием нового типа и способ изготовления |
Country Status (15)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6236146B1 (ru) |
EP (1) | EP0958620B1 (ru) |
JP (1) | JP2001507169A (ru) |
KR (1) | KR20000052836A (ru) |
CN (1) | CN1150638C (ru) |
AR (1) | AR008525A1 (ru) |
AT (1) | ATE239981T1 (ru) |
BR (1) | BR9713500A (ru) |
CA (1) | CA2271281A1 (ru) |
CZ (1) | CZ152099A3 (ru) |
DE (2) | DE19646676C1 (ru) |
RU (1) | RU2178222C2 (ru) |
TW (1) | TW357464B (ru) |
WO (1) | WO1998020721A1 (ru) |
ZA (1) | ZA9710101B (ru) |
Families Citing this family (45)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19930585B4 (de) * | 1998-08-06 | 2017-11-09 | Epcos Ag | Piezoaktor mit verbesserter elektrischer Kontaktierung und Verwendung eines derartigen Piezoaktors |
DE19905340C2 (de) * | 1999-02-09 | 2001-09-13 | Siemens Ag | Verfahren und Anordnung zur Voreinstellung und dynamischen Nachführung piezoelektrischer Aktoren |
DE19928189A1 (de) * | 1999-06-19 | 2001-04-19 | Bosch Gmbh Robert | Piezoaktor |
DE19928190A1 (de) | 1999-06-19 | 2001-01-11 | Bosch Gmbh Robert | Piezoaktor |
ATE356441T1 (de) * | 1999-06-29 | 2007-03-15 | Siemens Ag | Piezoaktor mit einer elektrisch leitenden mehrschichtfolie |
DE19945933C1 (de) * | 1999-09-24 | 2001-05-17 | Epcos Ag | Piezoaktor mit isolationszonenfreier elektrischer Kontaktierung und Verfahren zu dessen Herstellung |
DE19945934C1 (de) * | 1999-09-24 | 2001-03-22 | Epcos Ag | Verfahren zur Herstellung einer Außenkontaktierung eines elektrokeramischen Bauelementes, insbesondere eines Piezoaktors |
US20020098333A1 (en) * | 1999-12-16 | 2002-07-25 | Adalbert Feltz | Piezoceramic device |
DE10017334C2 (de) * | 2000-04-07 | 2002-04-18 | Daimler Chrysler Ag | Piezoelektrische Betätigungseinrichtung |
DE10017331C1 (de) * | 2000-04-07 | 2001-06-07 | Daimler Chrysler Ag | Piezoelektrischer Vielschichtaktuator und Verfahren zu seiner Herstellung |
DE10017332C2 (de) * | 2000-04-07 | 2002-04-18 | Daimler Chrysler Ag | Piezoelektrische Betätigungseinrichtung zur Klappensteuerung am Rotorblatt eines Hubschraubers |
JP4158338B2 (ja) * | 2000-06-06 | 2008-10-01 | 株式会社デンソー | インジェクタ用圧電体素子 |
GB0022612D0 (en) * | 2000-09-15 | 2000-11-01 | Univ Warwick | Non-destructive testing apparatus |
DE10055241A1 (de) | 2000-11-08 | 2002-05-29 | Epcos Ag | Piezoaktor |
DE10113744A1 (de) * | 2000-11-27 | 2002-06-20 | Hans Richter | Elektrische Anschlußanordnung für einen monolithischen Vielschicht-Piezoaktor |
DE10112588C1 (de) * | 2001-03-15 | 2002-05-02 | Siemens Ag | Piezoaktor sowie Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktors |
DE10121270A1 (de) | 2001-04-30 | 2003-02-06 | Epcos Ag | Passivierungsmaterial für ein elektrisches Bauteil sowie piezoelektrisches Bauteil in Vielschichtbauweise |
DE10121271A1 (de) * | 2001-04-30 | 2002-11-21 | Epcos Ag | Grünkörper, piezoelektrisches Bauteil sowie Verfahren zum Herstellen eines piezoelektrischen Bauteils |
JP4608185B2 (ja) | 2001-04-30 | 2011-01-05 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 圧電式部品 |
DE10126656A1 (de) | 2001-06-01 | 2002-12-05 | Endress & Hauser Gmbh & Co Kg | Elektromechanischer Wandler mit mindestens einem piezoelektrischen Element |
DE10207292B4 (de) * | 2002-02-21 | 2005-08-11 | Siemens Ag | Piezostack und Verfahren zur Herstellung eines Piezostacks |
DE10251230B4 (de) * | 2002-11-04 | 2005-04-21 | Epcos Ag | Schwingungsfeste elektrochemische Zelle sowie Verfahren zu ihrer Herstellung |
DE10328373B4 (de) * | 2003-06-24 | 2015-10-08 | Continental Automotive Gmbh | Piezoelektrisches Bauteil mit Temperiervorrichtung und Verwendung des Bauteils |
DE20313727U1 (de) * | 2003-09-04 | 2005-01-13 | Thinxxs Gmbh | Piezoaktor |
CN101694865B (zh) * | 2004-03-09 | 2013-03-20 | 京瓷株式会社 | 叠层型压电元件及其制造方法 |
DE102004031402A1 (de) * | 2004-06-29 | 2006-02-09 | Siemens Ag | Piezoelektrisches Bauteil mit Sollbruchstelle, Verfahren zum Herstellen des Bauteils und Verwendung des Bauteils |
DE102004058715B4 (de) * | 2004-12-06 | 2010-08-12 | Continental Automotive Gmbh | Kraftstoffinjektor für eine Brennkraftmaschine sowie Verfahren zur Herstellung eines Kraftstoffinjektors |
DE102005015405B3 (de) * | 2005-02-08 | 2006-07-20 | Pi Ceramic Gmbh Keramische Technologien Und Bauelemente | Anordnung zur elektrischen Kontaktierung von piezoelektrischen Vielschicht-Stapelaktoren |
DE102005039358B4 (de) * | 2005-08-19 | 2016-12-08 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Piezoelektrischer Aktor für einen Ultraschallmotor |
DE102006014606B4 (de) * | 2006-03-29 | 2011-04-07 | Siemens Ag | Verfahren zur Herstellung eines gekapselten Hochdruckaktors |
EP2003707B1 (en) * | 2006-03-31 | 2012-03-14 | Murata Manufacturing Co. Ltd. | Piezoelectric actuator |
JP2008055456A (ja) * | 2006-08-30 | 2008-03-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半田付け方法および半田付け用レーザ装置 |
US7843633B2 (en) * | 2007-01-15 | 2010-11-30 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Laser processing apparatus |
DE102007011652B4 (de) | 2007-02-23 | 2008-12-11 | Pi Ceramic Gmbh Keramische Technologien Und Bauelemente | Anordnung zur elektrischen Kontaktierung von piezoelektrischen Vielschichtaktoren |
DE102007046077A1 (de) * | 2007-09-26 | 2009-04-02 | Epcos Ag | Piezoelektrisches Vielschichtbauelement |
JP5176853B2 (ja) * | 2007-10-09 | 2013-04-03 | 住友電気工業株式会社 | 光学モジュール及びそれを含む光源装置 |
JP2009195976A (ja) * | 2008-02-25 | 2009-09-03 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 戻り光測定方法、戻り光測定装置及びレーザ加工方法 |
WO2010057939A1 (de) | 2008-11-20 | 2010-05-27 | Ceramtec Ag | Vielschichtaktor mit aussenelektroden als metallische, poröse, dehnbare leitschicht |
DE102010051864B4 (de) * | 2009-12-22 | 2020-08-27 | Sew-Eurodrive Gmbh & Co Kg | Antrieb und Verfahren zum Betreiben eines Antriebs |
DE102012207276B4 (de) | 2011-08-01 | 2018-04-05 | Continental Automotive Gmbh | Vollaktiver Piezostack mit Passivierung |
KR101288257B1 (ko) * | 2011-09-30 | 2013-07-26 | 삼성전기주식회사 | 미세토출장치의 구동부 제작방법 |
DE102011090156A1 (de) | 2011-12-30 | 2013-07-04 | Continental Automotive Gmbh | Piezostack mit Passivierung und Verfahren zur Passivierung eines Piezostacks |
RU2540440C1 (ru) * | 2013-08-01 | 2015-02-10 | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт "Элпа" с опытным производством" | Способ изготовления монолитных многослойных пьезокерамических элементов-столбиков |
DE102015219427B4 (de) * | 2015-10-07 | 2024-04-11 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelement und Ultraschallwandler mit einem Piezoelement |
US10658565B2 (en) * | 2016-08-29 | 2020-05-19 | The Boeing Company | Actuator assemblies, mechanical assemblies including the actuator assemblies, and methods of fabricating the same |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4803763A (en) * | 1986-08-28 | 1989-02-14 | Nippon Soken, Inc. | Method of making a laminated piezoelectric transducer |
MY105668A (en) | 1989-04-07 | 1994-11-30 | Mitsui Petrochemical Ind | Laminated ceramic device and method of manufacturing the same. |
JPH034576A (ja) * | 1989-06-01 | 1991-01-10 | Fuji Electric Co Ltd | 積層型圧電素子 |
JPH03154387A (ja) * | 1989-11-13 | 1991-07-02 | Fujitsu Ltd | 圧電アクチュエータ素子の電極構造 |
DE4201937C2 (de) * | 1991-01-25 | 1997-05-22 | Murata Manufacturing Co | Piezoelektrisches laminiertes Stellglied |
-
1996
- 1996-11-12 DE DE19646676A patent/DE19646676C1/de not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-11-06 DE DE59710061T patent/DE59710061D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-06 CA CA002271281A patent/CA2271281A1/en not_active Abandoned
- 1997-11-06 CZ CZ991520A patent/CZ152099A3/cs unknown
- 1997-11-06 CN CNB971978654A patent/CN1150638C/zh not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-06 AT AT97948725T patent/ATE239981T1/de not_active IP Right Cessation
- 1997-11-06 EP EP97948725A patent/EP0958620B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-06 RU RU99112481/28A patent/RU2178222C2/ru not_active IP Right Cessation
- 1997-11-06 JP JP52202798A patent/JP2001507169A/ja active Pending
- 1997-11-06 KR KR1019990703667A patent/KR20000052836A/ko not_active Application Discontinuation
- 1997-11-06 WO PCT/DE1997/002587 patent/WO1998020721A1/de not_active Application Discontinuation
- 1997-11-06 US US09/254,764 patent/US6236146B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-06 BR BR9713500-3A patent/BR9713500A/pt unknown
- 1997-11-10 ZA ZA9710101A patent/ZA9710101B/xx unknown
- 1997-11-11 TW TW086116815A patent/TW357464B/zh active
- 1997-11-12 AR ARP970105262A patent/AR008525A1/es not_active Application Discontinuation
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU99112481A (ru) | Пьезоэлектрический исполнительный элемент с контактированием нового типа и способ изготовления | |
RU2178222C2 (ru) | Пьезоэлектрический исполнительный элемент с контактированием нового типа и способ изготовления | |
JP4112054B2 (ja) | モノリシックの積層型アクチュエータ | |
CN201741727U (zh) | 压电组件 | |
US6040755A (en) | Chip thermistors and methods of making same | |
US7385337B2 (en) | Multilayer piezoelectric element | |
TW432401B (en) | Method of producing thermistor chips | |
KR840005600A (ko) | 칩 커패시터 | |
US5872050A (en) | Semiconductor device and method of manufacturing thereof | |
JPS622449B2 (ru) | ||
KR960701454A (ko) | Ptc면형 히터 및 그 저항값 조정방법 | |
EP0823781A3 (en) | Piezoelectric resonator, manufacturing method thereof, and electronic component using the piezoelectric resonator | |
CA1165470A (en) | Method for manufacturing an ultra-sonic transducer arrangement | |
RU96102597A (ru) | Высоковольтный опрокидывающий диод | |
JPH06511110A (ja) | 電気容量可変型のモノリシック・コンデンサ | |
JPH034576A (ja) | 積層型圧電素子 | |
JP2000106322A (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
US4413886A (en) | Optical switch | |
JPH0236265Y2 (ru) | ||
JPH0342691Y2 (ru) | ||
JPH02303109A (ja) | ヒューズ機能付積層コンデンサ | |
JPS58196072A (ja) | 電歪効果素子 | |
JPH1065223A (ja) | サーモモジュール | |
JPH0132370Y2 (ru) | ||
JPH11340073A (ja) | 積層セラミックコンデンサ |