Claims (12)
1. Способ химической инфильтрации из паровой фазы материала внутрь пористой подложки с помощью газовой фазы, содержащей по меньшей мере один предшественник вышеупомянутого материала в газообразном состоянии, с изменением условий инфильтрации между началом и концом процесса химической инфильтрации из паровой фазы, отличающийся тем, что условия инфильтрации модифицируют, изменяя по меньшей мере один из параметров инфильтрации, в том числе время пребывания газовой фазы в оболочке, давление, температуру, содержание предшественника в газовой фазе и содержание возможной добавки в газовой фазе между первой величиной в начале процесса инфильтрации и второй величиной в конце таким образом, чтобы приспособить условия инфильтрации к изменению порометрии подложки, чтобы контролировать микроструктуру материала, осаждаемого внутрь подложки.1. The method of chemical infiltration from the vapor phase of the material inside the porous substrate using a gas phase containing at least one precursor of the above material in a gaseous state, with a change in the conditions of infiltration between the beginning and end of the process of chemical infiltration from the vapor phase, characterized in that the conditions of infiltration modify by changing at least one of the parameters of infiltration, including the residence time of the gas phase in the shell, pressure, temperature, the content of the precursor in the gas Second phase content and possible additives in a gaseous phase between a first value at the beginning of the infiltration process and a second value at the end so as to accommodate the infiltration conditions to changes porosimetry substrate to control the microstructure of the material deposited inside the substrate.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что химическую инфильтрацию из паровой фазы осуществляют изотермически. 2. The method according to p. 1, characterized in that the chemical infiltration from the vapor phase is carried out isothermally.
3. Способ по п. 2, отличающийся тем, что по меньшей мере один из параметров инфильтрации изменяют таким образом, чтобы сохранить неизменной микроструктуру материала, осаждаемого внутрь подложки. 3. The method according to p. 2, characterized in that at least one of the parameters of the infiltration is changed so as to maintain unchanged the microstructure of the material deposited inside the substrate.
4. Способ по п. 3, отличающийся тем, что по меньшей мере содержание предшественника изменяют от первой величины в начале процесса инфильтрации до второй величины, меньшей первой, в конце процесса инфильтрации. 4. The method according to p. 3, characterized in that at least the content of the precursor is changed from the first value at the beginning of the infiltration process to a second value less than the first at the end of the infiltration process.
5. Способ по любому из пп. 3-4, отличающийся тем, что по меньшей мере температуру изменяют от первой величины в начале процесса инфильтрации до второй величины, меньшей первой, в конце процесса инфильтрации. 5. The method according to any one of paragraphs. 3-4, characterized in that at least the temperature is changed from a first value at the beginning of the infiltration process to a second value less than the first at the end of the infiltration process.
6. Способ по любому из пп. 3-5, отличающийся тем, что по меньшей мере давление изменяют от первой величины в начале процесса инфильтрации до второй величины, меньшей первой, в ходе процесса инфильтрации и до третьей величины, большей второй, в конце процесса инфильтрации. 6. The method according to any one of paragraphs. 3-5, characterized in that at least the pressure is changed from the first value at the beginning of the infiltration process to a second value less than the first during the infiltration process and to a third value greater than the second at the end of the infiltration process.
7. Способ по п. 1, отличающийся тем, что химическую инфильтрацию из паровой фазы осуществляют с градиентом температуры внутри подложки. 7. The method according to p. 1, characterized in that the chemical vapor infiltration is carried out with a temperature gradient inside the substrate.
8. Способ по п. 7, отличающийся тем, что по меньшей мере один из параметров инфильтрации изменяют таким образом, чтобы контролировать изменение микроструктуры материала, осаждаемого внутрь подложки. 8. The method according to p. 7, characterized in that at least one of the parameters of the infiltration is changed so as to control the change in the microstructure of the material deposited inside the substrate.
9. Способ по любому из пп. 1-8, отличающийся тем, что изменение условий инфильтрации осуществляют непрерывным образом. 9. The method according to any one of paragraphs. 1-8, characterized in that the change in the conditions of infiltration is carried out in a continuous manner.
10. Способ по любому из пп. 1-8, отличающийся тем, что изменение условий инфильтрации осуществляют прерывистым образом. 10. The method according to any one of paragraphs. 1-8, characterized in that the change in the conditions of infiltration is carried out in an intermittent manner.
11. Способ по п. 10, в котором процесс химической инфильтрации из паровой фазы осуществляют в несколько последовательных стадий, отличающийся тем, что изменение или каждое изменение условий инфильтрации осуществляют в начале новой стадии. 11. The method according to p. 10, in which the process of chemical infiltration from the vapor phase is carried out in several successive stages, characterized in that the change or each change in the conditions of infiltration is carried out at the beginning of a new stage.
12. Способ по любому из пп. 1-11 для химической инфильтрации из паровой фазы пиролитического углерода с помощью газовой фазы, содержащей смесь метана и пропана, отличающийся тем, что объемное содержание пропана в газовой фазе изменяют от величины по меньшей мере равной 20% до величины, заключенной между 6 и 20%. 12. The method according to any one of paragraphs. 1-11 for chemical infiltration from the vapor phase of pyrolytic carbon using a gas phase containing a mixture of methane and propane, characterized in that the volumetric content of propane in the gas phase is changed from a value of at least equal to 20% to a value comprised between 6 and 20% .