RU97114519A - Способ восстановления инертного газа и устройство для герметизации инертного газа внутри плазменных панелей отображения - Google Patents
Способ восстановления инертного газа и устройство для герметизации инертного газа внутри плазменных панелей отображенияInfo
- Publication number
- RU97114519A RU97114519A RU97114519/09A RU97114519A RU97114519A RU 97114519 A RU97114519 A RU 97114519A RU 97114519/09 A RU97114519/09 A RU 97114519/09A RU 97114519 A RU97114519 A RU 97114519A RU 97114519 A RU97114519 A RU 97114519A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- inert gas
- specified
- mixtures
- gas
- gas stream
- Prior art date
Links
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 title claims 35
- 238000007789 sealing Methods 0.000 title claims 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 19
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims 17
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 16
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims 14
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 12
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 11
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims 9
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims 9
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 8
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 claims 8
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 claims 8
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 8
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 claims 8
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims 8
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims 8
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N oxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 8
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims 8
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 claims 8
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 claims 7
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims 7
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims 7
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims 6
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 claims 5
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 5
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 claims 4
- 210000004027 cells Anatomy 0.000 claims 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N AI2O3 Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- 125000004432 carbon atoms Chemical group C* 0.000 claims 3
- -1 ethylene, propylene Chemical group 0.000 claims 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 3
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 230000003197 catalytic Effects 0.000 claims 2
- 238000009833 condensation Methods 0.000 claims 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 claims 2
- 239000002274 desiccant Substances 0.000 claims 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 claims 2
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon(0) Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims 2
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 claims 2
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 claims 2
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 claims 2
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon(0) Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 claims 1
- 229910000640 Fe alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 230000035556 Free fraction Effects 0.000 claims 1
- 210000002381 Plasma Anatomy 0.000 claims 1
- 229910001093 Zr alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims 1
- 230000001070 adhesive Effects 0.000 claims 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims 1
- REDXJYDRNCIFBQ-UHFFFAOYSA-N aluminium(3+) Chemical class [Al+3] REDXJYDRNCIFBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims 1
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 claims 1
- 230000005712 crystallization Effects 0.000 claims 1
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 claims 1
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton(0) Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims 1
Claims (26)
1. Способ восстановления инертного газа из камеры, включающий (а) пропускание продувочного газа через указанную камеру, посредством чего продувают по существу весь указанный инертный газ из указанной камеры и получают газообразный вытекающий поток, содержащий указанный инертный газ и указанный продувочный газ, (b) разделение потока инертного газа и по существу свободной от инертного газа фракции от указанного газообразного вытекающего потока.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что указанный инертный газ выбирают из группы, содержащей ксенон, неон, аргон, криптон и их смеси.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что указанный продувочный газ выбирают из группы, содержащей водород, водяной пар, аммиак, диоксид углерода, монооксид углерода, кислород, этилен, пропилен и углеводороды, содержащие от 4 до 6 атомов углерода.
4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что указанная камера является частью печи, и перед этапом (а) панели отображения, содержащие инертный газ, изготавливаются в указанной камере посредством тепловых уплотняющих пар плоских секций вместе для образования газонепроницаемой оболочки в атмосфере, содержащей указанный инертный газ.
5. Способ по п. 4, отличающийся тем, что этап (b) выполняют посредством мембранного разделения, конденсацией, адсорбцией, абсорбцией, кристаллизацией или их комбинацией.
6. Способ по п. 4, отличающийся тем, что указанный инертный газ содержит приблизительно от 50% до приблизительно 100% об. неона и приблизительно от 50 до приблизительно 0% по объему ксенона.
7. Способ по п. 4, отличающийся тем, что поток отделенного инертного газа, отделенную фракцию, свободную от инертного газа, или обе их рециркулируют в указанную камеру.
8. Способ по п. 4, отличающийся тем, что одна или обе части каждой пары плоских секций имеют шарик (валик) теплочувствительного адгезива по своей периферии, а указанные плоские секции герметизируют посредством нагревания указанных плоских секций в непосредственной близости друг к другу до температуры по меньшей мере приблизительно 350oС и абсолютном давлении приблизительно 1,5 - 2,0 бар.
9. Способ по любому из пп. 1 -5, отличающийся тем, что указанным продувочным газом является водород, а указанный поток инертного газа отделяют от указанного газообразного вытекающего потока посредством мембранного отделения с использованием мембраны, которая содержит палладий.
10. Способ по п. 9, отличающийся тем, что перед указанным мембранным разделением один или оба из монооксида углерода и диоксида углерода удаляют из указанного газообразного вытекающего потока.
11. Способ по п. 9, отличающийся тем, что указанное мембранное разделение выполняют при температуре приблизительно от 200oС до приблизительно 600oС и абсолютном давлении приблизительно 3 - 40 бар.
12. Способ по п. 9, отличающийся тем, что газообразный вытекающий поток содержит кислород, а указанный палладий влияет на реакцию указанного кислорода и водорода до получения водяных паров.
13. Способ по п. 12, отличающийся тем, что дополнительно содержит удаление указанного водяного пара из указанного потока инертного газа, подвергая указанный поток инертного газа способу адсорбции с колебанием температуры, используя осушитель, выбранный из оксида кремния, оксида алюминия, цеолита А, цеолита Х и их смесей.
14. Способ по п. 1, отличающийся тем, что указанным продувочным газом является кислород, и мембрана, применяемая в указанном мембранном разделении, является ион-проводящей мембраной.
15. Способ по п. 1, отличающийся тем, что указанный продувочный газ является водяным паром, а указанный поток инертного газа отделяют от указанного газообразного вытекающего потока посредством конденсации.
16. Способ по п. 1, отличающийся тем, что указанный поток инертного газа содержит примесь, выбранную из группы, состоящей из азота, водных паров, монооксида углерода, диоксида углерода, водорода, кислорода, углеводородов и смесей двух или более из них, причем указанную примесь удаляют из указанного потока инертного газа посредством способа, выбранного из группы, состоящей из (а) адсорбции при температуре в диапазоне от температуры, приблизительно равной температуре окружающей среды, до приблизительно 150oС, используя один или более адсорбентов, которые селективно адсорбируют водяные пары, монооксид углерода, диоксид углерода, углеводороды, имеющие 2 или более атомов углерода, или их смеси, (b) хемосорбции с использованием одного или более газопоглощающих веществ, которые хемосорбируют водород, кислород, монооксид углерода или их смеси, (с) каталитическое окисление водорода до образования воды и/или каталитическое окисление монооксида углерода до диоксида углерода, (d) криогенная адсорбция с использованием одного или более адсорбентов, которые селективно адсорбируют азот, монооксид углерода, метан или смеси двух или более из них, и (е) хемосорбции с использованием одного или более газопоглощающих веществ, которые абсорбируют азот, углеводороды или их смеси, и (f) комбинации двух или более из (а), (b), (с), (d) и (е).
17. Способ по п. 16, отличающийся тем, что указанный поток инертного газа содержит примесь, выбранную из группы, состоящей из водяных паров, диоксида углерода и углеводородов, имеющих 2 или более атомов углерода, или их смесей, и указанную примесь удаляют из указанного потока инертного газа с помощью способа (а), выполняемого при температуре в пределах от 0 до приблизительно 200oС, с использованием адсорбентов, выбранных из группы, состоящей из силикагеля, активированного оксида алюминия, цеолитов, активированного угля и их смесей.
18. Способ по п. 16, отличающийся тем, что указанный поток инертного газа содержит водород, кислород или оба газа, причем их предпочтительно удаляют из указанного потока инертного газа посредством способа (b), выполняемого при температуре в диапазоне от приблизительно 25o до приблизительно 200oС, используя медный газопоглотитель, газопоглотитель на основе оксида меди, никелевый газопоглотитель или их смеси.
19. Способ по п. 18, отличающийся тем, что водяные пары образуются при контакте потока инертного газа с указанным газопоглотителем, причем указанные водяные пары удаляют посредством контактирования указанного потока инертного газа с осушителем, выбранным из группы, состоящей из силикагеля, оксида алюминия, цеолита А, цеолита Х и их смесей.
20. Способ по п. 16, отличающийся тем, что указанный поток инертного газа содержит азот, метан, монооксид углерода или их смеси, причем их удаляют из указанного потока инертного газа посредством способа (с), выполняемого при температуре в диапазоне от приблизительно -50o до приблизительно -200oС, используя адсорбент, выбранный из группы, состоящей из цеолита 4А, цеолита 5А, цеолита типа Х и их смесей.
21. Способ по п. 16, отличающийся тем, что указанный поток инертного газа содержит азот, углеводороды или их смеси, и их удаляют из указанного потока инертного газа посредством способа (d), выполняемого при температуре в диапазоне от приблизительно 350o до приблизительно 700oС, используя вещество на основе циркония.
22. Способ по п. 21, отличающийся тем, что указанное вещество на основе циркония является сплавом циркония.
23. Способ по п. 22, отличающийся тем, что указанный сплав на основе циркония является сплавом цирконий-алюминий, сплавом цирконий-ванадий-железо или их смесью.
24. Устройство для герметизации инертного газа внутри плазменных панелей отображения, содержащее (а) средство герметизации плазменных панелей отображения, (b) палладиевую мембранную газоразделяющую ячейку, имеющую проницаемую для газа зону и непроницаемую для газа зону, (с) средство, проводящее инертный газ, для введения инертного газа в указанное средство герметизации плазменных панелей отображения, (d) средство, проводящее водород, для введения продувочного газа водорода в указанное средство герметизации плазменных панелей отображения, (е) средство, проводящее вытекающий газообразный поток, соединяющее указанное средство герметизации плазменных панелей отображения с впускным концом указанной палладиевой мембранной газоразделяющей ячейки, (f) средство, проводящее рециркулируемый газообразный водород, соединяющее проницаемую зону указанной палладиевой мембранной газоразделяющей ячейки с указанным средством герметизации плазменных панелей отображения, (g) средство, проводящее рециркулируемый инертный газ, соединяющее непроницаемую зону указанной палладиевой мембранной газоразделяющей ячейки с указанным средством герметизации плазменных панелей отображения, (h) средство создания вакуума для создания вакуума в указанном средстве герметизации плазменных панелей отображения, (i) средство для сжатия газа, расположенное в указанном средстве, проводящем вытекающий газообразный поток, и (j) средство нагрева, расположенное в указанном средстве, проводящем вытекающий газообразный поток, между указанным средством для сжатия газа и указанным палладиевым мембранным газоразделяющим средством.
25. Устройство по п. 24, отличающееся тем, что дополнительно содержит средство, расположенное в указанном газопроводящем средстве рециркуляции инертного газа для удаления одного или более газов из азота, диоксида углерода, кислорода, водных паров и углеводородов из указанного инертного газа.
26. Устройство по п. 24, отличающееся тем, что дополнительно содержит средство, расположенное в указанном средстве, проводящем вытекающий газообразный поток, между указанным средством для сжатия газа и указанным палладиевым мембранным газоразделяющим средством, для удаления одного или обоих из монооксида углерода и диоксида углерода из газа, проходящего через указанное средство, проводящее вытекающий газообразный поток.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/703,711 | 1996-08-27 | ||
| US???. | 1998-01-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU97114519A true RU97114519A (ru) | 1999-07-20 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6113869A (en) | Process for argon purification | |
| US5486227A (en) | Integrated process for purifying and liquefying a feed gas mixture with respect to its less strongly adsorbed component of lower volatility | |
| KR960002190B1 (ko) | 불활성 기체의 정제 방법 | |
| US5176722A (en) | Pressure swing adsorption method for separating gaseous mixtures | |
| US5425240A (en) | Purification of oxygen by cryogenic adsorption | |
| JP3913327B2 (ja) | チャンバーから貴ガスを回収する方法 | |
| CN111566044B (zh) | 在低温温度下从气体或液体流中回收氙的吸附性方法 | |
| US4746332A (en) | Process for producing high purity nitrogen | |
| KR100501423B1 (ko) | 기체 또는 액체 스트림으로부터 크립톤 및 크세논을 회수하기 위한 공정 및 흡착제 | |
| US5937672A (en) | Process for the purification of a cryogenic fluid by filtration and/or adsorption | |
| US20100115994A1 (en) | Adsorbent for carbon monoxide, gas purification method, and gas purification apparatus | |
| KR20030013311A (ko) | 압력 스윙 흡착에 의한 가스 정제법 | |
| US5891220A (en) | O2 /CO removal from an inert gas by adsorption on porous metal oxide | |
| RU97114519A (ru) | Способ восстановления инертного газа и устройство для герметизации инертного газа внутри плазменных панелей отображения | |
| NZ248804A (en) | Argon purification by cryogenic adsorption | |
| US5913893A (en) | Process for the purification of a cryogenic fluid by filtration and/or adsorption | |
| JPH11100204A (ja) | 超純粋不活性気体の製造のための方法および装置 | |
| JP2000072404A (ja) | 水素−窒素混合ガスの製造方法およびその装置 | |
| JPH02283608A (ja) | 一酸化炭素の分離回収方法 | |
| JPH0531331A (ja) | 水素同位体の分離方法 | |
| JP5684898B2 (ja) | ガス精製方法 | |
| JPS6097021A (ja) | 吸着法を使用して一酸化炭素ガスを含む混合ガスより一酸化炭素ガスを精製する方法 | |
| KR20000040605A (ko) | 활성탄을 이용한 메탄가스 제거방법 | |
| EP0739648A1 (en) | Adsorptive separation of helium | |
| Seitz et al. | Apparatus and Procedure to Reduce Impurities in Helium to Less Than One Part Per Billion |