RU96116393A - Устройство для измерения шероховатости и волнистости поверхности при фиксированных значениях базовой длины - Google Patents

Claims (1)

1. Устройство для измерения шероховатости и волнистости поверхности при фиксированных значениях базовой длины, содержащее основание с отверстием, закрепленную на основании осветительную систему для формирования падающего излучения, оптическую приемную систему состоящую, из фотоприемника, модулятора, на цилиндрической поверхности которого выполнены отверстия, а на торцевой поверхности закреплена пластина для перекрытия светового потока от дополнительного источника света к дополнительному фотоприемнику, блок обработки сигналов, состоящий из усилителя, ключевого блока и блока вычитания, причем вход ключевого блока соединен с выходом дополнительного фотоприемника, отличающееся тем, что оно снабжено оптическими блоками пространственной фильтрации излучения осветительной системы, установленным соосно осветительной системе и выполненными в виде двух соосных линз, установленных друг от друга на расстоянии, равном сумме их фокусных расстояний, в точке совпадения фокусов которых размещен экран с выполненной в нем параллельно основанию щелью, ширину которой "а" выбирают из условия:
   a = λ•F₁/L_m,
   где λ - длина волны падающего излучения осветительной системы;
   F₁ - фокусное расстояние линз оптического блока пространственной фильтрации излучения осветительной системы:
   L_m - максимальное значение базовой длины;
   а оптическая приемная система снабжена блоком пространственной фильтрации излучения, отраженного от исследуемой поверхности, выполненным в виде коллимирующей линзы, установленной между основанием и модулятором так, что в точке фокуса линзы размещена поверхность модулятора, отверстия в цилиндрической поверхности модулятора выполнены в виде щелей, ширину "b" одной из которых выбирают из условия:
   b = λ•F₂/R_j,
   где F₂ - фокусное расстояние коллимирующей линзы;
   R_j - радиус иглы профилографа, по которому аттестуется устройство,
   а ширину "с_i" остальных щелей выбирают из условия:
   c_i= λ•F₂/L_i,
   где L_i - значение базовой длины;
   i=1, 2,...., n;
   n - число базовых длин,
   при этом коллимирующая линза, проекция оси модулятора и фотоприемник оптической приемной системы установлены соосно в направлении зеркальной составляющей отраженного светового потока от исследуемой поверхности, блок обработки сигналов дополнительно снабжен блоками разделения, усреднения, деления, хранения сигналов и показывающего устройства, причем усилитель, блоки разделения, усреднения, вычитания, деления, хранения сигналов и показывающего устройства соединены последовательно, а выходы ключевого блока соединены соответственно с блоками разделения, вычитания, деления и хранения сигналов.